TAC dangos kreipiamieji žiedai

TAC dangos dangos žiedų funkcija:

Tikslus dujų srauto valdymas: TheTAC dangos kreipiamojo žiedasyra strategiškai išdėstytas dujų įpurškimo sistemojeMOCVD reaktorius. Pagrindinė jo funkcija yra nukreipti pirmtakų dujų srautą ir užtikrinti jų vienodą pasiskirstymą per substrato vaflių paviršių. Ši tiksli dujų srauto dinamikos kontrolė yra būtina norint pasiekti vienodą epitaksinio sluoksnio augimą ir norimas medžiagų savybes.

Šilumos valdymas: TAC dangos žiedai dažnai veikia aukštesnėje temperatūroje dėl jų artumo į kaitinamą jautrumą ir substratą. Puikus TAC šilumos laidumas padeda efektyviai išsklaidyti šilumą, užkertant kelią lokaliam perkaitimui ir stabilios temperatūros profiliui palaikyti reakcijos zonoje.

TAC pranašumai MOCVD:

Ekstremalus atsparumas temperatūrai: TAC gali pasigirti vienu aukščiausių lydymosi taškų tarp visų medžiagų, viršijančias 3800 ° C.

Išskirtinis cheminis inertiškumas: TAC pasižymi išskirtiniu atsparumu korozijai ir cheminei atakai iš reaktyvių pirmtakų dujų, naudojamų MOCVD, tokios kaip amoniakas, silanas ir įvairūs metalo-organiniai junginiai.

Fizinės savybėsTAC danga:

Privalumai MOCVD našumui:

„Vetek“ puslaidininkinio TAC dangos kreipiamojo žiedo „MOCVD“ įrangoje naudojimas labai prisideda prie:

Padidėjęs įrangos veikimo laikas: TAC dangos kreipiamojo žiedo patvarumas ir pratęsta eksploatavimo laikas sumažina dažnų pakeitimų poreikį, sumažina priežiūros prastovą ir padidina MOCVD sistemos veikimo efektyvumą.

Padidėjęs proceso stabilumas: TAC šiluminis stabilumas ir cheminis inertiškumas prisideda prie stabilesnės ir kontroliuojamos reakcijos aplinkos MOCVD kameroje, sumažindami proceso pokyčius ir pagerinant atkuriamumą.

Patobulintas epitaksinio sluoksnio vienodumas: Tikslus dujų srauto valdymas, kurį palengvina TAC dangos kreipiamieji žiedaiEpitaksinis sluoksnio augimassu pastoviu storiu ir sudėtimi.

Tantalo karbido (TAC) dangaant mikroskopinio skerspjūvio: