TAC dangos tiglis

Sandoriai puslaidininkiųCVD TAC dengtų tiriamųjų daiktųPaprastai atlikite šiuos pagrindinius vaidmenis PVT metodo SIC vieno kristalų augimo procese:

PVT metodas reiškia, kad ant TAC dengto tiglio viršaus dedamas SiC sėklų kristalas, ir SiC miltelius padėkite kaip žaliavą tiglio apačioje. Uždaroje aukštos temperatūros ir žemo slėgio aplinkoje SiC milteliai sublimato ir veikiant temperatūros gradiento ir koncentracijos skirtumuiSic milteliaiperkeltas į sėklų kristalo apylinkes ir po perkristalizacijos pasiekia viršutinę būklę. Todėl PVT metodas gali pasiekti kontroliuojamą SiC kristalų dydžio ir specifinės kristalų formos augimą.

● Šiluminis kristalų augimo stabilumas

„VEKEK“ puslaidininkių TAC dengtos tiriamieji turi puikų šiluminį stabilumą (gali išlikti stabilus žemiau 2200 ℃), o tai padeda išlaikyti jų struktūrinį vientisumą net esant ypač aukštai temperatūrai, reikalingoms vieno kristalų augimui. Ši fizinė savybė įgalina SIC dengtą grafito tiglį, kad būtų galima tiksliai valdyti kristalų augimo procesą, todėl kristalai yra labai vienodi ir be defektų.

● Puikus cheminis barjeras

TAC dengtos tietuos sujungia tantalo karbido dangą su didelio grynumo grafito tigliu, kad būtų užtikrintas puikus atsparumas įvairioms ėsdinančioms cheminėms medžiagoms ir išlydytoms medžiagoms, dažniausiai susiduriančioms su SiC vieno kristalų augimu. Ši savybė yra labai svarbi siekiant aukštos kokybės kristalų, turinčių minimalių defektų.

● Stabilios augimo aplinkos amortizacijos vibracijos

Puikios TAC dengto tiglio slopinimo savybės sumažina vibraciją ir šiluminį smūgį grafito tiglyje, dar labiau prisidedant prie stabilios ir kontroliuojamos kristalų augimo aplinkos. Sušvelnindama šiuos galimus trukdžių šaltinius, TAC danga leidžia augti didesnius, vienodesnius kristalus, kurių defektų tankis sumažėja, galiausiai padidina prietaiso derlių ir pagerina prietaiso veikimą.

● Puikus šilumos laidumas

„Veteksemicon“ dengtos tiečiai turi puikų šilumos laidumą, o tai padeda grafito tigliui greitai ir tolygiai perduoti šilumą. Tai lemia tikslią temperatūros kontrolę per visą kristalų augimo procesą, sumažinant kristalų defektus, kuriuos sukelia šiluminiai gradientai.

Tantalo karbido (TAC) dengimas ant mikroskopinio skerspjūvio

Fizinės savybėsTantalo karbido danga

„Vetek“ puslaidininkių gamybos parduotuvės