Kas yra TAC danga? - „Vetek“ puslaidininkis

TAC danga (Tantalo karbido danga) yra aukštos kokybės dangos medžiaga, kurią sukuria cheminio garų nusėdimo (CVD) procesas. Dėl puikių TAC dangos savybių ekstremaliomis sąlygomis jis plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procese, ypač įrangoje ir komponentams, kuriems reikalinga aukšta temperatūra ir stipria korozinė aplinka. TAC danga paprastai naudojama substratams (tokiems kaip grafitas ar keramika) apsaugoti nuo aukštos temperatūros, korozinių dujų ir mechaninio susidėvėjimo.

TAC dangos fizinės savybės

Produkto savybės ir pranašumai

● Ypač didelis šiluminis stabilumas:

Funkcijos aprašymas: TAC dangos lydymosi taškas yra didesnis nei 3880 ° C ir gali išlaikyti stabilumą be skilimo ar deformacijos ypač aukštos temperatūros aplinkoje.

Privalumas: Tai daro jį nepakeičiama medžiaga, esanti aukštos temperatūros puslaidininkių įrangoje, tokioje kaip CVD TAC danga ir TAC padengtas jautrininkas, ypač pritaikant MOCVD reaktorių, tokių kaip „Aixtron G5“ įranga.

● Puikus atsparumas korozijai:

Funkcijos aprašymas: TAC turi ypač stiprų cheminį inertiškumą ir gali efektyviai atsispirti korozinių dujų, tokių kaip chloridai ir fluoridai, erozijai.

Privalumai: Puslaidininkių procesuose, kuriuose dalyvauja labai ėsdinančios cheminės medžiagos, „TAC“ danga apsaugo įrangos komponentus nuo cheminės atakos, prailgina tarnavimo laiką ir pagerina proceso stabilumą, ypač naudojant silicio karbido vaflių valtį ir kitus pagrindinius komponentus.

● Puikus mechaninis kietumas:

Funkcijos aprašymas: TAC dangos kietumas yra net 9–10 MoHS, todėl jis yra atsparūs mechaniniam nusidėvėjimui ir aukštai temperatūros įtempiui.

Privalumas: Dėl didelio kietumo savybės TAC danga yra ypač tinkama naudoti esant dideliam susidėvėjimui ir dideliam streso aplinkai, užtikrinant ilgalaikį įrangos stabilumą ir patikimumą atšiauriomis sąlygomis.

● Mažas cheminis reaktyvumas:

Funkcijos aprašymas: Dėl cheminio inertiškumo TAC danga gali išlaikyti mažą reaktyvumą aukštos temperatūros aplinkoje ir išvengti nereikalingų cheminių reakcijų su reaktyviosiomis dujomis.

Privalumas: Tai ypač svarbu puslaidininkių gamybos procese, nes jis užtikrina proceso aplinkos grynumą ir aukštos kokybės medžiagų nusėdimą.

TAC dangos vaidmuo puslaidininkių apdorojime

● Pagrindinių įrangos komponentų apsauga:

Funkcijos aprašymas: TAC danga plačiai naudojama pagrindiniuose puslaidininkių gamybos įrangos komponentuose, tokiuose kaip TAC padengtas jautrininkas, kurį reikia veikti ekstremaliomis sąlygomis. Dengdami TAC, šie komponentai ilgą laiką gali veikti aukštoje temperatūroje ir korozinėje dujų aplinkoje, nepažeisdami.

● Pratęskite įrangos gyvenimą:

Funkcijų aprašymas: „MOCVD“ įrangoje, tokioje kaip „Aixtron G5“, TAC danga gali žymiai pagerinti įrangos komponentų patvarumą ir sumažinti įrangos priežiūros ir pakeitimo poreikį dėl korozijos ir nusidėvėjimo.

● Padidinkite proceso stabilumą:

Funkcijos aprašymas: Puslaidininkių gamyboje TAC danga užtikrina nusodinimo proceso vienodumą ir nuoseklumą, užtikrinant stabilią aukštos temperatūros ir cheminės aplinką. Tai ypač svarbu epitaksiniame augimo procesuose, tokiuose kaip silicio epitaksija ir galio nitridas (GAN).

● Pagerinkite proceso efektyvumą:

Funkcijos aprašymas: Optimizuodama dangą ant įrangos paviršiaus, TAC danga gali pagerinti bendrą proceso efektyvumą, sumažinti defektų greitį ir padidinti produkto išeigą. Tai labai svarbu gaminant didelio tikslumo, didelio grynumo puslaidininkių medžiagas.

Didelis šiluminis stabilumas, puikus atsparumas korozijai, mechaninis kietumas ir žemas cheminis reaktyvumas, kurį parodo TAC dengimas puslaidininkių perdirbimo metu, yra idealus pasirinkimas apsaugoti puslaidininkių gamybos įrangos komponentus. Kadangi puslaidininkių pramonės poreikis aukštai temperatūrai, aukšto grynumo ir efektyvių gamybos procesų poreikis ir toliau didėja, TAC danga turi plačias pritaikymo perspektyvas, ypač įrangoje ir procesuose, kuriuose dalyvauja CVD TAC danga, TAC dengtas jautrininkas ir Aixtron G5.

„Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd“ yra pirmaujanti pažangių dangų medžiagų tiekėja puslaidininkių pramonei. Mūsų įmonė orientuojasi į pažangiausių pramonės sprendimų kūrimą.

Mūsų pagrindiniai produktų pasiūlymai apimaCVD silicio karbido (SIC) dangos, Tantalo karbido (TAC) dangos, birių sic, sic milteliai ir didelio grynumo sic medžiagos, dengtas grafito grafito jautrininkas, įkaitinimo žiedai, TAc padengtas nukreipimo žiedas, pusmėnulio dalys ir kt., Grynumas yra mažesnis nei 5ppm, gali atitikti klientų reikalavimus.

„Vetek Semiconductor“ orientuojasi į pažangiausių technologijų ir produktų kūrimo sprendimų kūrimą puslaidininkių pramonei.Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.