Technika ir sprendimai

Pasirinkus medžiagą, įrankio našumą dažnai lemia kiekybiniai rodikliai, tokie kaip storio vienodumas, dalelių lygis ir grynumas. Šiame straipsnyje pateikiami pagrindiniai CVD SiC dangos kokybės matmenys priimant ir naudojant, padedant pereiti nuo „specifikacijų atitikimo“ prie „galima patikrinti ataskaitą ir numatyti riziką.

Šiame straipsnyje aprašomos CVD SiC dangos, TaC dangos ir kietojo SiC dangos taikymo ribos ir tipiniai scenarijai pagal temperatūrą, atmosferą ir proceso tipą, padedant epitaksijos ir ėsdinimo inžinieriams atrankos metu greitai suderinti proceso langus ir išvengti dalelių ir eksploatavimo trukmės rizikos dėl medžiagų ir sąlygų neatitikimo.

Aixtron G10, Veeco, ASM susceptorių ir pakaitinimo žiedų suderinamumo ir pakeitimo sprendimai. Palaiko 1:1 brėžiniu pagrįstą tinkinimą, greitą standartinių dalių pristatymą, 3–6 savaites pasirinktines dalis su patikrinimo ataskaitomis ir pavyzdžių įvertinimu.

Pasirinkus tinkamą CVD SiC, TaC dangą arba kietą SiC, epitaksijos / ėsdinimo linijose tiesiogiai nustatomas dalelių lygis ir komponento naudojimo laikas. Šiame straipsnyje pateikiamos aiškios pasirinkimo ribos pagal temperatūrą, atmosferą ir procesą, suderintos su pagrindiniais įrangos keitimo sprendimais ir pagrindine metrika, kad būtų lengviau priimti greitus sprendimus ir sumažinti riziką.