Interneto meniu

Produktų paieška

Kalba

Produktai
SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
  • SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPISiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI

SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI

Statinės tipo epitaksinis vaflių šildymo bazė yra produktas, turintis sudėtingą apdorojimo technologiją, kuri yra labai sudėtinga apdirbti įrangą ir sugebėjimą. „Vetek Semiconductor“ turi pažangią įrangą ir turtingą patirtį apdorojant SIC padengtą grafito statinės „Epi“, gali suteikti tą patį, kaip originalus gamyklos gyvenimas, ekonomiškesnis epitaksinės statinės. Jei jus domina mūsų duomenų, nesiryžta susisiekti su mumis.
Siųsti užklausą
Prekės aprašymas

„VeTek Semiconductor“ yra Kinijos gamintojas ir tiekėjas, daugiausia gaminantis SiC dengtą grafito statinės susceptorių EPI, turėdamas ilgametę patirtį. Tikimės užmegzti verslo santykius su jumis.Ir (epitaksija)yra kritinis pažangių puslaidininkių gamybos procesas. Tai apima plonų medžiagos sluoksnių nusėdimą ant substrato, kad būtų sukurtos sudėtingos prietaiso struktūros. SiC dengtas grafito statinės 2I jautrininkas, dažniausiai naudojamas kaip jautrieji EPI reaktoriuose dėl puikaus šilumos laidumo ir atsparumo aukštai temperatūrai. SuCVD-SiC danga, jis tampa atsparesnis užteršimui, erozijai ir šiluminiam šokui. Tai lemia ilgesnę „Steptor“ ir patobulintos plėvelės kokybės gyvenimo trukmę.


Mūsų SIC dengto grafito statinės suvokimo pranašumai:


✔ Sumažintas užterštumas: SIC inertinis pobūdis neleidžia priemaišoms prilipti prie suvokimo paviršiaus, sumažinant deponuotų plėvelių užteršimo riziką.

✔ Padidėjęs atsparumas erozijai: SiC yra žymiai atsparesnis erozijai nei įprastas grafitas, todėl susceptoriaus tarnavimo laikas yra ilgesnis.

✔ Patobulintas šiluminis stabilumas: SIC turi puikų šilumos laidumą ir gali atlaikyti aukštą temperatūrą be reikšmingų iškraipymų.

✔ Patobulinta filmo kokybė: Pagerėjęs šiluminis stabilumas ir sumažintas užterštumas lemia aukštesnės kokybės deponuotus plėveles, kurių vienodumas ir storio kontrolė pagerina.


Programos:

SiC dengtos grafito statinėse jautruose yra plačiai naudojami įvairiose EPI programose, įskaitant:

✔ GAN pagrįsti šviesos diodai

✔ Galios elektronika

✔ Optoelektroniniai įtaisai

✔ Aukšto dažnio tranzistoriai

✔ Jutikliai

SiC dengto grafito statinės suvokimo produkto parametras

Fizinės savybėsIzostatinis grafitas
Turtas Vienetas Tipinė vertė
Birių tankis g/cm³ 1.83
Kietumas HSD 58
Elektrinė varža μΩ.m 10
Lankstumo stiprumas MPA 47
Gniuždymo stiprumas MPA 103
Tempimo stiprumas MPA 31
Youngo modulis GPa 11.8
Šiluminė plėtra (CTE) 10-6K-1 4.6
Šilumos laidumas W·m-1· K-1 130
Vidutinis grūdų dydis μm 8-10
Poringumas % 10
Pelenų turinys ppm ≤10 (išgryninus)

        Pastaba: prieš dengdami pirmąjį valymą atliksime, po dangos atliksime antrą gryninimą.

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės

Pagrindinės fizinės CVD SiC dangos savybės
Turtas Tipinė vertė
Kristalinė struktūra FCC β fazės polikristalinė, daugiausia (111) orientuota
SiC danga Tankis 3,21 g/cm³
CVD SiC dangos kietumas 2500 „Vickers“ kietumas （500 g apkrova）
grūdų dydis 2 ~ 10 μm
Cheminis grynumas 99,99995 %
Šilumos talpa 640 j · kg-1· K-1
Sublimacijos temperatūra 2700 ℃
Lankstumo stiprumas 415 MPA RT 4 taškų
Youngo modulis 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Šilumos laidumas 300 W · m-1· K-1
Šiluminė plėtra (CTE) 4,5 × 10-6K-1

„VeTek“ puslaidininkisSiC padengtas grafito statinės 2I jautėjasGamybos parduotuvė

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

Hot Tags: SiC padengtas grafito statinės susceptorius, skirtas EPI
Susijusi kategorija
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
Susiję produktai
SiC dengta viršutinė plokštė LPE PE2061S
SiC dengta viršutinė plokštė LPE PE2061S Peržiūrėti daugiau >>
SiC padengta LPE PE2061S atrama
SiC padengta LPE PE2061S atrama Peržiūrėti daugiau >>
SiC padengtas blynų susceptorius LPE PE3061S 6'' vafliams
SiC padengtas blynų susceptorius LPE PE3061S 6'' vafliams Peržiūrėti daugiau >>
SiC padengtas grafito tiglio deflektorius
SiC padengtas grafito tiglio deflektorius Peržiūrėti daugiau >>
LPE SI EPI receptorių rinkinys
LPE SI EPI receptorių rinkinys Peržiūrėti daugiau >>
SiC padengtas Epi receptorius
SiC padengtas Epi receptorius Peržiūrėti daugiau >>
Naujienų rekomendacijos
Su kokiais iššūkiais susiduria CVD TaC dengimo procesas, skirtas SiC monokristalų augimui puslaidininkių apdirbimo metu?
Su kokiais iššūkiais susiduria CVD TaC dengimo procesas, skirtas SiC monokristalų augimui puslaidininkių apdirbimo metu?Peržiūrėti daugiau >>
Kas yra „Tantalum Carbide TAC“ danga? - „Veteksemicon“
Kas yra „Tantalum Carbide TAC“ danga? - „Veteksemicon“Peržiūrėti daugiau >>
Kuo skiriasi CVD TAC ir sukepintas TAC?
Kuo skiriasi CVD TAC ir sukepintas TAC?Peržiūrėti daugiau >>
„Sanan Optoelectronics Co., Ltd“: Tikimasi, kad gruodžio mėn. Bus gaminti 8 colių SIC lustai!
„Sanan Optoelectronics Co., Ltd“: Tikimasi, kad gruodžio mėn. Bus gaminti 8 colių SIC lustai!Peržiūrėti daugiau >>
„Tantalum“ karbido technologijos proveržis, SiC epitaksinė tarša sumažėjo 75%?
„Tantalum“ karbido technologijos proveržis, SiC epitaksinė tarša sumažėjo 75%?Peržiūrėti daugiau >>
CVD technologijos naujovės už Nobelio premiją
CVD technologijos naujovės už Nobelio premijąPeržiūrėti daugiau >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept