Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainis

ĮkrovaPuslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainisvaidina keletą pagrindinių vaidmenų puslaidininkių apdorojime. į varpelio jar vakuuminė sistemane tik užtikrina stabilią ir kontroliuojamą reakcijos aplinką, bet ir užtikrina įvairių procesų efektyvumą bei tikslumą dėl savo puikaus terminio stabilumo, cheminio inertiškumo ir optinio skaidrumo. Šios savybės taip pat lemia taiVarpo vakuuminė kamerayra nepakeičiamas komponentas puslaidininkių gamybos procese.

SėklosPuslaidininkinis kvarcas sukuria sandarią apdorojimo aplinką, kuri leidžia proceso dujoms tolygiai paskirstyti ir reaguoti su plokštelės paviršiumi kontroliuojamomis sąlygomis. TodėlPuslaidininkio kvarco varpelio indelisPaprastai naudojamas tokiuose procesuose kaip CVD, difuzija ir oksidacija, siekiant tiksliai valdyti atmosferos sudėtį ir slėgį, taip užtikrinant plėvelės vienodumą ir medžiagos grynumą.

Tuo pačiu metu kvarcinės medžiagos turi puikų šiluminį stabilumą, atsparumą aukštai temperatūrai (puslaidininkių apdorojimo aukšta temperatūra paprastai siekia 1000 °C ar daugiau) ir gaminio charakteristikas, leidžiančias išlaikyti stabilią formą ir dydį kaitinant ir aušinant. Tai lemia, kadKvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai užtikrinti vaflinio paviršiaus temperatūros vienodumą aukštos temperatūros ir oksidacijos aplinkoje, taip pagerinant nusėdimo ar difuzinio sluoksnio kokybę ir vienodumą.

Dar svarbiau,VEKEK Puslaidininkių aukšto grynumo kvarco nėra lengva reaguoti su proceso dujomis aukštos temperatūros aplinkoje ir turi didelį atsparumą korozijai. Ši gaminio charakteristika lemia, kad procesuose, kuriuose naudojamos korozinės dujos (pvz., kai kurie CVD procesai),Puslaidininkinis kvarcinis varpelio stiklainisgali visiškai išlaikyti cheminį stabilumą, taip išvengiant puslaidininkinių įtaisų užteršimo.

„VeTek“ puslaidininkisKvarcinis varpelio stiklainis:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: