SiC dengtas grafito susceptorius ASM

Bendra informacija apie gaminį

Produkto verslo sąlygos

✔ Paraiška: Veteksemicon SiC padengtas grafito substratas yra pagrindinė ASM serijos epitaksinės įrangos eksploatacinė medžiaga. Jis tiesiogiai palaiko plokštelę ir užtikrina vienodą bei stabilų šiluminį lauką aukštos temperatūros epitaksijos metu, todėl jis yra pagrindinis komponentas, užtikrinantis aukštos kokybės pažangių puslaidininkinių medžiagų, tokių kaip GaN ir SiC, augimą.

✔ Gali būti teikiamos paslaugos: klientų pritaikymo scenarijų analizė, medžiagų derinimas, techninių problemų sprendimas. 

✔ Įmonės profilis：Veteksemicon turi 2 laboratorijas, ekspertų komandą, turinčią 20 metų medžiagų patirtį, turinčią MTEP ir gamybos, testavimo ir tikrinimo galimybes.

Techniniai parametrai

Mano varžovas SiC padengtas grafito susceptorius ASM šerdies pranašumams

1. Ypatingas grynumas ir mažas defektų lygis

Naudodami didelio grynumo, smulkių dalelių klasės specialų grafito pagrindą, kartu su mūsų griežtai kontroliuojamu cheminio garų nusodinimo (CVD) dengimo procesu, užtikriname, kad danga būtų tanki, be skylučių ir priemaišų. Tai žymiai sumažina užteršimo kietosiomis dalelėmis riziką epitaksinio proceso metu ir sudaro švarią substrato aplinką aukštos kokybės epitaksiniams sluoksniams augti.

2. Puikus atsparumas korozijai ir atsparumas dilimui

Pirolizinė silicio karbido danga pasižymi itin dideliu kietumu ir cheminiu inertiškumu, efektyviai atspari silicio šaltinių (pvz., SiH4, SiHCl3), anglies šaltinių (tokių kaip C3H8) ir ėsdinimo dujų (pvz., HCl, H2) erozijai aukštoje temperatūroje. Tai žymiai prailgina pagrindo priežiūros ciklą ir sumažina mašinos prastovos laiką dėl komponentų keitimo.

3. Puikus terminis vienodumas ir stabilumas

Optimizavome šiluminio lauko pasiskirstymą darbinės temperatūros diapazone, tiksliai projektuodami pagrindo struktūrą ir valdydami dangos storį. Tai tiesiogiai lemia puikų epitaksinės plokštelės storio ir varžos vienodumą, o tai prisideda prie geresnio lustų gamybos išeiga.

4. Puikus dangos sukibimo stiprumas

Unikali išankstinio paviršiaus apdorojimo ir gradiento dengimo technologija leidžia silicio karbido dangai suformuoti tvirtą sluoksnį, jungiantį su grafito pagrindu, veiksmingai užkertant kelią dangos lupimuisi, pleiskanojimui ar įtrūkimų problemoms, kurios gali atsirasti ilgalaikio terminio ciklo metu.

5. Tikslus dydis ir struktūros atkartojimas

Turime brandžias CNC apdirbimo ir testavimo galimybes, leidžiančias visiškai atkartoti sudėtingą originalaus pagrindo geometriją, ertmių matmenis ir tvirtinimo sąsajas, užtikrinant puikų atitikimą ir „plug-and-play“ funkcionalumą su kliento platforma.

6. Ekologinės grandinės patikros patvirtinimas

Mano varžovas SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas ASM ekologinės grandinės patikrai, apima žaliavas iki gamybos, yra išlaikęs tarptautinį standartinį sertifikatą ir turi daugybę patentuotų technologijų, užtikrinančių jo patikimumą ir tvarumą puslaidininkių ir naujose energijos srityse.

Norėdami gauti išsamių techninių specifikacijų, dokumentų ar bandymų pavyzdžių, susisiekite su mūsų techninės pagalbos komanda ir sužinokite, kaip Veteksemicon gali padidinti jūsų proceso efektyvumą.

Pagrindinės taikymo sritys

Mano varžovas prekių parduotuvė