Kietas silicio karbidas

„VeTek“ puslaidininkinis kietasis silicio karbidas yra svarbus keramikos komponentas plazminio ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) apima ėsdinimo įrangos dalisfokusavimo žiedai, dujinio dušo galvutė, padėklas, krašto žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo chloro ir fluoro turinčioms ėsdinimo dujoms, tai ideali medžiaga plazminio ėsdinimo įrangos fokusavimo žiedams ir kt. komponentai.

Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už plokštelės ribų ir tiesiogiai susiliečianti su plokštele, įjungdama įtampą, kad sufokusuotų per žiedą einanti plazma, taip sufokusuojant plazmą ant plokštelės, kad būtų pagerintas plokštelės vienodumas. apdorojimas. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedo medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra silpnas atsparumas ėsdymui fluoro turinčioje plazmoje, ėsdinimo mašinų dalių medžiagose, kurios dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtų problemų. korozijos reiškinys, labai sumažinantis jo gamybos efektyvumą.

Sbuvo SiC Focus RingDarbo principas：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas:

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas
Prekė	Ir	CVD SiC
Tankis (g/cm³)	2.33	3.21
Juostos tarpas (eV)	1.12	2.3
Šilumos laidumas (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Tamprumo modulis (GPa)	150	440
Kietumas (GPa)	11.4	24.5
Atsparumas dilimui ir korozijai	Vargšas	Puikiai

„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangias kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) dalis, tokias kaip SiC fokusavimo žiedai puslaidininkinei įrangai. Mūsų kieto silicio karbido fokusavimo žiedai lenkia tradicinį silicį mechaniniu stiprumu, cheminiu atsparumu, šilumos laidumu, ilgaamžiškumu aukštoje temperatūroje ir atsparumu jonų ėsdinimui.

Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Didelis tankis sumažina ėsdinimo greitį.

Puiki izoliacija su dideliu juostos tarpu.

Didelis šilumos laidumas ir mažas šilumos plėtimosi koeficientas.

Puikus atsparumas mechaniniams smūgiams ir elastingumas.

Didelis kietumas, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijai.

Pagaminta naudojantplazma pagerintas cheminis nusodinimas garais (PECVD)Mūsų SiC fokusavimo žiedai atitinka didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie sukurti taip, kad atlaikytų didesnę plazmos galią ir energiją, ypačtalpinė plazma (CCP)sistemos.

VeTek Semiconductor SiC fokusavimo žiedai užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Pasirinkite mūsų SiC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.

View as

Cheminio garų nusėdimo procesas Kietas SiC krašto žiedas

„Vetek Semiconductor“ visada buvo įsipareigojusi tiriant ir plėtojant pažengusių puslaidininkių medžiagas. Šiandien „Vetek Semiconductor“ padarė didelę pažangą cheminio garų nusėdimo proceso metu tvirti SiC krašto žiedo produktai ir gali klientams suteikti labai pritaikytus tvirtus sico krašto žiedus. Tvirtos SiC krašto žiedai suteikia geresnį ėsdinimo vienodumą ir tikslų vaflių padėties nustatymą, kai naudojami su elektrostatiniu griebtuvu, užtikrinant nuoseklius ir patikimus ėsdinimo rezultatus. Laukiu jūsų tyrimo ir tapdami vienas kito ilgalaikiais partneriais.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kietas sic ofortas fokusavimo žiedas

Kietojo SiC ėsdinimo fokusavimo žiedas yra vienas iš pagrindinių plokštelių ėsdinimo proceso komponentų, kuris atlieka vaidmenį fiksuojant plokštelę, fokusuojant plazmą ir gerinant plokštelių ėsdinimo vienodumą. Kaip pirmaujanti SiC fokusavimo žiedų gamintoja Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ turi pažangias technologijas ir brandų procesą bei gamina kietojo SiC ėsdinimo fokusavimo žiedą, kuris visiškai atitinka galutinių klientų poreikius pagal klientų poreikius. Laukiame jūsų užklausos ir tapsime vienas kito ilgalaikiais partneriais.

Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>

Kaip profesionalus Kietas silicio karbidas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Kietas silicio karbidas, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas
+86-18069220752
Faksas
+86-579-87223657
paštas
anny@veteksemi.com
Adresas
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang provincija, Kinija

Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Išeiti iš meniu

Kietas silicio karbidas

Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Cheminio garų nusėdimo procesas Kietas SiC krašto žiedas

Kietas sic ofortas fokusavimo žiedas

Siųsti užklausą

QR kodas

Apie mus

Produktai

Susisiekite su mumis

Telefonas

Faksas

paštas

Adresas