Koks yra specifinis TAC padengtų dalių pritaikymas puslaidininkio lauke?

Tantalum karbido (TAC) dangos fizinės savybės

„Tantalum“ karbido (TAC) dangos uždėjimas puslaidininkio lauke

1. Epitaksinio augimo reaktoriaus komponentai

TAC danga yra plačiai naudojama cheminių garų nusėdimo (CVD) reaktoriaus komponentams, esantiems nitrido (GAN) epitaksiniam ir silicio karbido (sic) epitaksiniam, įskaitantVaflių vežėjai, palydoviniai patiekalai, purkštukai ir jutikliai. Šie komponentai reikalauja ypač didelio patvarumo ir stabilumo aukštoje temperatūroje ir ėsdinančioje aplinkoje. TAC danga gali efektyviai pratęsti savo tarnavimo laiką ir pagerinti derlių.

2. Vieno kristalų augimo komponentas

Tokių kaip SIC, Gan ir aliuminio nitrido (AIN) medžiagų, tokių kaip SIC, GAN ir aliuminio, kristalų augimo procese.TAC dangayra taikomas pagrindiniams komponentams, tokiems kaip tipas, sėklų kristalų laikikliai, kreipiamieji žiedai ir filtrai. Grafito medžiagos su TAC danga gali sumažinti priemaišų migraciją, pagerinti kristalų kokybę ir sumažinti defektų tankį.

3. Aukštos temperatūros pramoniniai komponentai

TAC danga gali būti naudojama aukštos temperatūros pramoninėms reikmėms, tokioms kaip varžos šildymo elementai, įpurškimo purkštukai, ekranuojantys žiedai ir litavimo armatūra. Šie komponentai turi išlaikyti gerą našumą aukštos temperatūros aplinkoje, o TAC atsparumas šilumai ir atsparumas korozijai daro jį idealiu pasirinkimu.

4. Šildytuvai MOCVD sistemose

TAC padengti grafito šildytuvai buvo sėkmingai įvesti metalinėse organinių cheminių garų nusėdimo (MOCVD) sistemose. Palyginti su tradiciniais PBN dengtais šildytuvais, TAC šildytuvai gali užtikrinti geresnį efektyvumą ir vienodumą, sumažinti energijos suvartojimą ir sumažinti paviršiaus spinduliuotę ir taip pagerinti vientisumą.

5. Vaflių vežėjai

TAC dengtos vaflių nešikliai vaidina svarbų vaidmenį ruošiant trečios kartos puslaidininkių medžiagas, tokias kaip SIC, AIN ir GAN. Tyrimai parodė, kad korozijos dažnis yraTAC dangosAukštos temperatūros amoniako ir vandenilio aplinkoje yra daug mažesnis neiSiC dangos, todėl ilgalaikis naudojimas rodo geresnį stabilumą ir ilgaamžiškumą.