Tantalo karbido danga

„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.

Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.

Pagrindinės savybės:

●Temperatūros stabilumas

●Itin aukšto grynumo

●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si

●Atsparumas šiluminiam poveikiui

●Stiprus sukibimas su grafitu

●Konforminės dangos padengimas

● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)

Programos:

●Vaflių laikiklis

● Indukcinis šildymo jutiklis

● Varžinis kaitinimo elementas

●Palydovinis diskas

●Dušo galvutė

●Vadovo žiedas

●LED Epi imtuvas

●Įpurškimo antgalis

●Maskuojantis žiedas

● Šilumos skydas

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos fizinės savybės
Tankis	14,3 (g/cm³)
Savitoji spinduliuotė	0.3
Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
Kietumas (HK)	2000 HK
Atsparumas	1×10^-5Ohm*cm
Terminis stabilumas	<2500 ℃
Keičiasi grafito dydis	-10-20um
Dangos storis	≥20um tipinė vertė (35um±10um)

TaC dangos EDX duomenys：

EDX data of TaC coating

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

Elementas	Atominis procentas
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Vidutinis
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC dangos griebtuvas TaC dangos planetinis diskas
TaC padengta plokštė TaC dangos sukimosi plokštė TaC dangos imtuvas CVD TaC dangos danga CVD TaC dangos žiedas TaC dangos plokštė

View as

TAC padengtas žiedas PVT augimui SiC pavieniui kristalui

„Vetek Semiconductor“, kaip vienas iš pirmaujančių TAC dangos produktų tiekėjų Kinijoje, gali suteikti klientams aukštos kokybės TAC dangos pritaikytas dalis. TAC padengtas žiedas, skirtas SiC vieno kristalo PVT augimui, yra vienas iš išskirtinių ir brandiausių „Vetek“ puslaidininkių produktų. Tai vaidina svarbų vaidmenį auginant SIC kristalų procesą PVT ir gali padėti klientams auginti aukštos kokybės SiC kristalus. Laukiu jūsų užklausos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

CVD TAC padengtas trijų petalo kreipiamųjų žiedas

„Vetek Semiconductor“ patyrė daugelį metų technologinės plėtros ir įvaldė pagrindinę CVD TAC dangos proceso technologiją. „CVD TAC“ padengtas trijų petalinių kreipiamųjų žiedas yra vienas iš „Vetek Semiconductor“ subrendusių CVD TAC dangos gaminių ir yra svarbus komponentas, skirtas paruošti SiC kristalus PVT metodu. Pasitelkdamas „Vetek“ puslaidininkį, manau, kad jūsų „SiC Crystal“ gamyba bus lygesnė ir efektyvesnė.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbido dangos žiedas

„Vetek“ puslaidininkių tantalum karbido dangos žiedas yra nepakeičiamas puslaidininkių pramonės komponentas, ypač ofortuojant sic vaflius. Jo grafito bazės ir TAC dangos derinys užtikrina puikų našumą aukštos temperatūros ir chemiškai agresyvioje aplinkoje. Dėl padidėjusio šiluminio stabilumo, atsparumo korozijai ir mechaniniam stiprumui, „Tantalum“ karbidas padengtas žiedas padeda puslaidininkių gamintojams pasiekti tikslumą, patikimumą ir aukštos kokybės rezultatus jų gamybos procesuose.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos žiedas

TAC dangos žiedas yra aukštos kokybės komponentas, skirtas naudoti puslaidininkių procesuose, „VEKEK“ puslaidininkių TAC dangos žiedas turi didelį šiluminį stabilumą, atsparumą cheminei korozijai ir puikų mechaninį stiprumą. Jis yra specialiai naudojamas laikyti ir palaikyti SIC vaflius ėsdinimo proceso metu, ėsdinimo proceso metu, ėsdinimo proceso metu, ėsdinimo proceso metu, ėsdinimo proceso metu, ėsdinimo proceso metu kur tiksli kontrolė ir patvarumas yra būtini norint pasiekti aukštos kokybės vaflius. Mes laukiame jūsų tolesnių konsultacijų.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

TAC dangos tiglis

Kaip profesionalus TAC dengimo tiglio tiekėjas ir gamintojas Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkio TAC dangos tiglis vaidina nepakeičiamą vaidmenį puslaidininkių vieno kristalų augimo procese su puikiu terminiu laidumu, išskirtiniu cheminiu stabilumu ir padidėjusiu atsparumu korozijai. Sveiki atvykę į tolesnius klausimus.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Tantalo karbidu padengtas kreipiamasis žiedas

Kaip Kinijoje pirmaujantis TaC dangos kreipiamojo žiedo tiekėjas ir gamintojas, „VeTek Semiconductor“ tantalo karbidu padengtas kreipiamasis žiedas yra svarbus komponentas, naudojamas reaktyviųjų dujų srautui nukreipti ir optimizuoti taikant PVT (fizinio garų transportavimo) metodą. Jis skatina vienodą SiC pavienių kristalų nusodinimą augimo zonoje, reguliuodamas dujų srauto pasiskirstymą ir greitį. „VeTek Semiconductor“ yra pirmaujanti TaC dangos kreipiamųjų žiedų gamintoja ir tiekėja Kinijoje ir net pasaulyje, todėl laukiame jūsų konsultacijos.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Tantalo karbido danga gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Tantalo karbido danga, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Tantalo karbido danga

Pagrindinės savybės:

Programos:

Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:

„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:

TaC dangos EDX duomenys：

TaC dangos kristalų struktūros duomenys:

TAC padengtas žiedas PVT augimui SiC pavieniui kristalui

CVD TAC padengtas trijų petalo kreipiamųjų žiedas

Tantalo karbido dangos žiedas

TAC dangos žiedas

TAC dangos tiglis

Tantalo karbidu padengtas kreipiamasis žiedas

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas