Produktai
Aukšto grynumo kvarco valtis
  • Aukšto grynumo kvarco valtisAukšto grynumo kvarco valtis

Aukšto grynumo kvarco valtis

Mūsų aukšto grynumo kvarco valtis yra pagaminta iš lydyto kvarco (SiO₂ kiekis ≥ 99,99%). Dėl puikaus atsparumo ekstremalioms aplinkai, žemo šiluminio plėtimosi koeficientui ir ilgo gyvenimo ciklui, jis tapo nepakeičiamu pagrindiniu vartojimo galimybe puslaidininkių ir naujų energetikos pramonėje.


Didelio grynumo kvarco valtys yra tikslūs nešikliai, pagaminti iš ypač aukšto grynumo kvarco medžiagų (SiO₂ kiekis ≥ 99,99%), skirtas aukštos temperatūros, aukšto valymo procesams. Šis prietaisas yra būtinas tokiems procesams kaip atkaitinimas, difuzija, oksidacija ir cheminis garų nusėdimas (CVD) ir yra plačiai naudojamas puslaidininkiuose, fotoelektroje ir kitose srityse. Pagrindinis jo pranašumas yra pačios medžiagos fizinis ir cheminis stabilumas.


Ⅰ. Puikios fizinės „Veteksemicon“ aukšto grynumo kvarco valties savybės


Charakteristikos
Konkretūs parametrai/našumas
Grynumas
SiO₂ kiekis ≥99,99% (4N laipsnio), metalo priemaišos (tokios kaip Na, K, Fe) ≤10 ppm, kad būtų išvengta jautrios proceso aplinkos užteršimo.
Aukštos temperatūros atsparumas

Minkinimo taškas: ≥ 1660 ° C (trumpalaikė tolerancija 1700 ° C); 

Nuolatinis naudojimo temperatūra:1200 ° C (ilgalaikis stabilumas be deformacijos)

Šiluminio išsiplėtimo koeficientas
0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), arti nulio išsiplėtimo, puikus šiluminio smūgio atsparumas.
Cheminis stabilumas
Atsparus stiprioms rūgštims (išskyrus HF), stiprų šarmę (kambario temperatūroje) ir atsparios korozinėms dujoms, tokioms kaip H₂ ir Cl₂ aukštoje temperatūroje.
Optinės savybės
UV-IR pralaidumas ≥90% (200 ~ 2500 nm), tinkamas skaidriems nešiklio reikalavimams litografijos ir lazerio procesuose.
Mechaninis stiprumas

Gniuždymo stiprumas: ≥1200 MPa

Paviršiaus kietumas (MOHS): 7 (aukštesnis už įprastą stiklą)

Paviršiaus apdaila
RA≤0,2 μm, mažinant dalelių užteršimą ir pagerinant vaflių derlių.


Ⅱ. Pagrindinis aukšto grynumo kvarco valties naudojimas ir atitinkami produkto pranašumai


1. Puslaidininkių gamyba:


Konkretus naudojimas: Verštuko įrankiai vaflinių aukštos temperatūros difuzijos, oksidacijos, atkaitinimo ir CVD (cheminio garų nusėdimo) procesuose.


Produkto pranašumai:

Itin maža tarša: „Veteksemicon“ 99,99% grynų vaflių valtys Venkite metalo jonų užteršimo ir užtikrinkite lusto elektrinį efektyvumą.

Tikslus dydis: „Quartz“ vaflinės valties lygumas yra ± 0,05 mm, užtikrinant vienodą vaflio kaitinimą (pvz., 12 colių vaflių valtį).

Ilgas gyvenimas: Remiantis faktiniais mūsų užfiksuotais gamybos duomenimis, mūsų gaminami kvarco vaflių valtys gali būti nuolat naudojamos daugiau nei 1000 valandų 1200 ° C temperatūroje, labai sumažinant pakeitimo dažnį (palyginti su įprastomis kvarco valtimis, gyvybė padidėja 3 kartus).


2. Fotoelektros pramonė


Konkretus naudojimas: Fotoelektrinės pramonės gamybos srityje didelio grynumo kvarco valtys paprastai naudojamos silicio plokštelėms silicio plokštelėms fosforo difuzijoje PERC ląstelėse ir „Topcon“ ląstelių boro difuzijos procesą.


Našumo pranašumai:

Didelės apkrovos dizainas: Viena valtis, kurią mes gaminame, gali nešti 200 ~ 300 silicio vaflių (storio 160 ~ 180 μm), labai pagerindamas vaflių gamybos pajėgumą per laiko vienetą.

Greitas temperatūros kilimas ir kritimas: Ypač žemas šiluminio išsiplėtimo koeficientas (0,55 × 10⁻⁶/° C (20 ~ 1000 ° C), beveik nulis išsiplėtimo) palaiko 10% ~ 15% proceso ciklo sumažėjimą.

Anti-PID efektas: Noatrio jonų nusodinimo metu silicio plokštelių apkrovos proceso metu sumažėja foto sukelto skilimo rizika.


Ⅲ. „Quartz“ valčių pakavimo specifikacijos


„Veteksemicon Quartz“ valtyse naudos daugiasluoksnę tankią pakuotę, kad būtų užtikrintas produkto vientisumas laikant ir gabenant.


Tuo pačiu metu „Veteksemincon“ palaiko pritaikytą išplėstinį proceso dizainą, pavyzdžiui, nestandartinį dydį (paklaida ± 0,1 mm), kelių sluoksnių sukravimo dizainą (iki 5 sluoksnių) ir aukštai temperatūrai atspari plėvelės danga (pvz., SiC danga). Sveiki atvykę į tolesnes konsultacijas.


Hot Tags: Aukšto grynumo kvarco valtis
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept