SiC padengtas blynų susceptorius LPE PE3061S 6'' vafliams

Kaip profesionalus gamintojas, „VeTek Semiconductor“ norėtų pateikti jums aukštos kokybės SiC padengtą blynų susceptorių LPE PE3061S 6 colių plokštelėms.

„VeTeK Semiconductor SiC Coated Pancake Susceptor“, skirtas LPE PE3061S 6 colių plokštelėms, yra svarbi įranga, naudojama puslaidininkių gamybos procesuose.

LPE PE3061S 6 "Vaflių produkto ypatybės: SiC padengtas blynų jautrumas:

Aukštos temperatūros stabilumas: SIC pasižymi puikiu aukštos temperatūros stabilumu, išlaikydamas savo struktūrą ir našumą aukštos temperatūros aplinkoje.

Nuostabus šilumos laidumas: SIC turi išskirtinį šilumos laidumą, įgalinantį greitą ir vienodą šilumos perdavimą greitam ir net kaitinimui.

Atsparumas korozijai: SiC pasižymi puikiu cheminiu stabilumu, atspari korozijai ir oksidacijai įvairiose šildymo aplinkose.

Vienodas šildymo pasiskirstymas: „SiC“ dengtas vaflių laikiklis suteikia vienodą šildymo pasiskirstymą, užtikrinantį net temperatūrą visame vaflių paviršiuje kaitinimo metu.

Tinka puslaidininkių gamybai: Si epitaksinis plokštelių laikiklis yra plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose, ypač Si epitaksijos augimui ir kitiems aukštos temperatūros šildymo procesams.

Produkto pranašumai:

Pagerintas gamybos efektyvumas: SiC padengtas blynų susceptorius leidžia greitai ir tolygiai kaitinti, sumažindamas kaitinimo laiką ir padidindamas gamybos efektyvumą.

Užtikrinta produkto kokybė: Vienodas šildymo pasiskirstymas užtikrina nuoseklumą atliekant vaflių perdirbimo metu, todėl pagerina produkto kokybę.

Pailgintas įrangos eksploatavimo laikas: SiC medžiaga pasižymi puikiu atsparumu karščiui ir cheminiu stabilumu, todėl pailgėja blynų susceptoriaus tarnavimo laikas.

Individualūs sprendimai: SiC dengtas susceptorius, Si epitaksinis plokštelių laikiklis gali būti pritaikytas pagal skirtingus dydžius ir specifikacijas, atsižvelgiant į klientų poreikius.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės:

„VeTek“ puslaidininkių gamybos parduotuvė

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: