ALD lydyto kvarco pjedestalas

VETEK SEMICENDUCTOR ALD LAIKUMO KALBERZ PEDestalas vaidina pagrindinį vaidmenį puslaidininkių gamybos procese kaip atraminės struktūros struktūrakvarcinė valtis, kuris naudojamas laikytiVaferis. Laisvintas kvarco pjedestalas padeda pasiekti vienodą plėvelės nusėdimą palaikant stabilią temperatūrą, o tai daro tiesioginę įtaką puslaidininkių įtaisų veikimui ir patikimumui. Be to, kvarco pjedestalas užtikrina vienodą šilumos ir šviesos pasiskirstymą proceso kameroje, taip pagerindamas bendrą nusėdimo proceso kokybę.

Ald lydytas kvarco pjedestalo medžiagos pranašumai

Aukštos temperatūros atsparumas: Laisvinto kvarco pjedestalo minkštinimo taškas yra net 1730 ° C ir ilgą laiką gali atlaikyti aukštos temperatūros veikimą nuo 1100 ° C iki 1250 ° C ir gali būti veikiama ekstremalios temperatūros aplinkos iki 1450 ° C temperatūroje iki 1450 ° C trumpam.

Puikus atsparumas korozijai: Lydytas kvarcas yra labai chemiškai inertiškas beveik visoms rūgštims, išskyrus vandenilio fluorido rūgštį. Jo atsparumas rūgštims yra 30 kartų didesnis nei keramikos ir 150 kartų didesnis nei nerūdijančio plieno. Lydytas kvarcas yra chemiškai neprilygstamas aukštoje temperatūroje, todėl jis yra ideali medžiaga sudėtingiems cheminiams procesams.

Šiluminis stabilumas: Pagrindinis lydyto kvarcinio pjedestalo medžiagos bruožas yra itin mažas šiluminio plėtimosi koeficientas. Tai reiškia, kad jis gali lengvai susidoroti su dramatiškais temperatūros svyravimais ir nesutrūkinėdamas. Pavyzdžiui, lydytą silicio kvarcą galima greitai įkaitinti iki 1100°C ir panardinti tiesiai į šaltą vandenį nepažeidžiant, o tai svarbi savybė esant didelėms įtemptoms gamybos sąlygoms.

Griežtas gamybos procesas: lydyto silicio dioksido pjedestalų gamybos procesas griežtai atitinka aukštus kokybės standartus. Gamybos procese naudojami karštojo formavimo ir suvirinimo procesai, kurie paprastai atliekami 10 000 klasės švarių patalpų aplinkoje. Po to lydyto kvarcinio stiklo pjedestalas kruopščiai nuvalomas itin grynu vandeniu (18 MΩ), kad būtų užtikrintas gaminio grynumas ir optimalus veikimas. Kiekvienas gatavas produktas yra griežtai tikrinamas, valomas ir supakuojamas į 1000 ar aukštesnės klasės švarią patalpą, kad atitiktų aukštus puslaidininkių pramonės standartus.

Aukšto grynumo nepermatomas silicio dioksido kvarco medžiaga

„Veteksemi Ald“ sulietas kvarco pjedestalas naudoja didelį grynumo nepermatomą kvarco medžiagą, kad būtų galima efektyviai išskirti šilumą ir šviesą. Puikios šilumos ekrano ir šviesos ekrano savybės leidžia išlaikyti vienodą temperatūros pasiskirstymą proceso kameroje, užtikrinant plono vienodumą ir konsistencijąplėvelės nusodinimasant plokštelės paviršiaus.

Taikymo laukai

Lydytos kvarco pjedestalai yra plačiai naudojami daugelyje puslaidininkių pramonės sričių dėl jų puikių rezultatų. Įatominio sluoksnio nusėdimo (ALD) procesas, ji palaiko tikslią plėvelės augimo kontrolę ir užtikrina puslaidininkinių įtaisų pažangą. ĮŽemo slėgio cheminio garų nusėdimo (LPCVD) procesas, Aukšto grynumo kvarco pjedestalo šiluminis stabilumas ir šviesos ekranas suteikia garantijas vienodam plonųjų plėvelių nusėdimui, taip pagerinant prietaiso veikimą ir išeigą.

Be to, difuzinio vaflinio proceso metu sulydyto kvarco pjedestalo atsparumas aukštai temperatūrai ir cheminė korozija užtikrina puslaidininkių medžiagos dopingo proceso patikimumą ir konsistenciją. Šie pagrindiniai procesai nustato puslaidininkių įtaisų elektrinį efektyvumą, o aukštos kokybės suliejusios kvarco medžiagos vaidina nepakeičiamą vaidmenį siekiant geriausių šių procesų rezultatų.

„VeTek“ puslaidininkių ALD lydyto kvarcinio pjedestalo parduotuvės: