SiC danga pusmėnulio grafito detalės

SiC epitaksialinio augimo krosnies reakcijos kameroje SiC dangos pusmėnulio grafito dalys yra pagrindiniai komponentai, skirti optimizuoti dujų srauto pasiskirstymą, šiluminio lauko valdymą ir reakcijos atmosferos vienodumą. Paprastai jie gaminami iš sic dangosgrafitas,suprojektuotas pusmėnulio formos, esantis viršutinėje ir apatinėje reakcijos kameros grafito dalyse, supančioje substrato sritį.

    •Viršutinė pusmėnulio grafito dalis: įrengtas viršutinėje reakcijos kameros dalyje, šalia dujų įleidimo angos, atsakingas už reakcijos dujų nukreipimą tekėti link pagrindo paviršiaus.

    •Žemutinė pusmėnulio grafito dalis: esanti reakcijos kameros apačioje, paprastai žemiau substrato laikiklio, naudojamas dujų srauto krypčiai valdyti ir optimizuoti šiluminį lauką ir dujų pasiskirstymą substrato apačioje.

PerSiC epitaksijos procesas, viršutinė pusmėnulio grafito dalis padeda nukreipti dujų srautą tolygiai paskirstyti ant pagrindo, neleidžiant dujoms tiesiogiai paveikti pagrindo paviršiaus ir sukelti vietinį perkaitimą arba oro srauto turbulenciją. Apatinė pusmėnulio grafito dalis leidžia dujoms sklandžiai tekėti per substratą, o paskui išleidžiamos, tuo pačiu neleidžiant turbulencijai paveikti epitaksinio sluoksnio augimo vienodumą.

Kalbant apie šiluminio lauko reguliavimą ， SiC dengimo pusmėnulio grafito dalys padeda tolygiai paskirstyti šilumą reakcijos kameroje per formą ir padėtį. Viršutinė pusmėnulio grafito dalis gali veiksmingai atspindėti spinduliuojančią šildytuvo šilumą, kad būtų užtikrinta, jog temperatūra virš substrato yra stabili. Apatinė pusės mėnulio grafito dalis taip pat turi panašų vaidmenį, padedantį tolygiai paskirstyti šilumą žemiau substrato per šilumos laidumą, kad būtų išvengta per didelių temperatūros skirtumų.

SiC danga daro komponentus atsparius aukštai temperatūrai ir termiškai laidžiai, todėl „Vetek“ puslaidininkio puslaidžio dalies ilgą laiką tarnauja. Atsargiai suprojektuotos mūsų pusmėnulio grafito dalys, skirtos SIC epitaksijai, gali būti sklandžiai integruotos į daugelį epitaksinių reaktorių, padedančių pagerinti bendrą puslaidininkių gamybos proceso efektyvumą ir patikimumą. Nepriklausomai nuo jūsų „SiC“ dangos pusmėnulio grafito dalių, susisiekite su „Vetek“ puslaidininkiu.

WatersemiSiC dangos pusmėnulio grafito dalių parduotuvės: