Medžiagos ir dizainas

Tinkamo pagrindo ir dangos derinio pasirinkimas yra raktas į tai, kad išvengtumėte ankstyvo komponentų gedimo, sumažintumėte užterštumą dalelėmis ir padidintumėte plokštelių išeigą. Mes teikiame pritaikytus medžiagų ir konstrukcijų projektavimo sprendimus pagal kliento konkretų proceso langą (darbo temperatūra, reaktyviųjų dujų chemija, rampos spartos).

Mūsų pagrindinės dizaino galimybės:

• Griežtas CTE streso atitikimas:Greitam terminiam ciklui (>100 °C/min.) mes tiksliai suderiname didelio grynumo grafito substratų ir CVD dangų CTE temperatūros kreives, todėl iš esmės sumažiname dangos išsisluoksniavimo ir mikroįtrūkimų riziką.
• Proceso scenarijui būdingos dangos pasirinkimas:CVD SiC danga, skirta Si/SiC epitaksijos (Epi), MOCVD ir plazminio ėsdinimo aplinkoms; CVD TaC danga, skirta aukštesnei temperatūrai ir stipriai korozinėms sąlygoms (pvz., SiC vieno kristalo PVT augimui).
• Valdoma varža ir šilumos laidumo optimizavimas:Tikslus pagrindo ir dangos tūrinės varžos ir šilumos laidumo valdymas, kad atitiktų specifinius RF, ESC elektrostatinių griebtuvų arba šildymo zonų elektrinio ir šiluminio lauko reikalavimus.
• Taršos šaltinio kontrolė ir CoO mažinimas:Didelio grynumo CVD nusodinimo sluoksniai tankiai užsandarina porėtą grafitą, žymiai sumažindami dalelių išsiliejimą, itin mažą metalo priemaišų difuziją ir aukštos temperatūros dujų išsiskyrimo riziką.

Įprastos dangos pasirinkimo palyginimas (išsamus vadovas)

Realūs atvejai ir privalumai klientams (patirtis):

Pirmaujantis SiC epitaksijos (Epi) gamintojas:Originaliame komponente buvo panaudota nesuderinama CVD TaC danga, dėl kurios atsirado pernelyg didelis sąsajos įtempis ir dažnai atsiranda mikro įtrūkimų esant aukštai temperatūrai. Mes iš naujo atlikome termodinaminius modeliavimus ir perėjome prie aCTE suderintas specialus didelio grynumo grafito substratas + buferinis sluoksnis + CVD SiC dangasprendimas. Rezultatas: vidutinis komponentų tarnavimo laikas pailgėjo nuo 200 valandų iki 850 valandų; metinis vieno įrankio keitimo dažnis sumažėjo nuo 40 iki 9 kartų; Sutaupytos visapusiškos įrangos O&M sąnaudos viršijo 650 000 RMB per metus.

GDMS grynumo analizės ataskaita TaC ir SiC dangoms

DUK

Pradėkite savo išskirtinę paslaugą dabar