Pramonės naujienos

Cheminis garų nusėdimas (CVD) puslaidininkių gamyboje yra naudojamas kameroje dėti plonas plėvelės medžiagas, įskaitant SiO2, Sin ir kt., O dažniausiai naudojami tipai yra PECVD ir LPCVD. Koreguodamas temperatūrą, slėgio ir reakcijos dujų tipą, CVD pasiekia aukštą grynumą, vienodumą ir gerą plėvelę, kad atitiktų skirtingus proceso reikalavimus.

Šiame straipsnyje daugiausia aprašomos plačios silicio karbido keramikos taikymo perspektyvos. Taip pat daug dėmesio skiriama silicio karbido keramikos sukepinimo įtrūkimų priežasčių ir atitinkamų sprendimų analizei.

Puslaidininkių gamybos ėsdinimo technologija dažnai susiduria su tokiomis problemomis kaip įkėlimo efektas, mikroautovo efektas ir įkrovimo efektas, turinčias įtakos produkto kokybei. Tobulinimo sprendimai apima plazmos tankio optimizavimą, reakcijos dujų sudėties derinimą, vakuuminės sistemos efektyvumo gerinimą, pagrįsto litografijos išdėstymo projektavimą ir tinkamų kaukės ėsdinimo medžiagų ir proceso sąlygų pasirinkimą.