Produktai

Veteksemicon grafitinė valtis, skirta PECVD, yra tiksliai apdirbta iš didelio grynumo grafito ir sukurta specialiai plazmos patobulintų cheminių garų nusodinimo procesams. Pasitelkę savo gilų supratimą apie puslaidininkių šiluminio lauko medžiagas ir tikslaus apdirbimo galimybes, siūlome išskirtinio šiluminio stabilumo, puikaus laidumo ir ilgaamžiškumo pasižyminčius grafito laivus. Šios valtys yra sukurtos taip, kad būtų užtikrintas labai vienodas plonos plėvelės nusodinimas ant kiekvienos plokštelės sudėtingoje PECVD proceso aplinkoje, pagerinant proceso išeigą ir produktyvumą.

Veteksemicon CVD TaC padengtas grafito žiedas yra sukurtas taip, kad atitiktų kraštutinius puslaidininkinių plokštelių apdorojimo reikalavimus. Naudojant cheminio garų nusodinimo (CVD) technologiją, tanki ir vienoda tantalo karbido (TaC) danga padengiama didelio grynumo grafito pagrindams, todėl pasiekiamas išskirtinis kietumas, atsparumas dilimui ir cheminis inertiškumas. Puslaidininkių gamyboje CVD TaC padengtas grafito žiedas yra plačiai naudojamas MOCVD, ėsdinimo, difuzijos ir epitaksinio augimo kamerose, kurios yra pagrindinis plokštelių laikiklių, susceptorių ir ekranavimo mazgų struktūrinis arba sandarinimo komponentas. Laukiu tolesnės konsultacijos.

VETEK pagamintas akytas TaC padengtas grafito žiedas naudoja lengvą porėtą grafito pagrindą ir yra padengtas didelio grynumo tantalo karbido danga, pasižyminčia puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, korozinėms dujoms ir plazmos erozijai.

Silicio karbido konsolinis irklas iš Veteksemicon yra sukurtas pažangiam puslaidininkių gamybos plokštelių apdorojimui. Pagaminta iš didelio grynumo SiC, užtikrina puikų šiluminį stabilumą, puikų mechaninį stiprumą ir puikų atsparumą aukštai temperatūrai bei korozinei aplinkai. Šios funkcijos užtikrina tikslų plokštelių valdymą, ilgesnį tarnavimo laiką ir patikimą veikimą tokiuose procesuose kaip MOCVD, epitaksija ir difuzija. Sveiki atvykę į konsultaciją.

„Veteksemicon SiC“ keramikinis vakuuminis griebtuvas, skirtas plokštelėms, yra sukurtas taip, kad užtikrintų išskirtinį puslaidininkinių plokštelių apdorojimo tikslumą ir patikimumą. Pagaminta iš didelio grynumo silicio karbido, užtikrina puikų šilumos laidumą, cheminį atsparumą ir puikų mechaninį stiprumą, todėl idealiai tinka sudėtingoms reikmėms, tokioms kaip ėsdinimas, nusodinimas ir litografija. Itin plokščias paviršius garantuoja stabilų plokštelės atramą, sumažina defektus ir pagerina proceso našumą. šis vakuuminis griebtuvas yra patikimas pasirinkimas norint tvarkyti labai našias plokšteles.

Veteksemi kieto SiC fokusavimo žiedas žymiai pagerina ėsdinimo vienodumą ir proceso stabilumą, tiksliai valdydamas elektrinį lauką ir oro srautą plokštelės krašte. Jis plačiai naudojamas silicio, dielektrikų ir sudėtinių puslaidininkinių medžiagų precizinio ėsdinimo procesuose ir yra pagrindinis komponentas, užtikrinantis masinės gamybos našumą ir ilgalaikį patikimą įrangos veikimą.