Technika ir sprendimai

Didelės galios lustų ir modulių šiluminė kliūtis dažnai yra ne tik „ar laidumas pakankamai didelis“, bet ir tai, ar laidumas ir šiluminė plėtra yra suderinami. Deimantiniai kompozitai padidina šilumos laidumą ir sumažina CTE dėl didelės deimantų tūrio dalies, sudarydami tris bendrus kelius: deimanto-vario, deimanto-aliuminio ir deimanto-SiC. Remiantis tipiniais našumo diapazonais, šiame straipsnyje paaiškinamos pasirinkimo ribos, taikymo scenarijai ir įvado kontroliniai taškai.

Tikrasis kameros dalių parinkimo klausimas dažnai yra ne „keramika ar kvarcas“, o: esant dabartinei temperatūrai, korozijai, elektriniams ir mechaniniams apribojimams, kuri medžiaga gali kontroliuoti daleles, tarnavimo laiką ir kainą. Šiame straipsnyje sukuriama vieninga pažangiosios puslaidininkinės keramikos ir kvarco atrankos sistema, paaiškinamas jų vaidmenų padalijimas, keturių dimensijų vertinimo metodas ir gedimo, pritaikymo ir įsigijimo nuskaitymo būdai, taip pat nubrėžiama aiški riba tarp masinio silicio karbido ir grafito + CVD SiC dangos.

Kietasis SiC nėra „brangesnis dangos pakaitalas“, o dar vienas techninis kelias be sąsajos, atsparus plazmai ir itin ilgaamžiams scenarijams. Šiame straipsnyje paaiškinamos jo taikymo ribos ėsdinant ir naudojant labai gryną, TCO palyginimas su padengtu grafitu ir įvedimo patikros taškai. Kai linija pakartotinai mato dangos išsisluoksniavimą arba dalelių užlipimą ant fokusavimo žiedų ir panašių vietų, problema dažnai yra ne tik „nepakankamas valymas“ ar „bloga partija“, bet ir tai, ar medžiagos forma atitinka plazmos aplinką.

Padengtos dalys neturi būti visiškai išmestos į metalo laužą kiekviename eksploatacijos laiko mazge. Šiame straipsnyje paaiškinama, kada CVD SiC dengtos grafito dalys yra tinkamos valyti ir regeneruoti, kaip jas priimti po to ir kaip valdyti pakeitimo ritmą, laikantis viso gyvavimo ciklo mąstymo, padedant patikimiau subalansuoti derlių ir sąnaudas už važiavimą. Tikroji susceptorių, pakaitinimo žiedų ir panašių dalių kaina yra ne tik pirkimo kaina, bet ir dalelių keitimo rizika, langų prastovos laikas.