„VeTek semiconductor“ yra pirmaujanti tantalo karbido dangos medžiagų, skirtų puslaidininkių pramonei, gamintoja. Mūsų pagrindiniai produktai yra CVD tantalo karbido dangos dalys, sukepintos TaC dangos dalys, skirtos SiC kristalų auginimui arba puslaidininkių epitaksijos procesui. Išlaikytas ISO9001, „VeTek Semiconductor“ gerai kontroliuoja kokybę. VeTek Semiconductor yra pasiryžusi tapti tantalo karbido dangų pramonės novatoriumi, vykdant nuolatinius tyrimus ir iteracinių technologijų plėtrą.
Pagrindiniai produktai yra TaC padengtas kreipiamasis žiedas, CVD TaC dengtas trijų žiedlapių kreipiamasis žiedas, tantalo karbidu padengtas TaC dengtas pusmėnulis, CVD TaC danga padengtas planetinis SiC epitaksinis susceptorius, tantalo karbido dangos žiedas, tantalo karbidu padengtas porėtas grafitas, TaC dangos sukamoji taC sluoksninė danga, RTA, TaC. padengtas plokštelinis susceptorius, TaC padengtas deflektoriaus žiedas, CVD TaC dangos dangtelis, TaC padengtas griebtuvas ir kt., grynumas yra mažesnis nei 5 ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.
TaC dangos grafitas sukuriamas padengus didelio grynumo grafito pagrindo paviršių plonu tantalo karbido sluoksniu patentuotu cheminiu garų nusodinimu (CVD). Privalumas parodytas žemiau esančiame paveikslėlyje:
Tantalo karbido (TaC) danga susilaukė dėmesio dėl aukštos lydymosi temperatūros iki 3880°C, puikaus mechaninio stiprumo, kietumo ir atsparumo šiluminiams smūgiams, todėl ji yra patraukli alternatyva sudėtiniams puslaidininkių epitaksijos procesams, kuriems taikomi aukštesni temperatūros reikalavimai, pavyzdžiui, Aixtron MOCVD sistemai ir LPE SiC epitaksijos procesui. Jis taip pat turi platų SiC kristalų augimo metodą.
Pagrindinės savybės
● Temperatūros stabilumas iki 2500°C ir puikus atsparumas šiluminiam smūgiui.
● Itin didelis grynumas (<5 ppm) ir stiprus sukibimas su grafitu, todėl dalelių susidarymas yra minimalus.
● Puikus atsparumas H₂, NH₃, SiH₄ ir Si garams atšiaurioje proceso aplinkoje.
● Konformali danga, kurios skersmuo iki 750 mm, unikaliai prieinama Kinijoje.
Gaminio specifikacija
„VeTek“ puslaidininkinės tantalo karbido dangos parametras:
| TaC dangos fizinės savybės |
| Tankis |
14,3 g/cm³ |
| Kietumas |
2000 HK |
| Šiluminis plėtimasis |
6,3 × 10⁻⁶ / K |
| Atsparumas |
1×10⁻⁵ Ohm·cm |
| Terminis stabilumas |
<2500°C |
| Dangos storis |
≥20 μm (įprastai 35±10 μm) |
karbido (TaC) danga ant mikroskopinio skerspjūvio:
TaC dangos EDX duomenys:
TaC dangos kristalų struktūros duomenys:
| Elementas |
Atominis procentas |
|
|
Pt. 1 |
Pt. 2 |
Pt. 3 |
Vidutinis |
| C K |
52.10
|
57.41
|
52.37
|
53.96
|
| Ta M |
47.90
|
42.59
|
47.63
|
46.04
|
Programos
Siekdama patenkinti įvairius puslaidininkių procesų poreikius, VeTek siūlo tikslinius tantalo karbido dangos produktus. Šioje lentelėje jie klasifikuojami pagal pagrindines taikymo sritis, išvardijant tipinius komponentus ir taikomus procesus:
| Taikymo laukas |
Tipiški produktai |
Programos aprašymas |
| SiC epitaksija |
CVD TaC padengtas planetinis susceptorius,TaC dengtas plokštelinis susceptorius,TaC padengtas kreipiamasis žiedas
|
Tinka aukštos temperatūros SiC epitaksiniams procesams (pvz., LPE metodas), užtikrinantis aukštą šiluminį stabilumą ir mažai užterštą sąsają, užtikrinančią plėvelės vienodumą. |
| GaN / LED epitaksija (MOCVD) |
Dušo galvutė, palydovinis diskas, maskavimo žiedas, šilumos skydas, įpurškimo antgalis |
Tinka Aixtron MOCVD sistemoms, atsparus H₂/NH3 korozijai, mažina dalelių užterštumą ir gerina LED epitaksinį derlių. |
| SiC kristalų auginimas (PVT metodas) |
TaC dengtas akytas grafitas,TaC padengtas pusmėnulis,kreipiamasis žiedas,viršelis,pakabukas
|
Naudojamas PVT SiC luito auginimui, atlaiko iki 2500°C, apsaugo nuo grafito reakcijų ir užtikrina kristalų grynumą. |
| Aukštos temperatūros šildymo ir pagalbiniai komponentai |
Indukcinis šildymo susceptorius,varžinis kaitinimo elementas, plokštelių laikiklis
|
Tinka indukcinėms arba rezistinėms šildymo sistemoms, pasižymi dideliu kietumu ir atsparumu šiluminiam smūgiui, prailgina komponentų tarnavimo laiką 3–5 kartus. |
Išsamesnių procesų suderinimo sprendimų ieškokiteSilicio karbido epitaksijasusijusios programos puslapis.
Mes palaikome pritaikytas paslaugas pagal klientų poreikius. Išlaikytas ISO9001 su gera kokybės kontrole.
Kviečiame susisiekti su mumis dėl tolimesnės konsultacijos arba palikti žinutę
