Produktai
TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė
  • TAC dangos pjedestalo atraminė plokštėTAC dangos pjedestalo atraminė plokštė

TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė

TAC danga gali atlaikyti aukštą 2200 ℃ aukštą temperatūrą. „Vetek“ puslaidininkis suteikia aukšto grynumo TAC dangą, kurios priemaišos yra mažesnės nei 5ppm Kinijoje. TAC dangos pjedestalo atraminė plokštė gali atlaikyti amoniako vandenilį, argoniną epitaksinės prietaiso reakcijos kameroje. Tai pagerina produkto aptarnavimo tarnavimo laiką. Jūs pateikiate reikalavimus, mes pateikiame pritaikymą.

„Vetek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas ir tiekėjas, kuris daugiausia gamina CVD TAC dengimo atvaizdus, ​​įleidimo žiedą, vaflių chuncką, TAC padengtą laikiklį, TAC dangos pjedestalo atraminę plokštelę su ilgametėmis patirtimi. Tikiuosi užmegzti verslo santykius su jumis.


TAC keramikos lydymosi taškas yra iki 3880 ℃, didelis kietumas (MOHS kietumas 9 ~ 10), didelis šilumos laidumas (22W · m-1· K−1), didelis lenkimo stipris (340 ~ 400MPa) ir mažas šiluminio išsiplėtimo koeficientas (6,6 × 10−6K−1) ir parodykite puikų termocheminį stabilumą ir puikias fizines savybes. Jis turi gerą cheminį ir mechaninį suderinamumą su grafito ir C/C kompozicinėmis medžiagomis, todėl TAC danga yra plačiai naudojama šiluminės apsaugos nuo aviacijos ir kosmoso, vieno kristalų augimo ir epitaksinių reaktorių, tokių kaip Aixtron, LPE EPI reaktorius puslaidininkių pramonėje. 


TAC dengtas grafitas turi geresnį cheminį atsparumą korozijai nei plikas akmens rašalas ar SIC dengtas grafitas, jis gali būti stabiliai naudojamas esant 2200 ° aukštai temperatūrai, nereaguoja su daugeliu metalinių elementų. Tai yra trečioji puslaidininkių vienviečių augimo, epitaksijos ir vaflinių ėsdinimo stygos. Vafliai. Tai ypač tinka auginti Gan ar Aln vieno kristalą MOCVD įrangoje ir SiC vienkartiniame kristale PVT įrangoje, o vienkartinių krištolo kokybė, akivaizdžiai pagerėja.


TAC dangos ir SiC dangos atsarginės dalys, kurias galime padaryti:

TaC coating and SiC coating Spare parts


TAC dangos parametras:

TAC dangos fizinės savybės
TAC dangos tankis 14.3 (g/cm³)
Specifinis spinduliavimas 0.3
Šilumos išplėtimo koeficientas 6.3 10-6/K
TAC dangos kietumas (HK) 2000 HK
Pasipriešinimas 1 × 10-5Ohm*cm
Šiluminis stabilumas <2500 ℃
Grafito dydžio pokyčiai -10 ~ -20um
Dangos storis ≥20um tipinė vertė (35um ± 10um)


ĮkrovaPuslaidininkių lustų epitaksijos pramonės grandinė pramonės grandinė:

VeTek Semiconductor chip epitaxy industry chain Industrial Chain


IT puslaidininkisTAC dangos pjedestalo atraminė plokštėGamybos parduotuvė

VeTek Semiconductor TaC Coating Pedestal Support Plate Production Shop


Hot Tags: TaC Coating Pedestal Support Plate
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept