Kas yra elektrostatinis chuck (ESC)?

Elektrostatinis chuckas (ESC), dar žinomas kaip elektrostatinis chuck (ESC, E-Chuck), yra armatūra, kuri naudoja elektrostatinės adsorbcijos principą, kad būtų laikomas ir pritvirtindamas adsorbuotą medžiagą. Jis tinka vakuume ir plazmoje. Pagrindinė jo funkcija yra adsorbNuvalykite plonus lakštus (pvz., Silicio vaflius) ir laikykite adsorbuotą medžiagą geram lygumui, kuris proceso metu taip pat gali slopinti adsorbuotos medžiagos deformaciją ir ji gali pakoreguoti adsorbato temperatūrą.

Elektrostatinis chuckas (ESC) yra specialus chuck tipas, kuris naudoja elektrostatinę jėgą, kad palaikytų, paspaustų ir paimtų objektus (ruošinius). Bet kuri medžiaga turi teigiamų ir neigiamų krūvių, kurie nematomi plika akimi. Kai medžiaga dedama ant ESC ir bipolinė įtampa taikoma vidiniams ESC elektrodams, teigiami ir neigiami krūviai judės medžiagoje, kad atitiktų ESC vidinių elektrodų poliškumą. Šis atrakcija tarp ESC ir medžiagos yra vadinama elektrostatine jėga, taip pat yra pagrindinis mūsų griovių principas.

Produkto pranašumai

Jis turi plačią veikimo temperatūros diapazoną (nuo –50 iki 700 ℃)

Šie elektrostatiniai siurbimo puodeliai pasižymi puikiu stiprumu, šilumos laidumu ir šiluminio smūgio atsparumu ir gali prisitaikyti prie plačios temperatūros diapazono, naudodamas NGK patentuotą keramikos tūrio varžos kontrolę.

Didelis atsparumas korozijai

Šie elektrostatiniai siurbimo puodeliai turi puikų atsparumą korozijai halogeninėms dujoms.

Mažų dalelių apdorojimas

Gydant mažai dalelių galima apdoroti paviršiaus apdorojimu ir specialiu valymu

Aukštas grynumas

Taip pat yra produktų, kurių grynumas yra 99,9% ar didesnis.

Šildymo funkcija

Didelio tikslumo šildymo elementų įterpimo technologija gali būti integruota su šildytuvo funkcija, o vaflių temperatūra gali būti valdoma ± 1%.

Aušinimo funkcija

Šie elektrostatiniai siurbimo puodeliai pasižymi ypač dideliu aušinimo efektyvumu, kai sujungia keramines plokšteles su dideliu šilumos laidumu ir aušinimo plokštelėmis.

Radijo dažnio elektrodas

Birių metalinių elektrodų tuo pačiu metu gali būti stabilus vaflių spaustuko ir radijo dažnio plazmos generavimas.

PArametras

1.Puslaidininkių ir elektroninės gamybos srityje: Puslaidininkių ir elektroninių gamybos procesų metu elektrostatiniai siurbimo puodeliai naudojami ploniems ir trapiems silicio plokštelėms, vafliams ir tt. Jos pranašumai yra stiprios adsorbcijos jėgos, jokio mechaninio įtempio ir paprasto eksploatavimo, o tai efektyviai pagerina gamybos efektyvumą ir produkto kokybę.

2. Stiklo ir keramikos pramonė: Stiklo ir keramikos pjaustymo, šlifavimo ir tvarkymo procesų metu elektrostatiniai siurbimo taurės gali atlikti neardomąsias operacijas dėl trapių medžiagų, sumažindamos produkto lūžio greitį.

3. Tiksliųjų mašinų ir optinių komponentų gamyba: Tikslioms mašinoms ir optiniams komponentams elektrostatiniai siurbimo puodeliai gali suteikti stabilią adsorbcijos jėgą, užkirsdami kelią deformacijai ar įbrėžimams perdirbant.

4. Automatizuotos gamybos linijos: Automatinėse gamybos linijose elektrostatiniai siurbimo puodeliai yra plačiai naudojami dalių tvarko, tvarkant ir surinkus ir kt., Padidinant gamybos linijos automatizavimo laipsnį ir efektyvumą.