„Aixtron“ palydovo vaflių laikiklis

„Aixtron“ palydovų vaflių nešiklis yra neatsiejama „Aixtron MOCVD“ įrangos dalis, specialiai naudojama vafliams nešiotis epitaksiniam augimui. Tai ypač tinkaepitaksinis augimasGano ir silicio karbido (SIC) prietaisų procesas. Jo unikalus „palydovo“ dizainas ne tik užtikrina dujų srauto vienodumą, bet ir pagerina plėvelės nusėdimo vienodumą ant vaflinio paviršiaus.

Aixtron'sVaflių vežėjaipaprastai yra pagaminti išSilicio karbidas (sic)arba CVD dengtas grafitas. Tarp jų silicio karbidas (SIC) turi puikų šilumos laidumą, aukštos temperatūros atsparumą ir žemą šiluminio išsiplėtimo koeficientą. CVD padengtas grafitas yra grafitas, padengtas silicio karbido plėvele, naudojant cheminio garų nusėdimo (CVD) procesą, kuris gali padidinti jo atsparumą korozijai ir mechaninį stiprumą. SiC ir padengtos grafito medžiagos gali atlaikyti iki 1 400 ° C - 1 600 ° C temperatūrą ir turėti puikų šiluminį stabilumą esant aukštai temperatūrai, o tai yra labai svarbi epitaksiniam augimo procesui.

„Aixtron“ palydovo vaflių laikiklis daugiausia naudojamas nešiotis ir pasukti vafliusMOCVD procesasNorėdami užtikrinti vienodą dujų srautą ir vienodą nusėdimą epitaksiniame augime.Konkrečios funkcijos yra šios:

● Vaflių sukimasis ir vienodas nusėdimas: Pasukdamas Aixtron palydovo nešiklį, vaflis gali išlaikyti stabilų judesį epitaksinio augimo metu, leisdamas dujoms tolygiai tekėti per vaflio paviršių, kad būtų užtikrintas tolygus medžiagų nusėdimas.

● Aukštos temperatūros guolis ir stabilumas: Silicio karbidas arba dengtos grafito medžiagos gali atlaikyti iki 1 400 ° C - 1 600 ° C temperatūrą. Ši savybė užtikrina, kad vaflis nesigėdys aukštos temperatūros epitaksinio augimo metu, tuo pačiu užkirsdamas kelią paties vežėjo šiluminiam išsiplėtimui paveikti epitaksinio proceso.

● Sumažinta dalelių generavimas: Aukštos kokybės nešiojamosios medžiagos (tokios kaip SIC) turi sklandžius paviršius, kurie sumažina dalelių susidarymą garų nusėdimo metu, taip sumažinant užteršimo galimybę, o tai yra labai svarbu gaminant aukštos kokybės aukštos kokybės puslaidininkių medžiagas.

„Veteksemicon“ „Aixtron“ palydovų vaflių nešiklį galima įsigyti 100 mm, 150 mm, 200 mm ir dar didesniais vaflių dydžiais, ir gali teikti pritaikytas produktų paslaugas, atsižvelgiant į jūsų įrangos ir proceso reikalavimus. Mes nuoširdžiai tikimės būti jūsų ilgalaikis partneris Kinijoje.

CVD SIC plėvelės kristalų struktūros SEM duomenys：

„Aixtron Satellite“ vaflinių vežėjų gamybos parduotuvės: