VETEK SEMICENDUCTOR Solid Silicon Carbide yra svarbus keraminis komponentas plazmos ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) Dalys, esančios ėsdinimo įrangojeFocus Rings, dušo dušo galvutė, dėklas, kraštų žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo iki chloro ir fluoro turinčių ėsdinančių dujų, tai yra ideali medžiaga plazminės ėsdinimo įrangai, fokusuojančioms žiedams ir kitiems komponentams.
Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už vaflio ribų ir tiesiogiai kontaktuojant su vafliu, pritaikant ringui įtampą, kad sutelktų plazmą, einančią per žiedą, ir taip sutelkiant plazmą į vaflį, kad pagerintumėte apdorojimo vienodumą. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedinė medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra blogas oforto atsparumas fluoro turinčioje plazmoje, oforto dalių medžiagos, dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtas korozijos reiškinys, rimtai mažinantis jo gamybos efektyvumą.
SOlid sic fokusavimo žiedasDarbo principas：
Ir pagrįsto fokusavimo žiedo ir CVD SIC fokusavimo žiedo palyginimas
|
Ir pagrįsto fokusavimo žiedo ir CVD SIC fokusavimo žiedo palyginimas
|
|
Daiktas
|
Ir
|
CVD sic
|
|
Tankis (g/cm3)
|
2.33
|
3.21
|
|
Juostos tarpas (EV)
|
1.12
|
2.3
|
|
Šilumos laidumas (be cm ℃)
|
1.5
|
5
|
|
CTE (x10-6/℃)
|
2.6
|
4
|
|
Elastinis modulis (GPA)
|
150
|
440
|
|
Kietumas (GPA)
|
11.4
|
24.5
|
|
Atsparumas dėvėjimui ir korozijai
|
Vargšas
|
Puiku
|
„Vetek Semiconductor“ siūlo pažangias tvirtas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) dalis, tokias kaip SIC fokusavimo žiedai puslaidininkių įrangai. Mūsų kietas silicio karbidas, fokusuojantis žiedus, lenkia tradicinį silicį, atsižvelgiant į mechaninį stiprumą, cheminį atsparumą, šilumos laidumą, ilgaamžiškumą aukštai temperatūrai ir jonų ėsdinimo atsparumą.
Pagrindinės mūsų SIC fokusavimo žiedų bruožai yra:
Didelis tankis sumažėjusiam ėsdinimo greičiui.
Puiki izoliacija su dideliu juosta.
Didelis šilumos laidumas ir žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas.
Aukščiausias atsparumas mechaniniam smūgiui ir elastingumas.
Didelis kietumas, atsparumas nusidėvėjimui ir atsparumas korozijai.
Pagaminta naudojantPlazmoje patobulintas cheminio garų nusėdimas (PECVD)Technikos, mūsų SIC fokusavimo žiedai patenkina didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie yra skirti atlaikyti didesnę plazmos galią ir energiją, ypačTapatuojamai sujungta plazma (CCP)sistemos.
„Vetek Semiconductor“ SIC fokusavimo žiedai suteikia išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkių įrenginių gamyboje. Pasirinkite mūsų SIC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.
