EPI imtuvo dalys

Bendra informacija apie gaminį

Produkto verslo sąlygos

✔ Taikymas: Siekdamas maksimalaus našumo ir našumo SiC epitaksiniuose procesuose, Veteksemicon EPI Susceptor užtikrina puikų šiluminį stabilumą ir vienodumą, tampa pagrindine atrama gerinant galios ir radijo dažnių įrenginių veikimą bei mažinant bendras išlaidas.

✔ Paslaugos, kurias galima teikti: klientų pritaikymo scenarijų analizė, medžiagų derinimas, techninių problemų sprendimas. 

✔ Įmonės profilis：Veteksemicon turi 2 laboratorijas, ekspertų komandą, turinčią 20 metų medžiagų patirtį, turinčią MTEP ir gamybos, testavimo ir tikrinimo galimybes.

Mano varžovas EPI Contractor Part pagrindiniai privalumai

1. Užtikrinti maksimalų vienodumą

Silicio karbido epitaksiniuose procesuose net mikronų lygio storio svyravimai ir dopingo nehomogeniškumas tiesiogiai veikia galutinio prietaiso veikimą ir našumą. Veteksemicon EPI Susceptor pasiekia optimalų šiluminio lauko pasiskirstymą reakcijos kameroje dėl tikslaus termodinaminio modeliavimo ir konstrukcijos dizaino. Mūsų pasirinktas didelio šilumos laidumo substratas kartu su unikaliu paviršiaus apdorojimo procesu užtikrina, kad temperatūrų skirtumai bet kuriame plokštelės paviršiaus taške būtų kontroliuojami itin mažame diapazone net ir esant dideliam sukimosi greičiui ir esant aukštai temperatūrai. Tiesioginė vertė, kurią tai suteikia, yra labai atkuriamas, labai vienodas epitaksinis sluoksnis, kuris sudaro tvirtą pagrindą didelio našumo, labai nuoseklių galios lustų gamybai.

2. Atsparumas aukštai temperatūrai

SiC epitaksiniams procesams paprastai reikia ilgo veikimo esant aukštesnei nei 1500 °C temperatūrai, o tai yra rimtas iššūkis bet kuriai medžiagai. Veteksemicon Susceptor naudojamas specialiai apdorotas izostatiškai presuotas grafitas, kurio atsparumas lenkimui ir atsparumas šliaužimui aukštoje temperatūroje gerokai pranoksta paprasto grafito. Net po šimtų valandų nepertraukiamo aukšto temperatūros terminio ciklo, mūsų gaminys išlaiko pradinę geometriją ir mechaninį stiprumą, efektyviai užkertant kelią plokštelių deformacijai, slydimui ar proceso ertmių užteršimo rizikai, kurią sukelia padėklo deformacija, iš esmės užtikrinant gamybos veiklos tęstinumą ir saugumą.

3. Maksimaliai padidinkite proceso stabilumą

Gamybos pertrūkiai ir neplanuota priežiūra yra pagrindiniai plokštelių gamybos sąnaudų žudikai. Veteksemicon mano, kad proceso stabilumas yra pagrindinė Susceptor metrika. Mūsų patentuota CVD SiC danga yra tanki, neakyta ir veidrodinio lygaus paviršiaus. Tai ne tik žymiai sumažina dalelių išsiskyrimą esant aukštos temperatūros oro srautui, bet ir žymiai sulėtina šalutinių reakcijos produktų (tokių kaip polikristalinio SiC) sukibimą su padėklo paviršiumi. Tai reiškia, kad jūsų reakcijos kamera gali išlikti švari ilgesnį laiką, pailginant intervalus tarp reguliaraus valymo ir priežiūros, taip pagerinant bendrą įrangos panaudojimą ir pralaidumą.

4. Prailginkite tarnavimo laiką

Susceptorių, kaip vartojimo komponentų, keitimo dažnis tiesiogiai veikia gamybos veiklos sąnaudas. Veteksemicon prailgina gaminio tarnavimo laiką, taikydama dvigubą technologinį metodą: „padėklo optimizavimą“ ir „dangos tobulinimą“. Didelio tankio, mažo poringumo grafito substratas efektyviai sulėtina proceso dujų prasiskverbimą į pagrindą ir koroziją; tuo pačiu metu mūsų stora ir vienoda SiC danga veikia kaip tvirtas barjeras, žymiai slopinantis sublimaciją esant aukštai temperatūrai. Realaus pasaulio bandymai rodo, kad tomis pačiomis proceso sąlygomis Veteksemicon susceptoriai pasižymi lėtesniu veikimo prastėjimo greičiu ir ilgesniu efektyviu tarnavimo laiku, todėl mažesnės plokštelės eksploatavimo išlaidos.

5. Ekologinės grandinės patikros patvirtinimas

Mano varžovas EPI Susceptor Part ekologinės grandinės patikra apima žaliavas iki gamybos, praėjo tarptautinio standarto sertifikatą ir turi daugybę patentuotų technologijų, užtikrinančių jos patikimumą ir tvarumą puslaidininkių ir naujose energijos srityse.

Norėdami gauti išsamių techninių specifikacijų, dokumentų ar bandymų pavyzdžių, susisiekite su mūsų techninės pagalbos komanda ir sužinokite, kaip Veteksemicon gali padidinti jūsų proceso efektyvumą.

Pagrindinės taikymo sritys

Mano varžovas gaminių sandėlis