Produktai
Kieto silicio karbido fokusavimo žiedas
  • Kieto silicio karbido fokusavimo žiedasKieto silicio karbido fokusavimo žiedas

Kieto silicio karbido fokusavimo žiedas

Veteksemicon kieto silicio karbido (SiC) fokusavimo žiedas yra svarbus eksploatacinis komponentas, naudojamas pažangiuose puslaidininkių epitaksijos ir plazmos ėsdinimo procesuose, kur labai svarbu tiksliai valdyti plazmos pasiskirstymą, šiluminį vienodumą ir plokštelės krašto poveikį. Šis fokusavimo žiedas, pagamintas iš didelio grynumo kieto silicio karbido, pasižymi išskirtiniu atsparumu plazmos erozijai, stabilumu aukštoje temperatūroje ir cheminiu inertiškumu, todėl užtikrina patikimą veikimą agresyviomis proceso sąlygomis. Laukiame jūsų užklausos.

Veteksemicon kieto silicio karbido fokusavimo žiedas yra pagrindinis puslaidininkių gamybos komponentas, strategiškai išdėstytas už plokštelės, kad būtų palaikomas tiesioginis kontaktas. Naudodamas taikomą įtampą, šis žiedas sufokusuoja jį kertančią plazmą, taip padidindamas proceso vienodumą plokštelėje. Šis fokusavimo žiedas, pagamintas tik iš cheminio garų nusodinimo silicio karbido (CVD SiC), įkūnija išskirtines savybes, kurių reikalauja puslaidininkių pramonė. Mes, Veteksemicon, esame pasiryžę gaminti ir tiekti aukštos kokybės kieto silicio karbido fokusavimo žiedus, kurie sujungia aukščiausios kokybės ir ekonomiškumo efektyvumą.


Produkto privalumai

Palyginti su tradiciniuSilicio (Si) arba sukepinto silicio karbido (sukepinto SiC) fokusavimo žiedai, mūsų gaminys išsiskiria pagrindiniais matmenimis:


Funkcijos matmenys
Veteksemicon CVD SiC fokusavimo žiedas
Tradicinis silicio (Si) fokusavimo žiedas
Sukepinto SiC fokusavimo žiedas
Atsparumas plazminiam ėsdinimui
Išskirtinis (suvartojimas žymiai mažesnis nei Si)
Prastas (greitas suvartojimas, dažnas keitimas)
Vidutinis (geresnis nei Si, bet prastesnis nei CVD SiC)
Dalelių generavimo kontrolė
Išskirtinis (tanki CVD struktūra, jokių trapių šoninių sąsajų)
Valdomas (bet pats medžiagų suvartojimas yra dalelių šaltinis)
Santykinai didesnis (dėl medžiagos poringumo ir galimų mikrodalelių)
Laidumas ir elektros suderinimas
Puikus (geras elektrinis derinimas su vafliu)
Gerai
Gerai
Šilumos valdymas
Puikus (didelis šilumos laidumas, mažas CTE, puikus atsparumas šiluminiam smūgiui)
Vidutinis
Gerai
Mechaninis stiprumas ir tarnavimo laikas
Išskirtinai ilgas (didelis kietumas, atsparumas dilimui ir korozijai)
Trumpas
Ilgas
Bendras nuosavybės mokestis (TCO)
Mažesnis (ypač ilgas tarnavimo laikas sumažina prastovos laiką ir pagerina derlių)
Aukštas
Vidutinis

Pažymėtina, kad silicio karbido laidumas ir atsparumas jonų ėsdinimui yra labai panašūs į silicį, todėl užtikrinamas suderinamumas su esamais puslaidininkių gamybos procesais ir užtikrinamas geresnis našumas, todėl Veteksemicon kieto silicio karbido fokusavimo žiedas yra idealus medžiagos pasirinkimas šiam kritiniam darbui.


Veteksemicon kieto silicio karbido fokusavimo žiedas yra moderniausias sprendimas puslaidininkių gamybos srityje. Jis visiškai išnaudoja unikalius CVD SiC medžiagų pranašumus, kad būtų lengviau atlikti patikimus, didelio tikslumo ir didelio efektyvumo ėsdinimo procesus, o tai labai prisideda prie naujos kartos puslaidininkių technologijos pažangos.


Veteksemicon-products-warehouse

Hot Tags: Kieto silicio karbido fokusavimo žiedas
Siųsti užklausą
Kontaktinė informacija
Jei turite klausimų apie silicio karbido dangą, tantalo karbido dangą, specialų grafitą ar kainoraštį, palikite mums savo el. laišką ir mes susisieksime per 24 valandas.
X
Naudojame slapukus siekdami pasiūlyti geresnę naršymo patirtį, analizuoti svetainės srautą ir suasmeninti turinį. Naudodamiesi šia svetaine sutinkate su mūsų slapukų naudojimu. Privatumo politika
Atmesti Priimti