CVD SIC dangos šildymo elementas

CVD SIC dangos šildymo elementas daugiausia naudojamas PVD (fizinio garų nusėdimo) įrangoje. Garinimo procese medžiaga kaitinama, kad būtų pasiektas išgarinimas ar dulkinimas, ir galiausiai ant substrato susidaro vienoda plona plėvelė.

Ⅰ.Konkreti programa

Plonas plėvelės nusėdimas: CVD SIC dangos šildymo elementas naudojamas garinimo šaltinyje arba purškimo šaltinyje. Kaitinant, elementas kaitina medžiagą, kurią reikia nusėdti iki aukštos temperatūros, kad jo atomai ar molekulės būtų atskirtos nuo medžiagos paviršiaus, taip sudarant garą ar plazmą. Mūsų šildymo elemento pagrindu sukurta SiC danga taip pat gali tiesiogiai pašildyti kai kurias metalines ar keramines medžiagas, kad išgarintų ar subliektų jas vakuume, kad būtų galima naudoti kaip medžiagos šaltinį PVD procese. Kadangi struktūra turi koncentrinius griovelius, ji gali geriau valdyti dabartinį kelią ir šilumos pasiskirstymą, kad būtų užtikrintas šildymo vienodumas.

Garinimo PVD proceso schema

Ⅱ.Darbo principas

Atsparus šildymas, kai srovė eina per SIC padengto šildytuvo pasipriešinimo kelią, susidaro Joule šiluma, taip pasiekiant kaitinimo poveikį. Koncentrinė struktūra leidžia tolygiai paskirstyti srovę. Temperatūros valdymo įtaisas paprastai yra prijungtas prie elemento, kad būtų galima stebėti ir sureguliuoti temperatūrą.

Ⅲ.Medžiagos ir konstrukcinis dizainas

CVD SIC dangos šildymo elementas yra pagamintas iš aukšto grynumo grafito ir SiC dengimo, kad būtų galima susidoroti su aukštos temperatūros aplinka. Pats „High-Griew“ grafitas buvo plačiai naudojamas kaip šiluminio lauko medžiaga. Po dangos sluoksnio ant grafito paviršiaus taikant CVD metodą, dar labiau pagerėja jo aukštos temperatūros stabilumas, atsparumas korozijai, šiluminis efektyvumas ir kitos savybės.

Koncentrinių griovelių dizainas leidžia srovei suformuoti vienodą kilpą disko paviršiuje. Tai pasiekia vienodą šilumos pasiskirstymą, išvengia vietinio perkaitimo, kurį sukelia koncentracija tam tikrose vietose, sumažina papildomus šilumos nuostolius, kuriuos sukelia dabartinė koncentracija, ir taip pagerina šildymo efektyvumą.

CVD SIC dangos šildymo elementą sudaro dvi kojos ir kūnas. Kiekvienoje kojoje yra sriegis, jungiantis prie maitinimo šaltinio. „Vetek“ puslaidininkis gali pagaminti vientisas dalis arba dalijimosi dalis, tai yra, kojos ir korpusas yra pagamintos atskirai, o po to surinktos. Nesvarbu, kokius reikalavimus turite CVD SIC padengtam šildytuvui, susisiekite su mumis. „Veteksemi“ gali pateikti jums reikalingus produktus.

Pagrindinės fizinės CVD SIC dangos savybės ：