Aukšto grynumo sic konsolės irklų

Aukšto grynumo sic konsolės irklo ir yra pagrindinis komponentas, naudojamas puslaidininkių apdorojimo įrangoje. Produktas pagamintas iš didelio grynumo silicio karbido (SIC) medžiagos.  Klientai gali laisvai pasirinkti sukepintą SIC medžiagą arba perkristi skirtą SIC medžiagą. Naudodamas puikias aukšto grynumo, didelio šiluminio stabilumo ir atsparumo korozijai savybes, jis yra plačiai naudojamas tokiuose procesuose kaip vaflių perdavimas, atrama ir apdorojama aukšta temperatūra, užtikrinant patikimą garantiją proceso tikslumui ir produkto kokybei užtikrinti.

Aukšto grynumo sic konsolės irklas vaidina šiuos specifinius vaidmenis puslaidininkių apdorojimo procese:

Vaflių perdavimas: Aukšto grynumo sic konsoles irklas paprastai naudojamas kaip vaflių perdavimo įtaisas aukštos temperatūros difuzijos ar oksidacijos krosnyse. Dėl didelio jo kietumo jis yra atsparus dėvėjimams ir nėra lengva deformuoti ilgalaikio naudojimo metu ir gali užtikrinti, kad vaflis būtų tiksliai išdėstytas perdavimo proceso metu. Kartu su aukšta temperatūra ir atsparumu korozijai, jis gali saugiai perkelti vaflius į krosnies vamzdį ir iš jo iš jo esančioje aukštos temperatūros aplinkoje, nesukeldamas jokio užteršimo ar pažeidimo vafliais.

Vaflių palaikymas: SIC medžiaga turi žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą, o tai reiškia, kad jo dydis keičiasi mažiau, kai keičiasi temperatūra, o tai padeda išlaikyti tikslią proceso valdymą. Cheminio garų nusėdimo (CVD) arba fizinio garų nusėdimo (PVD) procesuose naudojamas SIC konsolės irklas naudojamas vafliui palaikyti ir pritvirtinti, kad būtų užtikrinta, jog vaflis nusodinimo proceso metu išliks stabilus ir plokščias, taip pagerinant plėvelės vienodumą ir kokybę.

Aukštos temperatūros procesų taikymas: „SiC Conilever“ irklas turi puikų šiluminį stabilumą ir gali atlaikyti iki 1600 ° C temperatūrą. Todėl šis produktas plačiai naudojamas atkaitinant aukštą temperatūrą, oksidaciją, difuziją ir kitus procesus.

Pagrindinės fizinės aukšto grynumo savybės:

Aukšto grynumo sic konsolės irklųParduotuvės:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: