CVD SIC dangos grafito jautrintuvas

CVD SIC dangos grafito jautrininkas yra specialiai sukurtas didelio tikslumo gamybai puslaidininkių pramonėje. Grafito substratas CVD procesu padengtas aukšto grynumo SIC sluoksniu, kuris pasižymi puikiu atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui korozijai ir oksidacijos atsparumui, ir ilgą laiką gali stabiliai veikti aukštoje temperatūroje ir vakuuminėje aplinkoje. Šis pjedestalas yra plačiai naudojamas MOCVD, PECVD, PVD ir kitoje įrangoje, skirta palaikyti vaflių ir kitų aukšto tikslumo medžiagų apdorojimą ir tvarkymą.

Pagrindiniai pranašumai:

● Aukštos temperatūros stabilumas: Pats greito grynumo grafitas turi puikų šiluminį stabilumą. Padengęs SIC dangą, jis gali atlaikyti aukštesnės temperatūros ekstremalią aplinką ir yra tinkama aukštos temperatūros procesams apdorojant puslaidininkį.

● KampelisJonų atsparumas: CVD SIC danga yra atspari rūgšties ir šarmų korozijai ir gali ilgai tarnauti CVD procese.

● Aukštas hArdumas ir atsparumas oksidacijai: CVD SIC danga turi puikų kietumą, atsparumą įbrėžimams ir atsparumui oksidacijai aukštoje temperatūroje, kad būtų išlaikytas medžiagos stabilumas.

● Geras šilumos laidumas: Grafito substrato ir CVD SIC dangos pastabos derinys daro puikų šilumos laidumą, kuris gali efektyviai atlikti šilumą ir pagerinti gamybos efektyvumą.

Produkto specifikacijos:

● Medžiaga: grafito substratas + CVD SIC danga

● Dangos storis: gali būti pritaikytas atsižvelgiant į klientų poreikius

● Taikoma aplinka: aukšta temperatūra, vakuumas, korozinė dujų aplinka

Individualizuota paslauga:

Mes teikiame labai pritaikytas paslaugas, kad patenkintume skirtingos klientų įrangos ir procesų poreikius. Remiantis konkrečia kliento taikymu, galima pateikti grafito bazes su skirtingu dangos storiu, paviršiaus apdorojimais ir tikslumo lygiais.

„Veteksemi“ visada dirba CVD silicio karbido dangos pramonėje ir turi pramonėje pirmaujantį CVD SIC dangos grafito bazės gamybos ir gamybos lygį. Jei jums reikia daugiau informacijos apie produktą ar pritaikytas paslaugas, susisiekite su „Vetek Semiconductor“, mes nuoširdžiai teiksime jums profesionalią paramą.

CVD SIC plėvelės kristalų struktūros SEM duomenys:

IT puslaidininkisCVD SIC dangos grafito jautrulių produktų parduotuvės: