ICP/PSS ėsdinimo procesas

„VeTek Semiconductor ICPPSS“ (induktyviai susietos plazmos fotorezistinio pašalinimo) ėsdinimo proceso plokštelių laikiklis yra specialiai sukurtas taip, kad atitiktų puslaidininkių pramonės ėsdinimo procesų reikalavimus. Dėl savo pažangių funkcijų jis užtikrina optimalų našumą, efektyvumą ir patikimumą viso ėsdinimo proceso metu.

VeTek Semiconductor ICP/PSS ėsdinimo proceso susveptorių pranašumas:

Patobulintas cheminis suderinamumas: plokštelių laikiklis pagamintas naudojant medžiagas, kurios puikiai chemiškai suderinamos su ėsdinimo proceso cheminėmis medžiagomis. Tai užtikrina suderinamumą su daugybe ėsdinimo medžiagų, atsparių nuėmimo priemonių ir valymo tirpalų, taip sumažinant cheminių reakcijų ar užteršimo riziką.

Atsparumas aukštai temperatūrai: plokštelių laikiklis sukurtas taip, kad atlaikytų aukštą temperatūrą, kuri susiduriama ėsdinimo proceso metu. Jis išlaiko savo konstrukcinį vientisumą ir mechaninį stiprumą, apsaugodamas nuo deformacijų ar pažeidimų net esant ekstremalioms šiluminėms sąlygoms.

Puikus ėsdinimo tolygumas: laikiklis pasižymi tiksliai sukonstruotu dizainu, kuris skatina vienodą ėsdinimo medžiagų ir dujų pasiskirstymą plokštelės paviršiuje. Dėl to gaunamas pastovus ėsdinimo greitis ir aukštos kokybės, vienodi raštai, būtini norint pasiekti tikslių ir patikimų ėsdinimo rezultatų.

Puikus plokštelių stabilumas: laikiklis turi saugų plokštelių laikymo mechanizmą, kuris užtikrina stabilią padėtį ir neleidžia plokštelėms judėti ar paslysti ėsdinimo proceso metu. Tai garantuoja tikslius ir pakartojamus ėsdinimo modelius, sumažinant defektus ir derliaus nuostolius.

Suderinamumas su švariomis patalpomis: plokštelių laikiklis sukurtas taip, kad atitiktų griežtus švarios patalpos standartus. Jis pasižymi mažu dalelių susidarymu ir puikia švara, neleidžiančia užteršti dalelėmis, galinčiomis pakenkti ėsdinimo proceso kokybei ir išeigai. Priemaišų yra mažiau nei 5 ppm.

Tvirta ir patvari konstrukcija: laikiklis sukurtas naudojant aukštos kokybės medžiagas, žinomas dėl savo patvarumo ir ilgaamžiškumo. Jis gali atlaikyti pakartotinį naudojimą ir griežtus valymo procesus, nepakenkdamas jo veikimui ar konstrukcijos vientisumui.

Pritaikomas dizainas: Siūlome pritaikomus variantus, kad atitiktume konkrečius klientų poreikius. Laikiklis gali būti pritaikytas skirtingų dydžių, storių ir proceso specifikacijų plokštėms, užtikrinant suderinamumą su įvairia ėsdinimo įranga ir procesais.

Patirkite mūsų ICP/PSS ėsdinimo proceso plokštelių laikiklio, sukurto optimizuoti ėsdinimo procesą puslaidininkių pramonėje, patikimumą ir našumą. Dėl patobulinto cheminio suderinamumo, atsparumo aukštai temperatūrai, puikaus ėsdinimo vienodumo, puikaus plokštelių stabilumo, suderinamumo su švariomis patalpomis, tvirtos konstrukcijos ir pritaikomo dizaino jis yra idealus pasirinkimas jūsų ėsdinimo programoms.

PSS ėsdinimo plokštė ICP ėsdinimo plokštė ICP ofortas susceptorius