Silicio karbido keraminis danga

IT puslaidininkisSilicio karbido keraminis dangos šildytuvas yra šildytuvas, skirtas aukštai temperatūrai ir atšiaurioms aplinkoms. Jis padengia silicio anglies keramikos dangos (SIC) sluoksnį ant kaitinimo elemento paviršiaus, kad įrangai būtų suteiktas puikus atsparumas šilumai, atsparumas korozijai ir šilumos laidumui. 

Silicio karbido keraminis dangadaugiausia naudojamas vakuuminio dengimo (garinimo) įrangoje. Dažniausiai naudojami metodai yra PCD (plazmos cheminis džiovinimas) ir PVD (fizinio garų nusėdimas), kurie yra plačiai naudojami puslaidininkių gamyboje ir kitose didelės paklausos pramoninėse programose.

Derinamas su aukštos kokybės silicio karbido keraminio dangos šildytuvo danga,Tai gali būti puikus šildymo sprendimas aukštos temperatūros procesams.

Puikus šilumos laidumas: SIC medžiaga turi puikų šilumos laidumą, užtikrinant, kad šildytuvas gali pasiekti vienodą šilumos pasiskirstymą darbo vietoje ir sumažinti temperatūros gradientus.

Pateikite vienodą šilumos pasiskirstymą: Silicio karbido keramikos dangos šildytuve naudojamas didelis SIC medžiagos šilumos laidumas, kad būtų pasiektas vienodas temperatūros pasiskirstymas visoje šildymo srityje. Tai labai svarbu užtikrinti vienodą puslaidininkių vaflių terminį apdorojimą įvairiuose aukštos temperatūros procesuose, tokiuose kaip greitas šiluminis apdorojimas (RTP), difuzija ir oksidacija, išvengiant produkto defektų, kuriuos sukelia vietinė perkaitimo ar nelygesnė temperatūra.

Aukštos temperatūros tolerancija: SIC danga leidžia šildytuvui atlaikyti ypač aukštą temperatūrą, paprastai iki 1600 ° C, tinkančią įvairiems aukštos temperatūros apdorojimo procesams.

Pagerinti atsparumą šilumai: Kadangi danga gali atlaikyti ypač aukštą temperatūrą, ji gerai veikia procesuose, kuriems reikalingas ilgalaikis aukštos temperatūros veikimas. Pvz., Cheminio garų nusėdimo (CVD) procesuose silicio karbido keramikos dangos šildytuvas gali užtikrinti ilgalaikį stabilų įrangos veikimą aukštoje temperatūroje ir išlaikyti nuoseklų šildymo efektyvumą, taip pagerindamas proceso pakartojamumą ir patikimumą.

Cheminės korozijos atsparumas: SiC danga turi ypač didelį atsparumą rūgščiai, šarmams ir ėsdinančioms dujoms ir ilgą laiką gali išlikti stabilioje sudėtingoje cheminės atmosferos aplinkoje, prailgindama įrangos tarnavimo laiką. 

Pratęsdamas įrangos tarnavimo laiką: SIC danga turi puikų atsparumą oksidacijai ir atsparumui korozijai, ji gali efektyviai atsispirti cheminei erozijai ir oksidacijai aukštoje temperatūroje. Tai labai svarbu puslaidininkių gamybos procese, ypač aplinkoje, kurioje tvarko ėsdinančias dujas ir chemines medžiagas. Apsauginis dangos poveikis gali žymiai pratęsti šildytuvo tarnavimo laiką ir sumažinti įrangos pakeitimo ir priežiūros išlaidų dažnį.

Pagrindinės fizinės silicio karbido keraminio dangos šildytuvo savybės:

„Vetek“ puslaidininkių silicio karbido keramikos dangos šildytuvo parduotuvės:

„Vetek“ puslaidininkio lustų „Epitaxy“ pramonės grandinės apžvalga: