„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. „VeTek Semiconductor“ yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius iteracinių technologijų tyrimus ir plėtrą.
Pagrindiniai produktai yraTaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC padengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, Tantalo karbido TaC padengtas pusmėnulis, CVD TaC dangos planetinis SiC epitaksinis susceptorius, Tantalo karbido dangos žiedas, Tantalo karbidu padengtas akytasis grafitas, TaC dangos sukimosi susceptorius, Tantalo karbido žiedas, TaC dangos sukimosi plokštė, TaC dengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos danga, TaC padengtas griebtuvasir tt, grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga sulaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksiniams procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai. pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistema ir LPE SiC epitaksijos procesas. Jis taip pat plačiai taikomas PVT metodo SiC kristalų augimo procese.
Pagrindinės savybės:
●Temperatūros stabilumas
●Itin aukšto grynumo
●Atsparumas H2, NH3, SiH4, Si
●Atsparumas šiluminiam poveikiui
●Stiprus sukibimas su grafitu
●Konforminės dangos padengimas
● Dydis iki 750 mm skersmens (tokį dydį pasiekia vienintelis gamintojas Kinijoje)
Programos:
●Vaflių laikiklis
● Indukcinis šildymo jutiklis
● Varžinis kaitinimo elementas
●Palydovinis diskas
●Dušo galvutė
●Vadovo žiedas
●LED Epi imtuvas
●Įpurškimo antgalis
●Maskuojantis žiedas
● Šilumos skydas
Tantalo karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:
„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:
|
TaC dangos fizinės savybės
|
|
Tankis
|
14,3 (g/cm³)
|
|
Savitoji spinduliuotė
|
0.3
|
|
Šiluminio plėtimosi koeficientas
|
6.3 10-6/K
|
|
Kietumas (HK)
|
2000 HK
|
|
Atsparumas
|
1×10-5Ohm*cm
|
|
Terminis stabilumas
|
<2500 ℃
|
|
Keičiasi grafito dydis
|
-10-20um
|
|
Dangos storis
|
≥20um tipinė vertė (35um±10um)
|
TaC dangos EDX duomenys：
TaC dangos kristalų struktūros duomenys:
|
Elementas
|
Atominis procentas
|
|
|
Pt. 1
|
Pt. 2
|
Pt. 3
|
Vidutinis
|
|
C K
|
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
|
M
|
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
