Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Produktai

Kietas silicio karbidas

„VeTek“ puslaidininkinis kietasis silicio karbidas yra svarbus keramikos komponentas plazminio ėsdinimo įrangoje, kietas silicio karbidas (CVD silicio karbidas) apima ėsdinimo įrangos dalisfokusavimo žiedai, dujinio dušo galvutė, padėklas, krašto žiedai ir kt. Dėl mažo kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) reaktyvumo ir laidumo chloro ir fluoro turinčioms ėsdinimo dujoms, tai ideali medžiaga plazminio ėsdinimo įrangos fokusavimo žiedams ir kt. komponentai.


Pavyzdžiui, fokusavimo žiedas yra svarbi dalis, esanti už plokštelės ribų ir tiesiogiai susiliečianti su plokštele, įjungdama įtampą, kad sufokusuotų per žiedą einanti plazma, taip sufokusuojant plazmą ant plokštelės, kad būtų pagerintas plokštelės vienodumas. apdorojimas. Tradicinis fokusavimo žiedas pagamintas iš silicio arbakvarcas, laidus silicis kaip įprasta fokusavimo žiedo medžiaga, jis yra beveik artimas silicio plokštelių laidumui, tačiau trūkumas yra silpnas atsparumas ėsdymui fluoro turinčioje plazmoje, ėsdinimo mašinų dalių medžiagose, kurios dažnai naudojamos tam tikrą laiką, bus rimtų problemų. korozijos reiškinys, labai sumažinantis jo gamybos efektyvumą.


Sbuvo SiC Focus RingDarbo principas：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas:

Ir pagrindu pagaminto fokusavimo žiedo ir CVD SiC fokusavimo žiedo palyginimas
Prekė Ir CVD SiC
Tankis (g/cm3) 2.33 3.21
Juostos tarpas (eV) 1.12 2.3
Šilumos laidumas (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Tamprumo modulis (GPa) 150 440
Kietumas (GPa) 11.4 24.5
Atsparumas dilimui ir korozijai Vargšas Puikiai


„VeTek Semiconductor“ siūlo pažangias kieto silicio karbido (CVD silicio karbido) dalis, tokias kaip SiC fokusavimo žiedai puslaidininkinei įrangai. Mūsų kieto silicio karbido fokusavimo žiedai lenkia tradicinį silicį mechaniniu stiprumu, cheminiu atsparumu, šilumos laidumu, ilgaamžiškumu aukštoje temperatūroje ir atsparumu jonų ėsdinimui.


Pagrindinės mūsų SiC fokusavimo žiedų savybės::

Didelis tankis sumažina ėsdinimo greitį.

Puiki izoliacija su dideliu juostos tarpu.

Didelis šilumos laidumas ir mažas šilumos plėtimosi koeficientas.

Puikus atsparumas mechaniniams smūgiams ir elastingumas.

Didelis kietumas, atsparumas dilimui ir atsparumas korozijai.

Pagaminta naudojantplazma pagerintas cheminis nusodinimas garais (PECVD)Mūsų SiC fokusavimo žiedai atitinka didėjančius ėsdinimo procesų reikalavimus puslaidininkių gamyboje. Jie sukurti taip, kad atlaikytų didesnę plazmos galią ir energiją, ypačtalpinė plazma (CCP)sistemos.

VeTek Semiconductor SiC fokusavimo žiedai užtikrina išskirtinį našumą ir patikimumą puslaidininkinių prietaisų gamyboje. Pasirinkite mūsų SiC komponentus, kad gautumėte aukščiausios kokybės ir efektyvumo.


View as  
 
CVD SIC blokas, skirtas SiC kristalų augimui

CVD SIC blokas, skirtas SiC kristalų augimui

CVD SIC blokas, skirtas SiC kristalų augimui, yra nauja aukšto grynumo žaliava, kurią sukūrė „Vetek“ puslaidininkis. Jis turi aukštą įvesties ir išvesties santykį ir gali auginti aukštos kokybės, didelio dydžio silicio karbido pavienius kristalus, tai yra antros kartos medžiaga, pakeičianti šiandien rinkoje naudojamus miltelius. Sveiki atvykę aptarti techninių klausimų.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
SiC krištolo augimo nauja technologija

SiC krištolo augimo nauja technologija

Vetek puslaidininkio ypač aukšto grynumo silicio karbido (SIC), suformuotas cheminio garų nusėdimas (CVD), yra rekomenduojamas naudoti kaip šaltinio medžiagą silicio karbido kristalų auginimui fizinio garų transportavimu (PVT). Nauja „SiC Crystal Growth“ technologija šaltinio medžiaga yra pakraunama į tiglį ir sublimatuojama ant sėklų kristalo. Norėdami auginti SiC kristalus, naudokite aukšto grynumo CVD-SIC blokus. Sveiki atvykę užmegzti partnerystę su mumis.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
CVD sic dušo galvutė

CVD sic dušo galvutė

„Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis CVD SIC dušo galvų gamintojas ir novatorius Kinijoje. Mes daugelį metų specializuojamės SIC medžiagoje. CVD SIC dušo galvutė pasirinkta kaip fokusavimo žiedinė medžiaga dėl puikaus termocheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo ir atsparumo plazmos erozijai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Sic dušo galvutė

Sic dušo galvutė

„Vetek Semiconductor“ yra pagrindinis SIC dušo galvučių gamintojas ir novatorius Kinijoje. Mes daugelį metų specializuojamės SIC medžiagoje. SiC dušo galvutė pasirinkta kaip fokusavimo žiedo medžiaga dėl puikaus termocheminio stabilumo, didelio mechaninio stiprumo ir atsparumo plazmos erozijai. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
LPE PE2061 SIC dengtas statinės jautrininkas

LPE PE2061 SIC dengtas statinės jautrininkas

Būdama viena iš pirmaujančių plokštelių susceptorių gamybos įmonių Kinijoje, „VeTek Semiconductor“ padarė nuolatinę pažangą plokštelių susceptorių gaminių srityje ir tapo pirmuoju daugelio epitaksinių plokštelių gamintojų pasirinkimu. „VeTek Semiconductor“ tiekiamas SiC padengtas cilindrinis susceptorius, skirtas LPE PE2061S, skirtas LPE PE2061S 4 colių plokštelėms. Susceptorius turi patvarią silicio karbido dangą, kuri pagerina veikimą ir ilgaamžiškumą LPE (skystosios fazės epitaksijos) proceso metu. Sveikiname jūsų užklausą, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Kieto SiC dujinė dušo galvutė

Kieto SiC dujinė dušo galvutė

Kietojo SiC dujinė dušo galvutė atlieka svarbų vaidmenį, kad dujos būtų vienodos CVD procese, taip užtikrinant vienodą pagrindo šildymą. „VeTek Semiconductor“ jau daugelį metų aktyviai dirba kietojo SiC įrenginių srityje ir gali pateikti klientams pritaikytas kieto SiC dujų dušo galvutes. Nesvarbu, kokie yra jūsų reikalavimai, laukiame jūsų užklausos.
Peržiūrėti daugiau >> Siųsti užklausą >>
Kaip profesionalus Kietas silicio karbidas gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, mes turime savo gamyklą. Nesvarbu, ar jums reikia pritaikytų paslaugų, kad patenkintumėte specifinius jūsų regiono poreikius, ar norite nusipirkti pažangų ir patvarų Kietas silicio karbidas, pagamintą Kinijoje, galite palikti mums pranešimą.
Naujienų rekomendacijos
Silicio epitaksijos savybės
Silicio epitaksijos savybėsPeržiūrėti daugiau >>
SiC epitaksialinės augimo krosnies techniniai maršrutai
SiC epitaksialinės augimo krosnies techniniai maršrutaiPeržiūrėti daugiau >>
Kas yra „Tantalum Carbide TAC“ danga? - „Veteksemicon“
Kas yra „Tantalum Carbide TAC“ danga? - „Veteksemicon“Peržiūrėti daugiau >>
Kuo skiriasi MBE ir MOCVD technologijos?
Kuo skiriasi MBE ir MOCVD technologijos?Peržiūrėti daugiau >>
Kodėl SIC danga yra pagrindinė pagrindinė medžiaga, skirta SiC epitaksiniam augimui?
Kodėl SIC danga yra pagrindinė pagrindinė medžiaga, skirta SiC epitaksiniam augimui?Peržiūrėti daugiau >>
Kas yra silicio karbido keramika?
Kas yra silicio karbido keramika?Peržiūrėti daugiau >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept