Porėta sic

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti porėtos sic keramikos gamintojas puslaidininkių pramonei. Praėjus ISO9001, „Vetek“ puslaidininkis gerai kontroliuoja kokybę. „Vetek Semiconductor“ visada buvo įsipareigojusi tapti porėtos sic keramikos pramonės novatoriumi ir lyderiu.

Porėtas sic keraminis diskas

Porėta sic keramika yra keraminė medžiaga, kuri šaunama aukštoje temperatūroje ir turi daug sujungtų ar uždarų porų. Jis taip pat žinomas kaip mikroporinio vakuuminio siurbimo taurė, kurios porų dydžiai svyruoja nuo 2 iki 100um.

Porėta sic keramika buvo plačiai naudojama metalurgijoje, chemijos pramonėje, aplinkos apsaugoje, biologijoje, puslaidininkėse ir kitose srityse. Porėtą sic keramiką galima paruošti putplasčio metodu, sol gelio metodu, juostų liejimo metodu, kieto sukepinimo metodu ir impregnavimo pirolizės metodu.

Porėto sic keramikos paruošimas sukepinimo metodu

Porėto silicio karbido keramikos savybės, paruoštos skirtingais metodais kaip poringumo funkcija

porėtos sic keramikos siurbimo puodeliai puslaidininkių vaflių gamyboje

„Vetek“ puslaidininkio porėta sic keramika vaidina užsegimo ir vaflių nešiojimo puslaidininkių gamyboje vaidmenį. Jie yra tankūs ir vienodi, stipriai stiprūs, gerai pralaidūs oro pralaidumui ir vienodi adsorbcijai.

Jie veiksmingai išsprendžia daugybę sunkių problemų, tokių kaip vaflių įdubimas ir lusto elektrostatinis suskaidymas, ir padeda pasiekti ypač aukštos kokybės vaflių apdorojimą.

Darbinė porėtos sic keramikos schema:

Darbinis porėtos sic keramikos principas: Silicio plokštelę fiksuoja vakuuminio adsorbcijos principas. Apdorojimo metu orui išgauti tarp silicio plokštelės ir keraminio paviršiaus yra naudojamos mažos skylės ant porėtos sic keramikos, kad silicio vaflis ir keraminis paviršius būtų žemas slėgis, taip pritvirtinant silicio plokštelę.

Po perdirbimo iš skylių teka plazmos vanduo, kad silicio vaflis nelaikytų keraminio paviršiaus, o tuo pačiu metu išvalomas silicio vaflis ir keraminis paviršius.

Porėto sic keramikos mikrostruktūra

Pabrėžkite pranašumus ir funkcijas:

● Aukštos temperatūros atsparumas

● Atsparumas dėvėjimui

● Cheminis atsparumas

● Aukštas mechaninis stiprumas

● Lengva atsinaujinti

● Puikus atsparumas šiluminiam šokui

daiktas	vienetas	porėta sic keramika
Poro skersmuo	vienas	10 ~ 30
Tankis	g / cm3	1,2 ~ 1,3
Paviršinis rougHness	vienas	2,5 ~ 3
Oro absorbcijos vertė	KPA	-45
Lenkimo jėga	MPA	30
Dielektrinė konstanta	1MHz	33
Šilumos laidumas	W/(m · k)	60 ~ 70

Porėto sic keramikos yra keli dideli reikalavimai:

1. Stipri vakuumo adsorbcija

2. Lygumas yra labai svarbus, kitaip operacijos metu kils problemų

3. Jokios deformacijos ir nėra metalinių priemaišų

Todėl „Vetek“ puslaidininkio porėto sic keramikos oro absorbcijos vertė siekia -45KPA. Tuo pačiu metu jie yra grūdinami 1200 ℃ 1,5 valandos prieš išeinant iš gamyklos, kad pašalintų priemaišas, ir supakuoti į vakuuminius maišus.

Poruota sic keramika yra plačiai naudojama vaflių apdorojimo technologijoje, perdavime ir kitose nuorodose. Jie padarė didelius laimėjimus, susijusius su klijavimo, supjaustymo, montavimo, poliravimo ir kitomis nuorodomis.