Tvirta sic disko formos dušo galvutė

Kietos SiC disko formos dušo galvutės vaidmuo CVD procese yra tolygiai paskirstyti reakcijos dujas virš nusodinimo srities, kad dujas būtų galima tolygiai išsklaidyti visame reaktoriuje, kad gautumėte plokščią ir vienodą plėvelę.

Tvirta SiC dušo galvutė yra CVD krosnies viršuje arba prie dujų įleidimo angos viršuje. Reakcijos dujos patenka į disko formos struktūrą per skylutes, paskirstytas ant dušo galvutės, ir išsisklaido aplink dušo galvutės paviršių. Per daugialypį kanalo projektą ir tolygiai paskirstytus lizdus, ​​reakcijos dujos gali tolygiai tekėti į visą reaktoriaus sritį, išvengti koncentracijos ar turbulencijos ir užtikrinti, kad sluoksnio storio konsistencija būtų sudedamos į substratą.

Tuo pačiu metu puslaidininkinio disko formos dušo galvutės struktūra taip pat turi difuzijos efektą, kuris gali efektyviai sumažinti dujų srauto greitį, kad ją būtų galima tolygiai išsklaidyti prie purkštuko išleidimo angos ir sumažinti vietinių dujų srauto pokyčių poveikį nusodinimo efektui. Tai padeda išvengti tiesioginio poveikio dujoms substratui ir užkirsti kelią nelygaus nusėdimo problemai.

Žvelgiant iš medžiagų, kietos SiC dujų dušo galvutė yra pagaminta iš aukštai temperatūros atsparios, atsparios korozijai ir didelio stiprumo kietos SiC medžiagos, kurios stabilumas yra labai didelis. Jis ilgą laiką gali stabiliai veikti CVD krosnyje ir turi ilgą tarnavimo laiką.

„Vetek Semiconductor“ teikia aukštos kokybės pritaikytas paslaugas. Kietojo SiC disko formos dušo galvutės formos ir skylių išdėstymas gali būti lanksčiai koreguojamas atsižvelgiant į kliento proceso reikalavimus, kad būtų galima prisitaikyti prie skirtingų dujų tipų, srauto greičio ir nusėdimo medžiagų. Skirtingo dydžio reaktoriams ar substrato dydžiams galima pritaikyti disko formos dušo galvutes su skirtingo skersmens ir skylių pasiskirstymu, kad būtų galima optimizuoti dujų pasiskirstymo efektą.

„Vetek Semiconductor“ turi subrendusius procesus ir pažangias technologijas, skirtas tvirtiems SIC puslaidininkių dušo galvutės gaminiams, padėdami daugybei klientų pasiekti nuolatinę CVD procesų pažangą. „Vetek Semiconductor“ tikisi tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Fizinės kieto sic savybės

IT puslaidininkisKietos sic disko formos dušo galvutės gamybos parduotuvės