Silicio karbido vaflių chuck

„Vetek“ puslaidininkių silicio karbido vaflis Chuckas naudoja puikias silicio karbido medžiagų savybes, kad atitiktų griežtus puslaidininkių gamybos reikalavimus, ypač puslaidininkių apdorojant, kuriems reikia ypač aukšto tikslumo ir patikimumo.

Puslaidininkių apdorojimo procese,Silicio karbidaspasižymi puikiu aukštos temperatūros atsparumu (gali stabiliai veikti iki 1400 ° C), mažą laidumą (SIC turi santykinai mažą laidumą, paprastai 10^^-3S/m) ir žemo šiluminio išplėtimo koeficientas (apie 4,0 × 10^^-6/° C), kuri yra nepakeičiama ir svarbi medžiaga, ypač tinkama gaminti silicio karbido vaflinį.

PerEpitaksinis augimo procesas, ant substrato dedamas plonas puslaidininkinės medžiagos sluoksnis, reikalaujantis absoliučio vaflio stabilumo, kad būtų užtikrintas vienodas ir aukštos kokybės plėvelės nusėdimo sluoksniai. „SiC“ vakuuminis chuckas tai pasiekia sukurdamas tvirtą, pastovų vakuuminį sulaikymą, kad būtų išvengta bet kokio vaflio judėjimo ar deformacijos.

„Silicon Carbide“ vaflis Chuckas taip pat pasižymi puikiu atsparumu šiluminiam smūgiui. Spartus temperatūros pokyčiai yra paplitę puslaidininkių gamyboje, o medžiagos, kurios negali atlaikyti šių svyravimų, gali nulaužti, sulenkti ar sugesti. Silicio karbidas turi žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą ir gali išlaikyti jo formą ir funkcijas net esant drastiškiems temperatūros pokyčiams, užtikrinant, kad vaflis išliks saugus epitaksijos proceso metu be judesio ar netinkamo poslinkio.

Be to,Epitaksijos procesasDažnai apima reaktyvias dujas ir kitas ėsdinančias chemines medžiagas. Cheminis „SiC“ vaflininko inertiškumas užtikrina, kad jam nepaveiktų šios atšiaurios aplinkos, išlaikant savo našumą ir pratęsdamas tarnavimo laiką. Šis cheminis patvarumas ne tik sumažina vaflinių chucko pakeitimo dažnį, bet ir užtikrina nuoseklų produkto veikimą per kelis gamybos ciklus, padedančius pagerinti bendrą puslaidininkių gamybos proceso efektyvumą ir ekonomiškumą.

„Vetek Semiconductor“ yra pirmaujanti „Silicon Carbide Wafer Chuck“ gaminių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Mes galime pateikti įvairių rūšių chucko produktus, tokius kaipPorėta sic keraminė chuck, Porėta sic vakuuminė chuck, Porėtas keraminis vakuumasirTAC padengtas chuckir tt „Vetek“ puslaidininkis yra įsipareigojęs pateikti pažangias technologijas ir gaminių sprendimus puslaidininkių pramonei. Mes nuoširdžiai tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

SEM duomenys apie CVDSic plėvelės kristalų struktūra：

„Vetek“ puslaidininkių silicio karbido vaflių vaflių parduotuvės：