Silicio karbido danga

VeTek Semiconductor specializuojasi ypač grynų silicio karbido dangų gaminių gamyboje, šios dangos skirtos dengti išgrynintam grafitui, keramikai ir ugniai atspariems metalo komponentams.

Mūsų didelio grynumo dangos pirmiausia skirtos naudoti puslaidininkių ir elektronikos pramonėje. Jie tarnauja kaip apsauginis sluoksnis plokštelių laikikliams, susceptoriams ir kaitinimo elementams, apsaugant juos nuo korozinės ir reaktyvios aplinkos, atsirandančios tokiuose procesuose kaip MOCVD ir EPI. Šie procesai yra neatsiejami nuo plokštelių apdorojimo ir prietaisų gamybos. Be to, mūsų dangos puikiai tinka naudoti vakuuminėse krosnyse ir mėginių šildymui, kur susiduriama su didelio vakuumo, reaktyviosios ir deguonies aplinka.

„VeTek Semiconductor“ siūlo visapusišką sprendimą su mūsų pažangiomis mašinų parduotuvės galimybėmis. Tai leidžia mums gaminti pagrindinius komponentus naudojant grafitą, keramiką ar ugniai atsparius metalus, o SiC arba TaC keramines dangas dengti patys. Taip pat teikiame klientų tiekiamų dalių dengimo paslaugas, užtikriname lankstumą, kad atitiktų įvairius poreikius.

Mūsų silicio karbido dangos gaminiai yra plačiai naudojami Si epitaksijoje, SiC epitaksijoje, MOCVD sistemoje, RTP / RTA procese, ėsdinimo procese, ICP / PSS ėsdinimo procese, įvairių tipų šviesos diodų procese, įskaitant mėlyną ir žalią LED, UV LED ir giliai UV. LED ir kt., kuris pritaikytas LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI ir pan.

„VeTek“ puslaidininkinės silicio karbido dangos parametras

CVD SIC PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪRA