Kokios medžiagos naudojamos puslaidininkiniams keraminiams komponentams?

Aliuminio oksido keramika (Al₂o₃) ‌

Aliuminio oksido keramika yra „darbo arklys“ keraminių komponentų gamybai. Jie pasižymi puikiomis mechaninėmis savybėmis, ypač aukštais lydymosi taškais ir kietumu, atsparumu korozijai, stiprų cheminį stabilumą, didelę varžą ir puikią elektrinę izoliaciją. Jie dažniausiai naudojami poliravimo plokštelėms, vakuuminiams griebtuvams, keraminėms rankoms ir panašioms dalims gaminti.

‌Aluminum nitridų keramika (ALN)

Aliuminio nitridų keramika pasižymi dideliu šilumos laidumu, šiluminio išsiplėtimo koeficientu, atitinkančiu silicio, ir mažos dielektrinės konstantos ir nuostolių. Turėdami tokius pranašumus kaip aukštas lydymosi temperatūra, kietumas, šilumos laidumas ir izoliacija, jie pirmiausia naudojami šilumos dissippozituose, keraminiais purkštukais ir elektrostatiniais griebtuvais.

‌Ittria keramika (y₂o₃)

„Yttria“ keramika gali pasigirti aukštu lydymosi tašku, puikiu cheminiu ir fotocheminiu stabilumu, maža fonono energija, didelis šilumos laidumas ir geras skaidrumas. Puslaidininkių pramonėje jie dažnai derinami su aliuminio oksido keramika, pavyzdžiui, „Yttria“ dangos yra naudojamos aliuminio oksido keramikai, kad būtų gaminami keraminiai langai.

‌Silicon nitridų keramika (Si₃n₄) ‌

Silicio nitridų keramikai būdinga aukšta lydymosi temperatūra, išskirtinis kietumas, cheminis stabilumas, žemo šiluminio išsiplėtimo koeficientas, didelis šilumos laidumas ir stiprus šiluminio smūgio atsparumas. Jie palaiko puikų atsparumą smūgiams ir stiprumą, mažesnį kaip 1200 ° C, todėl jie yra idealūs keraminiams substratams, apkrovos turinčiam kabliukams, padėties nustatymo kaiščiams ir keraminiams vamzdeliams.

‌Silicon karbido keramika (SIC) ‌

Silicio karbido keramika, primenantis deimantus savybėmis, yra lengvi, ypač sunkūs ir didelio stiprumo medžiagos. Esant išskirtiniam visapusiškam našumui, atsparumui nusidėvėjimui ir atsparumui korozijai, jie plačiai naudojami vožtuvo sėdynėse, stumdomi guoliai, degikliai, purkštukai ir šilumokaičiai.

‌Zirconia keramika (Zro₂) ‌

Cirkonio keramika pasižymi dideliu mechaniniu stiprumu, atsparumu šilumai, atsparumui rūgštims/šarmui ir puikią izoliaciją. Remiantis cirkonio turiniu, jie suskirstyti į kategorijas:

• Tikslioji keramika‌ (kiekis, viršijantis 99,9%, naudojamas integruotiems grandinės substratams ir aukšto dažnio izoliacinėms medžiagoms).
• Įprasta keramika‌ (bendrosios paskirties keramikos produktams).

Struktūrinės charakteristikosPuslaidininkių keramika Komponentai

‌Dense keramika‌

Puslaidininkių pramonėje plačiai naudojama tanki keramika. Jie pasiekia tankinimą sumažindami poras ir yra paruošiami tokiais metodais kaip reakcijos sukepinimas, neslėptas sukepinimas, skysčio fazės sukepinimas, karštas presavimas ir karštas izostatinis presavimas.

‌PORINĖ KERAMIKA

Priešingai nei tanki keramika, porėtoje keramikoje yra kontroliuojamas tuštumų tūris. Jie klasifikuojami pagal porų dydį į mikroporinius, mezoporines ir makroporines keramiką. Esant mažam tūrio tankiui, lengvos struktūros, dideliam specifiniam paviršiaus plotui, veiksmingai filtravimo/šiluminės izoliacijos/akustinės slopinimo savybėms ir stabiliai cheminiam/fiziniam našumui, jie naudojami gaminant įvairius puslaidininkių įrangos komponentus.