MOCVD SiC padengtas susceptorius

Techniniai parametrai

CVD SIC PLĖVELĖS KRISTALO STRUKTŪRA

Produkto apibrėžimas ir sudėtis

VETEK MOCVD SiC padengtas susceptorius yra aukščiausios kokybės plokšteles nešantis komponentas, sukurtas specialiai trečios kartos puslaidininkių, tokių kaip GaN ir SiC, epitaksiniam apdorojimui. Šiame gaminyje sujungiamos puikios dviejų aukštos kokybės medžiagų fizinės savybės:

Aukšto grynumo grafito substratas: Pagaminta naudojant izostatinio presavimo technologiją, siekiant užtikrinti, kad pagrindinė medžiaga pasižymi išskirtiniu struktūriniu vientisumu, dideliu tankiu ir terminio apdorojimo stabilumu.

CVD SiC danga: Taikant pažangią cheminio nusodinimo garais (CVD) technologiją, ant grafito paviršiaus išauginamas tankus, be įtempių silicio karbido (SiC) apsauginis sluoksnis.

Kodėl VETEK yra jūsų derliaus garantija

Didžiausias tikslumas šiluminio tolygumo valdyme: Skirtingai nuo įprastų laikiklių, VETEK susceptoriai užtikrina labai sinchronizuotą šilumos perdavimą per visą paviršių, naudodamiesi dangos storio ir šiluminės varžos nanometrų tikslumu. Šis sudėtingas terminis valdymas efektyviai sumažina bangos ilgio standartinį nuokrypį (STD) plokštelės paviršiuje ir žymiai pagerina vienos plokštelės kokybę ir bendrą partijos nuoseklumą.

Ilgalaikė apsauga be dalelių užteršimo: MOCVD reakcijos kamerose, kuriose yra labai korozinių dujų, įprasti grafito pjedestalai yra linkę į dalelių pleiskanojimą. VETEK CVD SiC danga pasižymi išskirtiniu cheminiu inertiškumu, veikdama kaip nepralaidus skydas, sandarinantis grafito mikroporas. Tai užtikrina visišką substrato priemaišų izoliaciją, neleidžiant užteršti GaN arba SiC epitaksinių sluoksnių.

Išskirtinis atsparumas nuovargiui ir tarnavimo laikas:Dėl patentuoto VETEK sąsajos apdorojimo proceso, mūsų SiC danga optimaliai atitinka šiluminį plėtimąsi su grafito pagrindu. Net esant aukšto dažnio šiluminiams ciklams tarp ekstremalių temperatūrų, danga išlaiko puikų sukibimą, nenulupdama ir nesukeldama mikro įtrūkimų. Tai žymiai sumažina atsarginių dalių priežiūros dažnumą ir sumažina bendras nuosavybės išlaidas.

Mūsų dirbtuvės