8 colių CVD silicio karbidu (SiC) padengtas epitaksinis viršutinis žiedas

Pagrindinės 8 colių SiC Epi viršutinio žiedo savybės

● Didelis grynumas: mažiausiai 99,9995 %. Metalas nepateks į episluoksnį. Tai išlaiko plokštelių laikiklio koncentraciją ten, kur ji turi būti.

● Dalelių slopinimas: CVD struktūra yra tanki. Nėra porų. Įrankiui veikiant, jis neišskirs dalelių. Taip gamyklos mato didesnį derlių.

● Atsparumas karščiui: žiedas išlieka stabilus 1500°C temperatūroje. Žemas CTE (šiluminis plėtimasis) reiškia, kad greito įkaitimo / vėsinimo ciklų metu nėra deformacijų.

● Cheminis stabilumas: kietas CVD SiC atsparus H2 ir HCl dujoms. Jis taip pat atsparus NH3. Jame nėra dangos, kurią būtų galima nulupti. Jis nesuyra atšiaurioje CVD aplinkoje.

● Komponento eksploatavimo laikas: paviršius itin kietas. Jis išgyvena pakartotinį HF/HCl cheminį valymą. Tai sumažina keitimo dažnumą. Tai taip pat sumažina bendras gamybos išlaidas.

Techninės specifikacijos

Dangos storio vienodumas tarp partijų kontroliuojamas 10 um

Programos

CVD SiC epi viršutinis žiedas plačiai naudojamas:

● Silicio epitaksiniai (Si Epi) reaktoriai

● Silicio karbido epitaksija (SiC Epi)

● MOCVD sistemos

● CVD nusodinimo įranga

Dažniausiai suporuojamas su:

● Susceptoriai

● Vaflių laikikliai

● Įkaitinkite žiedus

● Epitaksiniai reaktoriai

Kodėl verta rinktis VETEK SiC Epi Top Ring?

● Visas gamybos pajėgumas: 

Nuo žaliavų valymo iki tikslaus apdirbimo ir CVD padengimo VETEK kontroliuoja visą gamybos procesą, kad užtikrintų pastovią puslaidininkių kokybę.

● Didelis tikslumas: 

Naudojame mikronų lygmens apdirbimą. CVD storis yra labai vienodas. Dėl to kiekvienas žiedas veikia lygiai taip pat.

DUK

(1) Ką veikia SiC epi viršutinis žiedas?

Žiedas valdo šilumos ir dujų srautą. Tai užtikrina, kad plona plėvelė tolygiai augtų visoje plokštelėje.

(2) Kodėl CVD SiC yra geresnis už grafitą?

Grafitas yra akytas. Grafitas turi poras ir išskiria dujas. Kietas CVD SiC yra tankus ir švarus. Jis daug ilgiau tarnauja naudojant korozinius įrankius.

(3). Ar galima pritaikyti 8 colių SiC viršutinį žiedą?

Taip. Gaminame pagal jūsų konkrečius įrankių brėžinius. Mes galime pakoreguoti geometriją pagal jūsų procesą.

(4). Kokiose pramonės šakose naudojami SiC epitaksiniai žiedai?

Jie daugiausia naudojami puslaidininkių gamyboje, įskaitant maitinimo įrenginius, RF įrenginius ir SiC plokštelių gamybą.