Silicio karbido keraminė danga

IT puslaidininkis Silicio karbido keraminė dangayra aukštos kokybės apsauginė danga, pagaminta iš ypač kietos ir dėvėjimosi atsparios silicio karbido (SIC) medžiagos, kuri suteikia puikų atsparumą cheminei korozijai ir aukštos temperatūros stabilumui. Šios savybės yra labai svarbios puslaidininkių gamyboje, todėl silicio karbido keraminė danga yra plačiai naudojama pagrindiniams puslaidininkių gamybos įrangos komponentams.

Konkretus Veteko puslaidininkinio silicio karbido keramikos dengimo vaidmuo puslaidininkių gamyboje yrataip:

Patobulinkite įrangos patvarumą: Silicio karbido keraminė danga suteikia puikią paviršiaus apsaugą puslaidininkių gamybos įrangai, pasižyminčiai ypač dideliu kietumu ir atsparumu dilimui. Ypač esant aukštai temperatūrai, labai ėsdinančiai proceso aplinkai, tokioms kaip cheminio garų nusėdimas (CVD) ir plazmos ėsdinimas, silicio karbido keraminė danga gali veiksmingai užkirsti kelią įrangos paviršiaus pažeidimui dėl cheminio erozijos ar fizinio nusidėvėjimo, todėl žymiai prailgina įrangos tarnavimo laiką ir sumažinant žemyne ​​esančią žemyną ir palaikymą.

Pagerinti proceso grynumą: Puslaidininkių gamybos procese bet koks mažas užterštumas gali sukelti produkto defektus. Cheminis silicio karbido keramikos dengimo inertiškumas leidžia jai išlikti stabiliai ekstremalioms sąlygoms, neleisti medžiagai išleisti daleles ar priemaišas ir užtikrinti aplinkos grynumą proceso metu. Tai ypač svarbu gamybos etapams, kuriems reikalingas aukštas tikslumas ir didelis švara, pavyzdžiui, PECVD ir jonų implantacija.

Optimizuokite šilumos valdymą: Atliekant aukštos temperatūros puslaidininkių apdorojimą, pavyzdžiui, greitą šiluminį apdorojimą (RTP) ir oksidacijos procesus, didelis silicio karbido keramikos dengimo šiluminis laidumas leidžia vienodai paskirstyti temperatūrą įrangos viduje. Tai padeda sumažinti šiluminį stresą ir medžiagų deformaciją, kurią sukelia temperatūros svyravimai, taip pagerinant produkto gamybos tikslumą ir nuoseklumą.

Palaikykite sudėtingą proceso aplinką: Procesuose, kuriems reikalinga sudėtinga atmosferos kontrolė, pavyzdžiui, ICP ėsdinimo ir PSS ėsdinimo procesai, silicio karbido keraminio dangos šildytuvo stabilumas ir oksidacijos atsparumas užtikrina stabilų įrangos veikimą ilgalaikiame darbe, todėl sumažėja medžiagų skaidymo ar įrangos žalos rizika dėl aplinkos pokyčių.

IT puslaidininkisDaugiausia dėmesio skiriama didelio našumo gamybai ir tiekimuiSilicio karbido keraminė danga, ir yra įsipareigojusi tiekti pažangias technologijas ir produktų sprendimus puslaidininkių pramonei.Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

Pagrindinės fizinės savybėsSilicio karbido keraminė danga:

„Vetek“ puslaidininkių silicio karbido keramikos dangos parduotuvės:

Puslaidininkinio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: