VETEK puslaidininkis | CVD SiC/TaC dangų, kietojo SiC ir svarbių puslaidininkinių medžiagų gamintojas

I. VETEK Semiconductor – pagrindinė pažangių puslaidininkinių medžiagų technologijų lyderė ir nacionalinė specializuota ir sudėtinga „mažoji milžiniška“ įmonė

VETEK puslaidininkis yra aukštųjų technologijų įmonė, kurios specializacija yra aukštos temperatūros šiluminio lauko sprendimai fotoelektros ir puslaidininkių pramonei. Įkurta m2016, bendrovė daugiausia dėmesio skiria aukštos temperatūros šiluminio lauko medžiagų tyrimams, plėtrai ir industrializacijai. Mes savarankiškai įsisavinome pagrindines dengimo technologijasCVD silicio karbidas (CVD SiC)irCVD tantalo karbidas (CVD TaC), ir sukūrė visiškai integruotą gamybos sistemą, apimančiągrafito valymas → precizinis apdirbimas → dangos nusodinimas.

Įmonė buvo pripažinta aNacionalinė specializuota ir sudėtinga „Mažasis milžinas“ įmonė, yra tarp pirmaujančių puslaidininkinių epitaksinių šiluminio lauko sprendimų tiekėjų Kinijoje. Mūsų gaminiai sėkmingai leido vidaus rinkoje pakeisti pagrindinius šiluminio lauko komponentusLED epitaksija, trečiosios kartos puslaidininkiai ir silicio epitaksija,ir pateko į daugelio pirmaujančių puslaidininkių gamintojų pagrindines tiekimo grandines.

II. ApieVETEK puslaidininkis

Pagrindinis pranešimas:Įkurta 2016 m., VETEK Semiconductor yra nacionalinė specializuota ir sudėtinga „mažoji milžinų“ įmonė. Bendrovė valdo šešis specialius verslo padalinius, teikiančius visapusiškus sprendimus visai puslaidininkių aukštos temperatūros šiluminių laukų pramonei.

1. Pagrindinė komanda

Įmonė turi daugiau nei20 MTEP profesionalų. Mūsų pagrindinė techninė komanda yra iš prestižinių universitetų, įskaitantDžedziango universitetas, Uhano universitetas, Centrinis Pietų universitetas ir Kinijos geomokslų universitetas.Komanda turi didelę patirtį:

· CVD įrangos kūrimas

· Puslaidininkinių medžiagų tyrimai

· Tikslus apdirbimas

· Aukšto grynumo medžiagų paruošimas

· Kokybės vadyba

2. Organizacinė struktūra ir verslo skyriai

Įmonė susideda iššeši pagrindiniai verslo padaliniai:

· CVD SiC dangų skyrius

· CVD TaC dengimo skyrius

· Grafito skyrius

· Kvarco ir keramikos komponentų skyrius

· Anglies pluošto skyrius

· Puslaidininkių plokštelių skyrius

III. Šešios pagrindinės gaminių kategorijos – visapusiškas puslaidininkių aukštos temperatūros šiluminio lauko pritaikymas

Pagrindinis pranešimas:VETEK puslaidininkis, orientuota į svarbiausius puslaidininkių gamybos procesus, sukūrė šešias brandžių produktų kategorijas, įskaitantCVD SiC dangos, CVD TaC dangos, kietasis silicio karbidas (Solid SiC), didelio grynumo grafito ir anglies pagrindu pagamintos medžiagos, kvarcas ir pažangi keramika bei puslaidininkinės plokštelės, apimantis pagrindines programas, tokias kaipepitaksija, ofortas ir kristalų augimas.

1. CVD silicio karbido (SiC) dangų serija

Sverto tvartasCheminis nusodinimas iš garų (CVD)procesas, įmonė pasiekia aukštą dangos grynumą ir puikią partijų konsistenciją. Šie gaminiai skirti ilgalaikiam veikimui aukštoje temperatūroje.

 Pagrindiniai produktai

· SiC padengtas susceptorius

· Vaflių laikiklis

· Planetinis diskas

· Pusmėnulis

· Dušo galvutė

· Statinė

· RTP susceptorius

· Vaflinis pakeliamas kaištis

· Įvairūs proceso komponentai 

Suderinama įranga

· LPE

· Aixtron

· Veeco

· ASM

· Kitos pagrindinės epitaksinės įrangos platformos 

2. CVD tantalo karbido (TaC) dangų serija

Norint patenkinti vis reiklesniusaukštos temperatūrosirdidelės korozijosreikalavimus, kuriuos kelia sparti trečios kartos puslaidininkių plėtra, mūsųTaC dangosgali nepertraukiamai veikti aplinkose, viršijančiose2300°C.

Pagrindiniai produktai

· TaC padengtas susceptorius

· TaC padengtas šildytuvas

· TaC Crucible

· TaC dengtos grafito dalys

· SiC PVT šiluminio lauko komponentai 

Programos

· SiC vieno kristalo augimas

· Itin aukštos temperatūros šiluminio lauko sistemos

3. Kietojo silicio karbido (Solid SiC) serija

Kietasis silicio karbidas sujungia aukštą grynumą, puikų atsparumą korozijai, puikų atsparumą plazmai ir išskirtinį terminį stabilumą, todėl idealiai tinka pažangioms ėsdinimo sistemoms ir aukštos temperatūros krosnių įrangai.

Pagrindiniai produktai

· Fokusavimo žiedas

· Krašto žiedas

· Dušo galvutė

· Vaflių valtis

· Krosnies vamzdis

· Kreipiamasis cilindras

· Oforto komponentai 

4. Aukšto grynumo grafito ir anglies pagrindu pagamintų medžiagų serija

Mes teikiame išsamius terminio lauko sistemų sprendimus su produktais, įskaitant:

· Grafito susceptorius

· Šildytuvas

· Tiglis

· Šilumos skydas

· Grafitinis žiedas

· Grafitinis elektrodas

· Anglies pluošto minkštas veltinis

· Anglies pluošto kietasis veltinis

· Anglies kompozitas

Visi gaminiai gali būti gaminami pagal užsakymą pagal skirtingas įrangos platformas.

5. Kvarco ir pažangiosios keramikos serija

Remdamiesi savo patirtimi CVD medžiagų technologijų srityje, išplėtėme savo produktų portfelį, įtraukdami:

Aukšto grynumo kvarco gaminiai

· Kvarcinės valtys

· Kvarciniai nešikliai

· Proceso vamzdeliai

· Krosnių vamzdžiai

· Varpelio stiklainiai

· Kvarciniai žiedai

· Kvarciniai flanšai

· Dujų įpurškimo vamzdeliai

· Kvarciniai tigliai

· Kiti pritaikyti kvarco komponentai 

Pažangūs keramikos komponentai

· Didelio grynumo aliuminio oksidas (Al2O3)

· Silicio karbidas (SiC)

· Silicio nitridas (Si₃N4)

· Boro nitridas (BN)

Šie produktai plačiai naudojami:

· Difuzija

· Oksidacija

· LPCVD

· PECVD

· Oforto kameros

· Sudėtinė puslaidininkinė įranga 

6. Puslaidininkinių plokštelių serija

Mes tiekiame platų puslaidininkinių plokštelių ir substrato medžiagų asortimentą, įskaitant:

· Silicio karbidas (SiC)

· Silicis

· Galio oksidas (β-Ga₂O3)

· Safyras

· SOI (silicio ant izoliatoriaus)

· Galio nitridas (GaN)

· Galio arsenidas (GaAs)

Individualūs vaflių dydžiai yra prieinami nuo2 colių iki 8 colių.

IV. MTEP stiprybė ir technologiniai proveržiai

Pagrindinis pranešimas:Vadovaujantis filosofija„R&D skatinama industrializacija“,įmonė sukūrė dvigubas inovacijų platformas, susidedančias iš josĮmonių MTEP Center irYongjiang laboratorijos terminio lauko medžiagų inovacijų centras, nuolat tobulinant pagrindines CVD įrangos, dengimo procesų ir pažangių puslaidininkinių medžiagų technologijas.

1. Dvipusės MTEP platformos

VETEK puslaidininkis įsikūrėdvi pagrindinės MTEP platformos:

· Įmonių tyrimų ir plėtros centras

· Yongjiang laboratorijos terminio lauko medžiagų inovacijų centras

Šios dvi platformos kartu vykdo pažangių medžiagų tyrimus ir plėtrą, procesų optimizavimą ir gaminių industrializavimą, teikdamos nuolatinę technologinę paramą ilgalaikiam įmonės vystymuisi.

2. Pagrindinis technologijų portfelis

Bendrovė ir toliau daro proveržį šiose pagrindinėse technologijose:

· Savarankiškas CVD įrangos kūrimas

· CVD SiC proceso optimizavimas

· CVD TaC nusodinimo technologija

· Aukšto grynumo medžiagų valymo technologija

· Tikslioji grafito apdirbimo technologija

· Puslaidininkinio šiluminio lauko projektavimas

· Aukštos temperatūros medžiagų veikimo optimizavimas

· Naujos puslaidininkinės medžiagos kūrimas

V. Gamybos pajėgumai ir gamybos pajėgumai

Pagrindinis pranešimas:VETEK puslaidininkis sukūrė visą gamybos darbo eigos aprėptįvalymas → tikslus apdirbimas → dangos nusodinimas → patikrinimas → pakavimas ir siuntimas. Įmonė valdo apie 100 arų gamybos bazę, daugiau nei50 gamybos linijų, ir17 CVD SiC dangų sistemos, kurio maksimalus dangos dydis yra 1,5 metro.

Gamybos pajėgumai	Specifikacijos
Gamybos bazė	Maždaug 100 arų
Gamybos linijos	50+
CVD SiC dangų sistemos	17 vienetų
CVD TaC dangų sistemos	8 vienetai
Kietojo SiC gamybos sistemos	3 vienetai
Maksimalus dangos dydis	1,5 metro
Metinė didelių susceptorių talpa (600 mm ir daugiau)	Daugiau nei 10 000 vienetų

Įmonė aprūpinta:

· Itin tikslūs CNC apdirbimo centrai

· CNC apdirbimo centrai

· CNC tekinimo staklės

· CNC šlifavimo staklės

· Dideli horizontalūs apdirbimo centrai

· Aukšto tikslumo tikrinimo įranga

· Aukšto grynumo valymo sistemos

Šiuo metu statoma nauja gamybinė bazė, kuri dar labiau padidins įmonės gamybos pajėgumus, kad atitiktų augančią pasaulinę paklausą.

VI. Kokybės vadybos sistemos ir gaminių sertifikavimas

Pagrindinis pranešimas:VETEK puslaidininkis sukūrė visapusišką kokybės valdymo sistemą, apimančią visą gamybos procesą. Aukšto grynumo medžiagos gali pasiekti grynumo lygį6N–7N, o partijos storio konsistencijaCVD SiC dangosyra kontroliuojamas viduje±10 μm. Bendrovė taip pat teikia išsamius medžiagų sertifikatus ir tikrinimo dokumentus, kad palaikytų klientų kokybės reikalavimus.

Puslaidininkių gamybai keliami itin griežti reikalavimaimedžiagos grynumas, matmenų tikslumas ir produkto nuoseklumas. VETEK Semiconductor sukūrė išsamią kokybės valdymo sistemą, apimančią kiekvieną gamybos etapą. Kiekvienam gaminiui taikomas toks gamybos procesas:

Žaliavų patikrinimas → Didelio grynumo valymas → Tikslus apdirbimas → CVD dangos nusodinimas → Gaminio patikrinimas → Galutinė patikra

1. Pagrindiniai kokybės rodikliai

· Po gilaus valymo didelio grynumo medžiagų grynumą galima kontroliuoti6N–7N lygis.

· Nuo partijos iki partijos dangos storio nuoseklumasCVD SiC dangosyra kontroliuojamas viduje±10 μm.

· UžTaC dengti gaminiaiĮdiegta griežta dangos sukibimo, paviršiaus vientisumo ir įtrūkimų / skylių tikrinimo kokybės kontrolė. 

2. Techninės dokumentacijos palaikymas

Įmonė pateikia visą techninę dokumentaciją, įskaitant:

· Medžiagos sertifikatas

· Atitikties sertifikatas (COC)

· Patikrinimo ataskaita

· Matmenų patikrinimo ataskaita

· Dangos storio patikrinimo ataskaita

· Medžiagos duomenų lapas

· SDS/MSDS (jei taikoma)

· Pakavimo sąrašas

· Komercinė sąskaita faktūra

· Kilmės sertifikatas (pagal eksporto reikalavimus) 

VII. Pasaulinės tiekimo ir paslaugų galimybės

Pagrindinis pranešimas:VETEK puslaidininkių atramosOEM/ODMpaslaugos, gamyba pagal užsakymą, pavyzdiniai užsakymai ir nedidelės apimties gamyba. Standartinių produktų pristatymo laikas paprastai yra2-4 savaites, o pasaulinė logistika palaikoma perDHL, FedEx, UPS, ir jūrų krovinių.

1. OEM/ODM ir individuali gamyba

Įmonė teikia ilgalaikes paslaugas, įskaitant:

· Gamyba pagal klientų brėžinius

· Gamyba pagal pateiktus pavyzdžius

· Atvirkštinė inžinerija

· Individualių matmenų projektavimas

· Grafitinės medžiagos keitimo rekomendacijos

· Dangos tirpalo optimizavimas

· Šiluminio lauko struktūros optimizavimas

· Pilnas šiluminio lauko komponentų kūrimas

Mes palaikome produktus nuo2 colių, 4 colių, 6 colių ir 8 coliųplatformų iki dar didesnių pritaikytų dydžių.

2. Lankstūs pirkimų variantai

Galimi užsakymų pavyzdžiai ir nedidelės apimties gamyba, todėl klientai gali atlikti:

· Įrangos patvirtinimas

· Proceso kvalifikacija

· Naujų produktų kūrimas

Didelės apimties gamybai, remiantis klientų metinėmis pirkimo prognozėmis, gali būti sudaryti stabilūs tiekimo planai.

3. Standartinis pristatymo laikas

Produkto tipas	Standartinis pristatymo laikas
Standartiniai produktai	2-4 savaites
Standartiniai pritaikyti produktai	4-6 savaites
Sudėtingi individualūs produktai	6-10 savaičių

Ilgalaikiai partneriai gali sukurti saugos atsargų programas, kad toliau gerintų pristatymo stabilumą.

4. Global Logistics Solutions

Mes palaikome kelis tarptautinius pristatymo būdus, įskaitant:

· DHL

· FedEx

· UPS

· TNT(pavyzdžiams ir nedidelio kiekio siuntoms)

· Krovinių gabenimas oro transportu (skubioms didelės apimties siuntoms)

· Vandenyno krovinių gabenimas (dideliems komponentams ir ilgalaikiams masiniams užsakymams)

Palaikomos prekybos sąlygos apima:

· EXW

· FOB

· FCA

· CIF

· DDP (pasiekiama tam tikrose šalyse)

Produktai yra apsaugoti naudojant daugiasluoksnes pakuotes, įskaitant:

· Švarių patalpų valymas

· PE apsauginė plėvelė

· Vakuuminis sandarinimas

· Antistatinė pakuotė

· Perlinės medvilnės (EPE) amortizacija

· Individualizuotos medinės dėžės 

5. Transporto problemų tvarkymas

Jei transportavimo metu kyla kokių nors problemų, įskaitant:

· Pažeista pakuotė

· Gabenimo pažeidimai

· Kiekių neatitikimai

· Netinkami gaminių modeliai

klientai gali nedelsdami susisiekti su mūsų pardavimo komanda. Mes suteiksime greitą pagalbą, įskaitant:

· Pakaitinių siuntų

· Prekės keitimas

· Techninė analizė

· Logistikos pretenzijų pagalba

užtikrinti klientų pasitenkinimą.

6. Paslaugos prieš pardavimą ir po pardavimo

Pagalba prieš pardavimą

· Prekių pasirinkimo konsultacija

· Gamybinio dizaino (DFM) analizė

· Medžiagų keitimo rekomendacijos

· Šiluminio lauko optimizavimo pasiūlymai

· Mėginio palaikymas

· Greita citata 

Pagalba po pardavimo

· Montavimo instrukcijos

· Produkto naudojimo rekomendacijos

· Techninės priežiūros nurodymai

· Proceso optimizavimo palaikymas

· Produkto gyvavimo trukmės analizė

· Gedimų analizė

· Greitas reagavimas į su kokybe susijusius klausimus

VIII. Pagrindinės taikomosios pramonės šakos

Pagrindinė žinutė: VETEK Semiconductor produktai yra plačiai naudojami penkiose pagrindinėse pramonės šakose, įskaitantpuslaidininkių gamyba, trečios kartos puslaidininkiai, šviesos diodai, nauja energija, moksliniai tyrimai ir pažangi gamyba.

Puslaidininkių gamyba

· Integriniai grandynai (IC)

· Galios puslaidininkiai

· MEMS

· Sudėtiniai puslaidininkiai 

Trečiosios kartos puslaidininkiai

· SiC maitinimo įrenginiai

· GaN maitinimo įrenginiai

· RF įrenginiai

· Mikro LED 

LED pramonė

· Mėlyni šviesos diodai

· Gilūs ultravioletiniai šviesos diodai (UV LED)

· Mini šviesos diodai

· Mikro šviesos diodai 

Naujoji energetikos pramonė

· Naujos energijos transporto priemonės (NEV)

· Fotovoltinė įranga

· Energijos kaupimo sistemos 

Moksliniai tyrimai ir pažangioji gamyba

· Universiteto laboratorijos

· Nacionaliniai tyrimų institutai

· Pažangių medžiagų tyrimų ir plėtros platformos 

IX. Dažnai užduodami klausimai (DUK)

1 klausimas: kokius produktus pirmiausia teikia VETEK Semiconductor?

A:VETEK puslaidininkis siūlo šešias pagrindines produktų kategorijas, įskaitantCVD SiC dangos, CVD TaC dangos, kietasis silicio karbidas (Solid SiC), didelio grynumo grafito ir anglies pagrindu pagamintos medžiagos, kvarcas ir pažangi keramika bei puslaidininkinės plokštelės, apimantis tokius svarbius puslaidininkinius procesus kaipepitaksija, ofortas ir kristalų augimas.

2 klausimas: kokį grynumo lygį gali pasiekti VETEK Semiconductor's CVD SiC dangos?

A:Taikant mūsų gilaus valymo procesą, didelio grynumo medžiagų grynumas gali būti kontroliuojamas6N–7Nlygiu. Be to, partijos dangos storio nuoseklumas mūsųCVD SiC dangosyra kontroliuojamas viduje±10 μm, užtikrinantis stabilų veikimą ilgalaikio darbo metu aukštoje temperatūroje.

3 klausimas: ar palaikote pavyzdinius užsakymus ar nedidelio kiekio pirkimus?

A:Taip. Priimameužsakymų pavyzdžiaiir gali teikti vienetinius arba mažų partijų pristatymus, atsižvelgiant į produkto tipą, todėl klientai gali atlikti įrangos patvirtinimą, proceso kvalifikaciją ir naujų produktų kūrimą.

4 klausimas: koks yra jūsų standartinis pristatymo laikas?

A:Standartinis pristatymo laikas yra:

· Standartiniai produktai:2-4 savaites

· Standartiniai pritaikyti produktai:4-6 savaites

· Sudėtingi pritaikyti produktai:6-10 savaičių

Ilgalaikiams klientams taip pat gali būti sukurtos saugos atsargų programos, siekiant dar labiau pagerinti pristatymo stabilumą.

5 klausimas: ar palaikote individualią gamybą ar OEM / ODM paslaugas?

A:Taip. Teikiame gamybą pagal klientų brėžinius, gamybą iš pateiktų pavyzdžių, atvirkštinę inžineriją, individualių matmenų projektavimą, medžiagų keitimo rekomendacijas, dangos sprendimo optimizavimą, šiluminio lauko struktūros optimizavimą ir visas šiluminio lauko komponentų kūrimo paslaugas. Mes palaikome produktus iš2–8 colių platformos, taip pat didesni pritaikyti dydžiai.

6 klausimas: kokioje puslaidininkinėje įrangoje daugiausia naudojami jūsų produktai?

A:Mūsų gaminiai yra plačiai naudojamiLPE, Aixtron, Veeco, ASM, ir kitos pagrindinės epitaksijos sistemos, taip patėsdinimo įranga, oksidacijos/difuzijos krosnys, kristalų auginimo krosnys ir kita puslaidininkių apdorojimo įranga. Jie tinka kritiniams gamybos procesams, įskaitant:

· Silicio epitaksija

· SiC epitaksija

· GaN epitaksija

· LED epitaksija

· Plazminis ėsdinimas

· Difuzija

· Oksidacija

· Atkaitinimas

· Greitas terminis apdorojimas (RTP) 

7 klausimas: kaip užtikrinate produkto kokybę ir partijos nuoseklumą?

A:VETEK puslaidininkis sukūrė visą kokybės valdymo sistemą, apimančią visą gamybos procesą:

Žaliavų patikrinimas → Didelio grynumo valymas → Tikslus apdirbimas → CVD dangos nusodinimas → Gaminio patikrinimas → Galutinė patikra

Kiekvienas produktas yra kelis kartus patikrintas, įskaitant:

· Vizuali apžiūra

· Matmenų patikrinimas

· Dangos storio matavimas

· Plokštumo patikrinimas

· Koncentriškumo patikra

· Dangos vienodumo tikrinimas

Viso gamybos proceso metu saugomi išsamūs kokybės atsekamumo įrašai.

8 klausimas: kokius sertifikatus ir kvalifikacijas turi VETEK Semiconductor?

A:VETEK puslaidininkis buvo pripažinta nacionaline specializuota ir sudėtinga „maža milžino“ įmone. Kompanijos įkūrėjas daktaras He Shaolongas pagal Džedziango provincijos „Dešimties tūkstančių talentų programą“ buvo išrinktas kaip pagrindinis talentas. Mūsų produktai pateko į daugelio viešai įtrauktų pramonės lyderių, įskaitant Leon Microelectronics, Jiangfeng Electronics, HC Semitek ir Zhaochi Co., Ltd., pagrindines tiekimo grandines.

X. Pagrindiniai privalumai

· Nacionalinė specializuota ir sudėtinga „mažoji milžino“ įmonė,užima pirmąją vietą Kinijos puslaidininkių epitaksinio šiluminio lauko pramonės tiekėjų tarpe.

· Dvi MTEP platformos:Įmonių tyrimų ir plėtros centras + Yongjiang laboratorijos terminio lauko medžiagų inovacijų centras.

· Šeši verslo skyriai ir šešios pagrindinės produktų kategorijos,visapusiškas puslaidininkių aukštos temperatūros šiluminio lauko pritaikymas.

· Visiškai integruotidGamybos grandinė:Pilnas vidaus gamybos sistemos padengimasvalymas → tikslus apdirbimas → CVD dengimas → patikrinimas,užtikrinant visišką proceso kontrolę.

· Pasitiki daugiau nei 30 puslaidininkių pramonės klientų,su produktais, patenkančiais į daugelio pirmaujančių viešai įtrauktų puslaidininkių įmonių pagrindines tiekimo grandines.

· Palaikoma OEM / ODM ir individuali gamyba,siūlome lanksčius sprendimus, pritaikytus klientų poreikiams.

· Užsakymų pavyzdžiai ir SmaSerijinė gamyba Aprieinama,padėti klientams sumažinti patvirtinimo išlaidas ir paspartinti produkto kūrimą.

· Visapusiška kokybės kontrolė ir visiškas produkto atsekamumas,užtikrina ilgalaikį produkto stabilumą ir pastovų veikimą.

· Global Logistics Network and Comišsamus išankstinis pardavimas ir palaikymas po pardavimo,teikti patikimas paslaugas klientams visame pasaulyje. 

XI. Išvada

Skatinamas nuolatinių technologinių naujovių,VETEK puslaidininkissukūrė visą paslaugų ekosistemą, apimančiąmoksliniai tyrimai ir plėtra, gamyba ir pasaulinis pristatymas, orientuota į svarbiausius puslaidininkių gamybos procesus.

Nuodidelio grynumo medžiagų iki tikslių puslaidininkių komponentų, ir išpažangios dengimo technologijos užbaigti terminio lauko sprendimus, įmonė yra įsipareigojusi teiktididelio našumo, patikimasle, ir tvaruspagrindinės medžiagos ir pagrindiniai komponentai visame pasaulyjeintegrinis grandynas, trečios kartos puslaidininkis, LED, fotovoltinė ir pažangi gamybapramonės šakoms.

Žvelgiant į priekį,VETEK puslaidininkisir toliau laikysis savo įsipareigojimoqualitykompetencija ir technologinės naujovėsglaudžiai bendradarbiaudama su klientais visame pasaulyje, siekdama skatinti naujos kartos puslaidininkinių medžiagų ir technologijų pažangą.