SiC padengtas gilus UV LED jautrumas

SiC padengtas gilus UV LED jautrumas yra pagrindinis guolio komponentasMOCVD (metalo organinių cheminių garų nusėdimo) Įranga. Sąmonė tiesiogiai daro įtaką gilaus UV LED epitaksinio augimo vienodumui, storio valdymui ir medžiagų kokybei, ypač augant aliuminio nitrido (Aln) epitaksiniam sluoksniui, kuriame yra didelis aliuminio kiekis, suvokimo projektavimas ir našumas yra labai svarbūs.

SIC padengtas giluminio UV LED 2 -osios pastaba yra specialiai optimizuotas giliai UV LED epitaksijai ir yra tiksliai suprojektuotas remiantis šiluminėmis, mechaninėmis ir cheminėmis aplinkos charakteristikomis, kad atitiktų griežtus proceso reikalavimus.

„Vetek Semiconductor“ naudoja pažangią apdorojimo technologiją, kad užtikrintų vienodą jautrininko šilumos pasiskirstymą darbinės temperatūros diapazone, vengdamas nevienodos epitaksinio sluoksnio, kurį sukelia temperatūros gradientas, augimą. Tikslus apdorojimas kontroliuoja paviršiaus šiurkštumą, sumažina dalelių užteršimą ir pagerina vaflių paviršiaus kontakto šilumos laidumo efektyvumą.

„Vetek Semiconductor“ naudoja SGL grafitą kaip medžiagą, o paviršius apdorojamasCVD SIC danga, kuris ilgą laiką gali atlaikyti NH3, HCl ir aukštos temperatūros atmosferą. VETEK puslaidininkio SIC dengtas gilus UV LED jautėjas sutampa su ALN/GAN epitaksinių vaflių šiluminio išsiplėtimo koeficientu, sumažindamas vaflių deformaciją ar įtrūkimą, kurį sukelia šiluminis įtempis proceso metu.

Svarbiausia, kad „Vetek Semiconductor's SiC“ dengtas gilus UV LED receptorius puikiai prisitaiko prie pagrindinės MOCVD įrangos (įskaitant „Veeco K465i“, „EPIK 700“, „Aixtron Crius“ ir kt.). Palaiko pritaikytas vaflių dydžio (2 ~ 8 colių), vaflių lizdo dizaino, proceso temperatūros ir kitų reikalavimų paslaugas.

Programos scenarijai:

● Gilus UV LED paruošimas: Taikoma epitaksiniam prietaisų procesui, esančiame juostoje, mažesnėje nei 260 nm (UV-C dezinfekavimas, sterilizavimas ir kiti laukai).

● Nitrido puslaidininkių epitaksija: Naudojamas epitaksiniam puslaidininkių medžiagų, tokių kaip galio nitridas (GAN) ir aliuminio nitrido (ALN), paruošimui.

● Tyrimų lygio epitaksiniai eksperimentai: Gilios UV epitaksijos ir naujų medžiagų plėtros eksperimentai universitetuose ir tyrimų įstaigose.

Palaikydamas stiprią techninę komandą, „Vetek Semiconductor“ sugeba kurti jautrumą su unikaliomis specifikacijomis ir funkcijomis pagal klientų poreikius, palaiko konkrečius gamybos procesus ir teikia ilgalaikes paslaugas.

CVD SIC dangos plėvelės SEM duomenys:

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės:

IT puslaidininkisSIC padengtos gilios UV LED „Steptor“ produktų parduotuvės: