Kvarco komponentų taikymas puslaidininkių įrangoje

Kvarco produktaiyra plačiai naudojami puslaidininkių gamybos procese dėl jų didelio grynumo, aukštos temperatūros atsparumo ir stipraus cheminio stabilumo.

1. Quartz Crucible

Taikymas - jis naudojamas piešiant monokristalinius silicio strypus ir yra pagrindinis silicio plokštelių gamybos suvartojimas.

Kvarco tipasyra pagaminti iš didelio grynumo kvarco smėlio (4N8 laipsnio ir aukštesnės), kad būtų sumažintas užteršimas metalo priemaišomis. Jis turėtų turėti aukštos temperatūros stabilumą (lydymosi taškas> 1700 ° C) ir žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą. Puslaidininkių lauke kvarco tipas daugiausia naudojami silicio pavienių kristalų gamybai. Tai yra vartojamos kvarco talpyklos, skirtos pakrauti polikristalinius silicio žaliavas, ir juos galima suskirstyti į kvadratinę ir apvalią rūšį. Kvadratiniai yra naudojami polikristalinių silicio luitų liejimui, o apvalios - naudojamos monokristalinių silicio strypų piešimui. Tai gali atlaikyti aukštą temperatūrą ir palaikyti cheminį stabilumą, užtikrinant silicio pavienių kristalų grynumą ir kokybę.

2. „Quartz“ krosnies vamzdžiai

Kvarco vamzdžiaiyra plačiai naudojami puslaidininkių pramonėje dėl jų savybių, tokių kaip atsparumas didelei temperatūrai (ilgalaikė darbinė temperatūra gali siekti daugiau nei 1100 ° C), cheminio korozijos atsparumas (stabilus, išskyrus keletą reagentų, pavyzdžiui, hidrofluoro rūgšties), didelio grynumo (ypač grynumo kiekis gali būti toks pat kaip PPM ar net PPB lygis) ir puikų apšvietimo transliaciją (ypač uletos kiekis). Pagrindiniai scenarijai yra sutelkti į daugybę pagrindinių vaflių gamybos proceso nuorodų.

Pagrindinės programos nuorodos:Difuzija, oksidacija, CVD (cheminis garų nusėdimas)

Tikslas:

• Difuzijos vamzdis: naudojamas didelės temperatūros difuzijos procesuose, jis nešioja silicio vaflius dopingui.
• Krosnies vamzdis: palaiko kvarco valtis oksidacijos krosnyje, skirta apdoroti oksidaciją aukštai temperatūroje.

Savybės ：

Jis turi atitikti didelio grynumo (metalo jonų ≤1ppm) ir aukštos temperatūros deformacijos atsparumo reikalavimus (virš 1200 ° C).

3. „Quartz Crystal Boat“

Priklausomai nuo skirtingos įrangos, ji yra padalinta į vertikalius ir horizontalius tipus. Priklausomai nuo skirtingų Fab gamybos linijų, dydžio diapazonas yra nuo 4 iki 12 colių. Puslaidininkių ICS gamyboje,„Quartz“ krištolo valtysdaugiausia naudojami vaflių perdavimo, valymo ir perdirbimo procesuose. Kaip aukšto grynumo ir aukštai temperatūros atsparių vaflių nešikliai, jie vaidina nepakeičiamą vaidmenį. Krosnies vamzdžio difuzijos ar oksidacijos procese keli vafliai dedami ant kvarco kristalų valčių, o po to stumiami į krosnies vamzdelį, kad būtų galima gaminti partijas.

Puslaidininkių purkštukai daugiausia naudojami tiksliai gabenant dujas ar skystas medžiagas ir yra naudojami keliose pagrindinių procesų jungtyse, tokiose kaip plonos plėvelės nusėdimas, ėsdinimas ir dopingas.

Silicio tranzistoriaus ir integruotos grandinės gamybos valymo procese jis naudojamas silicio plokštelėms nešiotis ir turi būti atsparus rūgštims ir šarmams, kad silicio plokštelės nebūtų užteršti valymo proceso metu.

6. Kvarco flanšai, kvarco žiedai, fokusavimo žiedai ir kt.

Jis naudojamas puslaidininkių ėsdinimo procesuose, kartu su kitais kvarco produktais, siekiant uždaryti ertmės apsaugą, glaudžiai supančią vaflius, užkertant kelią įvairių tipų užterštumui ėsdinimo gamybos proceso metu ir vaidindamas apsauginį vaidmenį.

„Quartz Bell“ stiklainiaiyra pagrindiniai puslaidininkių pramonėje naudojami komponentai, pasižymintys atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui korozijai ir dideliam šviesos perdavimui.Polisicon redukcijos krosnies dangtis: kvarco varpelio dangtis daugiausia naudojamas kaip polizilikono redukcijos krosnies dangtis. Gaminant polisiliconą, didelio grynumo trichlorozilanas yra sumaišytas su vandeniliu tam tikra dalimi, o po to įvedamas į redukcijos krosnį, turintį kvarco varpelio dangtį, kur laidžioje silicio šerdyje atsiranda redukcijos reakcija, kad būtų galima nusodinti ir formuoti polisilikoną.

8. Kvarco šlapio valymo bakas

Taikymo etapas: šlapias silicio plokštelių valymas

Naudojimas: jis naudojamas rūgščių plovimui (HF, H₂so₄ ir kt.) Ir ultragarsinis valymas.

Savybės: stiprus cheminis stabilumas ir atsparumas stipriam rūgšties korozijai.

9. „Quartz“ skysčio surinkimo butelis

Skystųjų surinkimo butelis daugiausia naudojamas skysčiams ar likusiam skysčiui rinkti šlapio valymo procese

Vaflių (tokių kaip RCA valymas, SC1/SC2 valymas) šlapio valymo proceso metu vafliams nuplauti reikia didelio ultrapūžiamo vandens ar reagentų, o po skalavimo bus pagaminta likutis skystis, kuriame yra pėdsakų priemaišų. Po tam tikrų dangos procesų (pvz., Fotorezisto dangos) taip pat reikės surinkti skysčių perteklių (pvz., Fotorezistinių atliekų skystį).

Funkcijos kvarco skysčių surinkimo buteliai yra naudojami norint atidžiai rinkti šiuos likusius arba atliekų skysčius, ypač „aukšto tikslumo valymo etape“ (pvz., Vaflinio paviršiaus išankstinio apdorojimo stadiją), kur liekančiame skystyje vis dar gali būti nedidelis kiekis didelės vertės reagentų ar priemaišų, kurioms reikia atlikti po to. Mažas kvarco butelių užterštumas gali užkirsti kelią likutiniam skysčiui iš naujo užteršti, palengvinant vėlesnį atsigavimą (pvz., Reagento valymą) arba tikslų aptikimą (pvz., Priekinės kiekio analizė liekamojoje skystyje).

Be to, kvarco kaukės, pagamintos iš sintetinių kvarco medžiagų, yra naudojamos fotolitografijoje kaip fotolitografijos mašinų „neigiami“ modeliams perduoti. Ir kvarco kristalų osciliatoriai, naudojami plonoje plėvelės nusėdime (PVD, CVD, ALD), kad būtų galima stebėti plonos plėvelės storį ir užtikrinti, kad nusėdimo vienodumas, be daugelio kitų aspektų, šiame straipsnyje nėra detalizuoti.

Apibendrinant galima pasakyti, kad kvarco produktai beveik yra per visą puslaidininkių gamybos procesą, pradedant monokristalinio silicio (kvarco tirių) augimo fotolitografija (kvarco kaukėmis), ėsdinimo (kvarco žiedais) ir plonos plėvelės nusėdimo (kvarco kristalų osciliatoriai), ir tai, kas daugi jų fizinių ir cheminių medžiagų savybių. Esant puslaidininkių procesams, bus dar labiau sustiprinti kvarco medžiagų grynumo, atsparumo temperatūrai ir matmenų tikslumui reikalavimai.