Silicio karbido danga

„Veteksemicon“ CVD SIC dengtas vaflių jautrumas yra pažangiausias puslaidininkių epitaksinių procesų sprendimas, siūlantis ypač aukštą grynumą (≤100PPB, ICP-E10 sertifikuotą) ir išskirtinius terminius/cheminius stabilumus, skirtus užteršti GAN, SIC ir Silikono EPI-sluoksnių augimą. Integruotas naudojant tikslią CVD technologiją, ji palaiko 6 ”/8”/12 ”vaflius, užtikrina minimalų šiluminį įtempį ir atlaiko ekstremalią temperatūrą iki 1600 ° C.

Mūsų SIC padengtas planetinis jautrininkas yra pagrindinis puslaidininkių gamybos aukštos temperatūros proceso komponentas. Jo dizainas sujungia grafito substratą su silicio karbido danga, kad būtų galima išsamiai optimizuoti šiluminio valdymo efektyvumą, cheminį stabilumą ir mechaninį stiprumą.

Mūsų SIC padengtas epitaksijos sandarinimo žiedas yra aukštos kokybės sandarinimo komponentas, pagrįstas grafito ar anglies-anglies kompozitais, padengtais didelio grynumo silicio karbidu (SIC) cheminiu garų nusėdimu (CVD), kuris sujungia grafito terminį stabilumą su MOC, MOC, ir yra suprojektuota semiktarų epitaksialo įrangai (E.G.

„Veteksemicon“ pavienių vaflių EPI grafito suvokimas yra skirtas aukšto našumo silicio karbidui (SIC), galio nitridui (GAN) ir kitoms trečios kartos puslaidininkių epitaksiniam procesui, ir tai yra pagrindinis didelio tikslumo epitaksinio lapo komponentas.

Svarbus komponentas, naudojamas vaflių gamybos ėsdinimo procese, yra plazmos ėsdinimo fokusavimo žiedas, kurio funkcija yra laikyti vaflius vietoje, kad būtų palaikomas plazmos tankis ir užkirsti kelią vaflių pusių užterštumui. Vetek puslaidininko, užtikrinantis plazmos oforto fokusavimo žiedą su skirtingomis medžiagomis, tokiomis kaip monokristalinio silicio, silicio karbido, boro karbido ir kitokios seramiko medžiagų.

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti SIC dengtų e-chuckso gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. „SiC“ dengta „E-Chuck“ yra specialiai sukurta „Gan Wafer“ oforto procesui, pasižyminčiam puikiu našumu ir ilgu aptarnavimo tarnavimo tarnyba, kad būtų užtikrintas visapusiškas jūsų puslaidininkių gamybos palaikymas. Mūsų stiprūs apdorojimo galimybės suteikia mums galimybę suteikti jums norimą „SiC“ keramikos suvokėją. Laukiu jūsų paklausimo.