Technika ir sprendimai

Padengtos dalys neturi būti visiškai išmestos į metalo laužą kiekviename eksploatacijos laiko mazge. Šiame straipsnyje paaiškinama, kada CVD SiC dengtos grafito dalys yra tinkamos valyti ir regeneruoti, kaip jas priimti po to ir kaip valdyti pakeitimo ritmą, laikantis viso gyvavimo ciklo mąstymo, padedant patikimiau subalansuoti derlių ir sąnaudas už važiavimą. Tikroji susceptorių, pakaitinimo žiedų ir panašių dalių kaina yra ne tik pirkimo kaina, bet ir dalelių keitimo rizika, langų prastovos laikas.

Pasirinkus medžiagą, įrankio našumą dažnai lemia kiekybiniai rodikliai, tokie kaip storio vienodumas, dalelių lygis ir grynumas. Šiame straipsnyje pateikiami pagrindiniai CVD SiC dangos kokybės matmenys priimant ir naudojant, padedant pereiti nuo „specifikacijų atitikimo“ prie „galima patikrinti ataskaitą ir numatyti riziką.

Šiame straipsnyje aprašomos CVD SiC dangos, TaC dangos ir kietojo SiC dangos taikymo ribos ir tipiniai scenarijai pagal temperatūrą, atmosferą ir proceso tipą, padedant epitaksijos ir ėsdinimo inžinieriams atrankos metu greitai suderinti proceso langus ir išvengti dalelių ir eksploatavimo trukmės rizikos dėl medžiagų ir sąlygų neatitikimo.

Aixtron G10, Veeco, ASM susceptorių ir pakaitinimo žiedų suderinamumo ir pakeitimo sprendimai. Palaiko 1:1 brėžiniu pagrįstą tinkinimą, greitą standartinių dalių pristatymą, 3–6 savaites pasirinktines dalis su patikrinimo ataskaitomis ir pavyzdžių įvertinimu.