Išankstinio šildymo žiedas

Išankstinio šildymo žiedasyra pagrindinė įranga, specialiai sukurta puslaidininkių gamybos epitaksiniam (EPI) procesui. Jis naudojamas plokštelėms pašildyti prieš EPI procesą, užtikrinant temperatūros stabilumą ir vienodumą viso epitaksinio augimo metu.

Gaminama „Vetek Semiconductor“, mūsų „EPI Pre Heat Ring“ siūlo keletą pastebimų funkcijų ir pranašumų. Pirma, jis sukonstruotas naudojant dideles šilumos laidumo medžiagas, leidžiančias greitai ir vienodą šilumos perdavimą į vaflių paviršių. Tai apsaugo nuo taškų ir temperatūros gradientų susidarymo, užtikrinant nuoseklų nusėdimą ir pagerinant epitaksinio sluoksnio kokybę ir vienodumą. Be to, mūsų EPI išankstinio pašildymo žiede įrengta pažangi temperatūros valdymo sistema, leidžianti tiksliai ir nuosekliai valdyti išankstinio pašildymo temperatūrą. Šis valdymo lygis padidina svarbiausių žingsnių, tokių kaip kristalų augimas, medžiagos nusodinimas ir sąsajos reakcijos EPI proceso metu, tikslumą ir pakartojamumą.

Patvarumas ir patikimumas yra esminiai mūsų produkto dizaino aspektai. „EPI“ prieš šilumos žiedas yra sukurtas taip, kad atlaikytų aukštą temperatūrą ir veikimo slėgį, išlaikant stabilumą ir našumą ilgą laiką. Šis projektavimo metodas sumažina priežiūros ir pakeitimo sąnaudas, užtikrinant ilgalaikį patikimumą ir eksploatavimo efektyvumą. EPI prieš šilumos žiedo montavimas ir eksploatavimas yra paprastas, nes jis suderinamas su įprasta EPI įranga. Jame yra patogus vaflių išdėstymas ir gavimo mechanizmas, padidinantis patogumą ir eksploatavimo efektyvumą.

Tai puslaidininkismes taip pat siūlome pritaikymo paslaugas, kad atitiktų konkrečius klientų reikalavimus. Tai apima EPI išankstinio šildymo žiedo dydžio, formos ir temperatūros diapazono pritaikymą, kad jis atitiktų unikalius gamybos poreikius. Tyrėjams ir gamintojams, dalyvaujantiems epitaksiniame augime ir puslaidininkių prietaisų gamyboje, „Vetek“ puslaidininkio EPI prieš šilumos žiedas suteikia išskirtinį našumą ir patikimą palaikymą. Tai yra kritinė priemonė siekiant aukštos kokybės epitaksinio augimo ir palengvinant efektyvius puslaidininkių prietaisų gamybos procesus.

CVD SIC plėvelės SEM duomenys