Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Produktai

Kietas silicio karbidas

„VeTek“ puslaidininkinis kietasis silicio karbidas yra svarbus keramikos komponentas plazminio ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) apima ėsdinimo įrangos dalisfokusavimo žiedai, dujinio dušo galvutė, padėklas, krašto žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo chloro ir fluoro turinčioms ėsdinimo dujoms, tai ideali medžiaga plazminio ėsdinimo įrangos fokusavimo žiedams ir kt. komponentai.


Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už plokštelės ribų ir tiesiogiai susiliečianti su plokštele, įjungdama įtampą, kad sufokusuotų per žiedą einanti plazma, taip sufokusuojant plazmą ant plokštelės, kad būtų pagerintas plokštelės vienodumas. apdorojimas. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedo medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra silpnas atsparumas ėsdymui fluoro turinčioje plazmoje, ėsdinimo mašinų dalių medžiagose, kurios dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtų problemų. korozijos reiškinys, labai sumažinantis jo gamybos efektyvumą.


Sbuvo SiC Focus RingDarbo principas：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas:

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas
Prekė Ir CVD SiC
Tankis (g/cm3) 2.33 3.21
Juostos tarpas (eV) 1.12 2.3
Šilumos laidumas (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Tamprumo modulis (GPa) 150 440
Kietumas (GPa) 11.4 24.5
Atsparumas dilimui ir korozijai Vargšas Puikiai


„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangias kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) dalis, tokias kaip SiC fokusavimo žiedai puslaidininkinei įrangai. Mūsų kieto silicio karbido fokusavimo žiedai lenkia tradicinį silicį mechaniniu stiprumu, cheminiu atsparumu, šilumos laidumu, ilgaamžiškumu aukštoje temperatūroje ir atsparumu jonų ėsdinimui.


Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Didelis tankis sumažina ėsdinimo greitį.

Puiki izoliacija su dideliu juostos tarpu.

Didelis šilumos laidumas ir mažas šilumos plėtimosi koeficientas.

Puikus atsparumas mechaniniams smūgiams ir elastingumas.

Didelis kietumas, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijai.

Pagaminta naudojantplazma pagerintas cheminis nusodinimas garais (PECVD)Mūsų SiC fokusavimo žiedai atitinka didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie sukurti taip, kad atlaikytų didesnę plazmos galią ir energiją, ypačtalpinė plazma (CCP)sistemos.

VeTek Semiconductor SiC fokusavimo žiedai užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Pasirinkite mūsų SiC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.


View as  
 
Aukšto grynumo Cvd SiC žaliava

Aukšto grynumo Cvd SiC žaliava

Didelio grynumo CVD SiC žaliava, kurią paruošė CVD, yra geriausia šaltinio medžiaga silicio karbido kristalų augimui fizinio garų pernešime. Didelio grynumo CVD SiC žaliavos tankis, kurį tiekia „Vetek“ puslaidininkis, yra didesnis nei mažų dalelių, susidariusių spontaniškai deginant Si ir C turinčias dujas, ir tam nereikia specialios sukepinimo krosnies, ir jos garinimo greitis yra beveik pastovus. Jis gali augti ypač aukštos kokybės SiC pavienius kristalus. Laukiu jūsų užklausos.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Kietas sic vaflių laikiklis

Kietas sic vaflių laikiklis

„Vetek Semiconductor“ kietas sic vaflių laikiklis yra skirtas aukštai temperatūrai ir korozijai atspariai aplinkai puslaidininkiniams epitaksiniams procesams ir yra tinkamas visų rūšių vaflių gamybos procesams, kuriems yra didelis grynumo reikalavimai. „Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis vaflių vežėjų tiekėjas Kinijoje ir tikisi tapti jūsų ilgalaikiu partneriu puslaidininkių pramonėje.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Tvirta sic disko formos dušo galvutė

Tvirta sic disko formos dušo galvutė

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti puslaidininkių įrangos gamintojas Kinijoje ir profesionalus gamintojas ir tvirto sic disko formos dušo galvutės gamintojas ir tiekėjas. Mūsų disko formos dušo galvutė yra plačiai naudojama plonose plėvelėse, tokiose kaip CVD procesas, siekiant užtikrinti vienodą reakcijos dujų pasiskirstymą ir yra vienas iš pagrindinių CVD krosnies komponentų.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Sic sandarinimo dalis

Sic sandarinimo dalis

Kaip patobulintas SIC sandarinimo dalių produktų gamintojas ir gamykla Kinijoje. „Vetek“ puslaidininkių sandarinimo dalis yra aukštos kokybės sandarinimo komponentas, plačiai naudojamas puslaidininkių apdorojime ir kitose ekstremaliose aukštos temperatūros ir aukšto slėgio procesuose. Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Silicio karbido dušo galvutė

Silicio karbido dušo galvutė

Silicio karbido dušo galvutė turi puikų aukštos temperatūros toleranciją, cheminį stabilumą, šilumos laidumą ir gerą dujų pasiskirstymą, kuris gali pasiekti vienodą dujų pasiskirstymą ir pagerinti plėvelės kokybę. Todėl jis paprastai naudojamas aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaip cheminio garų nusėdimas (CVD) arba fizinio garų nusėdimo (PVD) procesai. Sveiki atvykę į mūsų tolesnes konsultacijas mums, „Vetek Semiconductor“.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Silicio karbido sandariklis

Silicio karbido sandariklis

Kaip profesionalus silicio karbido ruonių žiedo produktų gamintojas ir gamykla Kinijoje, „Vetek“ puslaidininkių silicio karbido sandariklio žiedas yra plačiai naudojamas puslaidininkių perdirbimo įrangoje dėl puikaus atsparumo šilumai, atsparumo korozijai, mechaniniam stiprumui ir šilumos laidumui. Tai ypač tinka procesams, kuriuose yra aukšta temperatūra ir reaktyviosios dujos, tokios kaip CVD, PVD ir plazmos ėsdinimas, ir yra pagrindinis medžiagos pasirinkimas puslaidininkių gamybos procese. Laukiami tolesni jūsų užklausos.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Kaip profesionalus Kietas silicio karbidas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Kietas silicio karbidas, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
Naujienų rekomendacijos
Italijos LPE 200 mm SiC epitaksinės technologijos pažanga
Italijos LPE 200 mm SiC epitaksinės technologijos pažangaPeržiūrėti daugiau >>
Keturi galingiausi grafito gamintojai pasaulyje - VETEK
Keturi galingiausi grafito gamintojai pasaulyje - VETEKPeržiūrėti daugiau >>
TAC dengtų grafito dalių taikymas vienos kristalų krosnyse
TAC dengtų grafito dalių taikymas vienos kristalų krosnysePeržiūrėti daugiau >>
Koks yra epitaksinis procesas?
Koks yra epitaksinis procesas?Peržiūrėti daugiau >>
Kas yra silicio karbido kristalų augimas?
Kas yra silicio karbido kristalų augimas?Peržiūrėti daugiau >>
Gan pagrindu sukurta žemos temperatūros epitaksijos technologija
Gan pagrindu sukurta žemos temperatūros epitaksijos technologijaPeržiūrėti daugiau >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept