Kaip TaC danga pagerina grafito komponentų tarnavimo laiką? - „VeTek“ puslaidininkis

CVD tantalo karbido dangayra gaminamas nusodinant garais tantalo karbidą (TaC) ant didelio grynumo grafito substrato paviršiaus naudojant VeTek Semiconductor patentuotą cheminio nusodinimo garais (CVD) procesą.

Tantalo karbido (TaC) dangos žymiai pagerina tarnavimo laikągrafito dalysnaudojant įvairius mechanizmus, ypač aukštoje temperatūroje, labai korozinėje aplinkoje, pavyzdžiui, puslaidininkių gamyboje ir kristalų augime. 

Čia pateikiamos konkrečios priežastysTAC dangosPagerinkite grafito dalių patvarumą:

●  Patobulintas atsparumas aukštai temperatūrai

Itin didelis terminis stabilumas: TaC dangos gali išlikti stabilios esant itin aukštai temperatūrai, viršijančiai 2000°C, ir gali efektyviai veikti net 2200°C temperatūroje. Dėl šios aukštos temperatūros tolerancijos danga gali atlaikyti išlydytų metalų ir cheminių dujų eroziją puslaidininkių gamybos metu, taip prailginant grafito dalių tarnavimo laiką.

● Puikus atsparumas korozijai

Cheminės erozijos atsparumas: TAC dangos turi stiprų atsparumą ėsdinančioms dujoms, tokioms kaip vandenilis, amoniakas ir silicio garai, kurie gali veiksmingai užkirsti kelią šioms dujoms korozijai korozijai sugadinti grafito substratą ir sumažinti grafito dalių pažeidimo riziką atšiaurioje aplinkoje. Tai reiškia, kad kristalų augimo proceso metu danga gali slopinti priemaišų migraciją ir pagerinti kristalų kokybę bei išeigą.

●  Patobulintos mechaninės savybės

Geras sukibimas ir šiluminio smūgio atsparumas: TAC dangos turi stiprų sukibimą su grafito substratu, užtikrinant, kad danga nebus nulupta ar delaminuota atliekant aukštos temperatūros operacijas. Be to, puikus jo atsparumas šiluminiam smūgiui gali atlaikyti greitus temperatūros pokyčius, nesulaužant ar nulupdamas, dar labiau pratęsti grafito dalių tarnavimo laiką.

● Sumažinkite priemaišų užteršimą

Itin aukštas grynumas: TaC dangos turi itin mažą priemaišų kiekį, o tai padeda sumažinti užterštumo problemas, kurios gali atsirasti esant aukštai temperatūrai. Neleisdamos nepageidaujamoms priemaišoms migruoti į epitaksinį sluoksnį, TaC dangos žymiai pagerina kristalų augimo proceso grynumą ir kokybę.

● Optimizuokite šilumos valdymą

Pagerinkite šilumos laidumą ir atsparumą: TAC dangos turi santykinai mažą šilumos laidumą ir atsparumą, o tai įgalina jo pritaikymą šildytuvuose ir kituose šiluminio valdymo komponentuose, kad pagerintų energijos efektyvumą ir sumažintų energijos nuostolius. Ši savybė ne tik pagerina veiklos efektyvumą, bet ir sumažina medžiagų nuovargį bei pažeidimus, kuriuos sukelia perkaitimas.