MOCVD palaikymas

KaipCVD SIC dangaGamintojas, „Vetek Semiconductor“ turi galimybę suteikti jums „Aixtron G5 MOCVD“ jautrius, kurie yra pagaminti iš aukšto grynumo grafito ir CVD SIC dangos (žemiau 5ppm). 

„Micro LEDS“ technologija trikdo esamą LED ekosistemą metodais ir metodais, kurie iki šiol buvo matomi tik LCD ar puslaidininkių pramonėje, o „Aixtron G5 MOCVD“ sistema puikiai palaiko šiuos griežtus pratęsimo reikalavimus. „Aixtron G5“ yra vienas galingiausių MOCVD reaktorių, daugiausia skirtų silicio pagrindu pagamintam GAN epitaksijos augimui.

Labai svarbu, kad visi gaminami epitaksiniai vafliai turėtų labai įtemptą bangos ilgio pasiskirstymą ir labai žemą paviršiaus defektų lygius, kuriems reikalingas novatoriškasMOCVD technologija.

„Aixtron G5“ yra horizontali planetos disko epitaksijos sistema, daugiausia planetos diskas, MOCVD jautrininkas, dangtelio žiedas, lubos, atraminis žiedas, dangtelio diskas, ekshuaso kolekcionierius, kaiščių poveržlė, kolektoriaus įleidimo žiedas ir kt., Pagrindinės produkto medžiagos yra CVD SIC COAT+Aukšto grynumo grafiko, semiconduktoriaus Quartz, kt.CVD TAC danga+Aukšto grynumo grafitas,standus veltinisir kitos medžiagos.

„Mocvd“ suvokimo funkcijos yra šios

✔ Pagrindinė medžiagos apsauga: CVD SIC danga veikia kaip apsauginis sluoksnis epitaksiniame procese, kuris gali veiksmingai užkirsti kelią išorinės aplinkos erozijai ir pažeidimui bazinei medžiagai, užtikrinti patikimas apsaugos priemones ir prailginti įrangos tarnavimo laiką.

✔ Puikus šilumos laidumas: CVD SIC danga turi puikų šilumos laidumą ir gali greitai perkelti šilumą iš pagrindinės medžiagos į dangos paviršių, pagerindama šiluminio valdymo efektyvumą epitaksijos metu ir užtikrinant, kad įranga veiktų atitinkamoje temperatūros diapazone.

✔ Pagerinkite filmo kokybę: CVD SIC danga gali suteikti plokščią, vienodą paviršių, suteikiančią gerą pagrindą plėvelės augimui. Tai gali sumažinti defektus, kuriuos sukelia grotelių neatitikimas, pagerinti plėvelės kristališkumą ir kokybę, taip pagerinti epitaksinės plėvelės našumą ir patikimumą.

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės: