Silicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvas

IT puslaidininkis Silicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvasSujunkite puikų grafito elektrinį ir šiluminį laidumą su atsparumu aukštai temperatūrai, atsparumui korozijai ir silicio anglies keramikos dangos atsparumą dilimui ir yra skirtas atšiaurioms puslaidininkių gamybos aplinkoms. 

Silicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvasdaugiausia naudojamas vakuuminio dengimo (garinimo) įrangoje, o dažniausiai naudojami metodai yra PCD (plazmos cheminis džiovinimas) ir PVD (fizinis garų nusėdimas). Šis produktas vaidino svarbų vaidmenį skatinant technologinę pažangą ir pagerinant gamybos efektyvumą puslaidininkių pramonėje.Mes nuoširdžiai tikimės tolesnio bendradarbiavimo su jumis.

Silicio karbido keraminio dangos grafito šildytuvo medžiaga ir konstrukcinės savybės yra šios:

Grafito substratas: Grafitas yra žinomas dėl savo didelio šilumos laidumo ir mažo šiluminio išsiplėtimo koeficiento. Tai gali greitai reaguoti į temperatūros pokyčius ir išlaikyti struktūrinį stabilumą esant aukštai temperatūrai.

Silicio anglies keraminė danga: SiC danga tolygiai padengta grafito paviršiuje naudojant cheminį garų nusėdimą ar kitus pažengusius procesus. SIC turi ypač aukštą kietumo ir cheminės korozijos atsparumą, kuris gali apsaugoti grafito substratą nuo aukštos temperatūros oksidacijos ir korozinės aplinkos.

Specialus silicio karbido keraminio dangos grafito šildytuvo konstrukcinis konstrukcinis dizainas nustatoŠio produkto nepakeičiami produkto pranašumai puslaidininkių apdorojimo procese:

Efektyvus ir vienodas šildymas:

Šilumos laidumas: Aukštas grafito šilumos laidumas leidžia šildytuvui greitai pasiekti ir palaikyti reikiamą temperatūrą, o SIC danga užtikrina vienodą šilumos pasiskirstymą. Tai ypač svarbu puslaidininkių procesams, kuriems reikalingas tikslus temperatūros kontrolė, pavyzdžiui, greitas šiluminis apdorojimas (RTP) ir cheminis garų nusėdimas (CVD).

Temperatūros vienodumas: Per vienodą šilumos pasiskirstymą silicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvas gali efektyviai sumažinti šiluminį įtempį ir temperatūros gradientą, užtikrinant puslaidininkių plokštelių konsistenciją ir kokybės stabilumą per visą šildymo procesą.

Apsauga nuo korozijos:

Cheminis atsparumas: SiC dangos cheminė korozija leidžia šildytuvui veikti stabiliai ir ilgą laiką ėsdinančiose dujų ir cheminėje aplinkoje, išvengiant grafito substrato pažeidimo. Ši savybė yra ypač kritiška tokiuose procesuose kaip cheminio garų nusėdimas (CVD) ir padidėjęs plazmos cheminio garų nusėdimas (PECVD).

Atsparumas oksidacijai: Esant aukštai temperatūrai, SIC danga gali užkirsti kelią grafito substrato oksidacijai, prailginti šildytuvo tarnavimo laiką ir sumažinti įrangos priežiūros dažnį ir kainą.

Sumažinkite dalelių užteršimą:

Paviršiaus stabilumas: SiC danga yra ne tik atspari dilimui, bet ir neleidžia dalelėms nukristi nuo medžiagos paviršiaus dėl šiluminio ciklo ar cheminių reakcijų, taip sumažinant dalelių užteršimo riziką, kuri gali atsirasti gamybos puslaidininkių metu ir užtikrinant aukšto lygio proceso aplinką.

Pagerinti proceso patikimumą ir efektyvumą:

Ilgo gyvenimo dizainas: Dėl grafito mechaninio stiprumo derinio ir SiC dangos atsparumo dilimui silicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvas ilgą laiką gali išlaikyti didelio efektyvumo veikimą atšiauriomis proceso sąlygomis, žymiai pagerindamas bendrą įrangos patikimumą.

Efektyvus energijos sunaudojimas: Aukštas grafito šilumos laidumas ir aukštos temperatūros SIC dangos stabilumas leidžia šildytuvui sumažinti energijos suvartojimą, tuo pačiu pagerinant temperatūros kontrolės tikslumą, taip pagerinant bendrą puslaidininkių gamybos efektyvumą.

Pagrindinės fizinės savybėsSilicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvas:

IT puslaidininkisSilicio karbido keramikos dangos grafito šildytuvasParduotuvės:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga:

/Kita procesas