Kaip pasirinkti MOCVD grafito dėklą?

1 klausimas: kas yra „Mocvd“ grafito dėklas ir kodėl jis toks svarbus epitaksiniam procesui?

Metalo-organinio cheminio garų nusėdimo (MOCVD) grafito plokštelė, dar vadinama MOCVD grafito dėklu arba MOCVD grafito jautrumu, yra didelio grynumo komponentas, naudojamas puslaidininkių vafliams pritvirtinti epitaksinio augimo metu. Epitaksiniame procese jis veikia kaip šildymo elementas ir užtikrina vienodą temperatūros pasiskirstymą, kuris vaidina nepakeičiamą vaidmenį nusodindamas plonas plėveles tokiose programose kaip pažengę puslaidininkių prietaisai, LED gamyba ir saulės elementai.

Grafito dėklas gali atlaikyti ekstremalią temperatūrą (iki 1800 ° C) ir korozinę dujų aplinką, todėl tai yra nepakeičiama medžiaga aukštos temperatūros, korozijai atsparios MOCVD sistemoms. Jo našumas daro tiesioginį poveikį proceso nuoseklumui ir vaflių derliui.

2 klausimas: Kurios medžiagos savybės turėtų būti teikiamos prioritetinėms renkantis MOCVD grafito dėklus?

Norint pasirinkti tinkamą grafito plokštelę, reikia įvertinti jos fizines ir chemines savybes:

● Didelis grynumas (daugiau nei 99,999%):

Paprastai priemaišos, tokios kaip metalai ar pelenai, gali užteršti epitaksinį procesą. Pasirinkus didelio grynumo grafito jautrių tiekėjų, tokių kaip „Veteksemicon“, užtikrina minimalius puslaidininkio epilo sluoksnio defektus.

●  Puikus šiluminis stabilumas:

Faktinio apdorojimo metu grafito plokštelės turi sugebėti atlaikyti tam tikrus šiluminius smūgius ir palaikyti struktūrinį vientisumą esant greitoms temperatūros ciklams. „Veteksemicon“ didelio tankio grafitas užtikrina vienodą šilumos pasiskirstymą, kuris yra labai svarbus vienodam plėvelės augimui.

●  Puikus atsparumas korozijai:

MOCVD proceso aplinkoje grafitas paprastai veikiamas korozinių dujų (pvz., Amoniako, vandenilio). Aukštos temperatūros korozijai atspari MOCVD grafito plokštelės su smulkiagrūdė struktūra sumažina koroziją ir prailgina tarnavimo laiką.

●  Aukštos kokybės mechaninis stiprumas:

Epitaksiniame procese MOCVD grafito dėklai turi palaikyti kelis vaflius be deformacijos. Remiantis „Veteksemicon“ statistika realiame apdorojime, grafito plokštelės lenkimo stiprumas turi būti ≥ 50 MPa, kad būtų išvengta dėklo įtrūkimo.

3 klausimas: Kaip taikymo scenarijus veikia MOCVD grafito dėklų pasirinkimą?

Skirtingi MOCVD procesai reikalauja pritaikytų grafito plokštelių dizainų:

●  Epitaksinis LED/fotonikos augimas:

Epitaksijos procese naudojamos ypač švelnios MOCVD grafito plokštelės, siekiant sumažinti dalelių generavimą ir užtikrinti sluoksnius be defektų.

Pavyzdžiui, „Veteksemicon MOCVD“ grafito plokštelės (arba „Veteksemicon“ grafito plokštelės, skirtos MOCVD), yra skirtos GAN ir GAAS epitaksijai ir suteikia optimizuotą šiluminį valdymą.

●  Galios puslaidininkių gamyba:

Kartu su „Semikera“ puslaidininkio eksperimentine statistika, paprastai teikiama pirmenybė silicio karbido (SIC) arba galio nitrido (GAN) procesams, paprastai teikiama pirmenybė.

●  Didelio pralaidumo gamyba:

Kelių vaflinių dėklams reikia tiksliai apdoroti, kad būtų galima suderinti su reaktoriaus dizainu. Tinkami „MocVD“ grafito dėklai iš patikimų tiekėjų „Semikera“ puslaidininkių gali atitikti konkrečias įrankių konfigūracijas.

4 klausimas: Kokie yra pagrindiniai aspektai ieškant patikimo MOCVD grafito plokštelių tiekėjo?

●  Sertifikavimas ir testavimas:

Patikrinkite, ar tiekėjas teikia medžiagų sertifikavimą (pvz., Grynumo ataskaitą, tankio testą) ir suteikia paviršiaus apdorojimą po apdorojimo (pvz., Danga, siekiant sumažinti poringumą). Kaip pirmaujanti Kinijos puslaidininkių dangos ir epitaksialinės proceso įrangos gamintojas, „Veteksemicon Mocvd“ grafito plokštelės buvo sertifikuotos vyriausybės departamentams griežtoms ribinėms eksperimentams, o jo produktų grynumo ir tankio bandymo rezultatai yra toli priešais savo bendraamžius.

●  Tinkinimo galimybės:

Viršutiniai didelio grynumo grafito „Streptor“ tiekėjai turėtų pritaikyti dydį, skylių modelį ir dangą, kad atitiktų jūsų reaktoriaus reikalavimus. Tiek „Veteksemicon“, tiek „Semikera“ puslaidininkis turi susijusių produktų ir technologijų pritaikymo galimybes ir yra visiškai pajėgūs patenkinti įvairius jūsų pritaikytus poreikius.

●  Gyvenimo trukmė ir ekonominis efektyvumas:

Nors pigesnis grafitas gali sutaupyti išankstines išlaidas, nepilnaverčiai grafito plokštelės bus dažnai keičiamos ir prastovos, didele įtaka normaliam gamybos efektyvumui. Pasirinkę „Veteksemicon“ grafito plokšteles ir kitus kokybiškus produktus, jūsų verslas leis pasiekti ilgalaikę patikimą gamybą.

5 klausimas: Kaip pratęsti „Mocvd“ grafito dėklų tarnavimo laiką?

●  Užkirsti kelią oksidacijai: Naudokite inertinių dujų valymą šildymo/aušinimo ciklų metu.

●  Reguliariai valyti: Norėdami pašalinti nusodintus likučius, naudokite neabrazyvinius metodus (pvz., Sausą ėsdinimą).

●  Venkite mechaninio streso: Atsargiai tvarkykite dėklą vaflių pakrovimo/iškrovimo metu.

Geriausias „Veteksemicon“ patarimas jums:

MOCVD grafito plokštelėms, atsparioms aukštos temperatūros korozijai, teikkite pirmenybę tiekėjams, turintiems žinių apie puslaidininkių kokybės medžiagas.

Patikrinkite mėginius faktinėmis proceso sąlygomis, kad patikrintumėte našumą.

Naršykite pažangias dangas (tokias kaip SIC danga, TAC danga), kad padidintumėte ilgaamžiškumą ir patikimumą ekstremalioje aplinkoje.

Norėdami gauti daugiau informacijos apie SIC dangos „MOCVD“ grafito plokštelę, spustelėkite čia.

Norėdami gauti daugiau informacijos apie „TAC“ padengimą „MOCVD Graphite Plate“, spustelėkite čia.