Kieto SiC fokusavimo žiedas

6.Pagrindiniai taikymo laukai

7. Veteksemi kieto SiC fokusavimo žiedo šerdies privalumai

Puikus atsparumas plazminei korozijai

Ilgą laiką veikiant labai ėsdinančioms, didelio tankio plazmoms, tokioms kaip CF4, O2 ir Cl2, įprastos medžiagos greitai nusidėvi ir užsiteršia dalelėmis. Mūsų kietas SiC fokusavimo žiedas pasižymi puikiu atsparumu korozijai, o korozijos greitis yra daug mažesnis nei tokių medžiagų kaip kvarcas ar aliuminio oksidas. Tai reiškia, kad laikui bėgant jis išlaiko lygų paviršių, žymiai sumažindamas plokštelių defektų, atsiradusių dėl komponentų susidėvėjimo, riziką, užtikrindamas nuolatinę ir stabilią masinę gamybą.

Puikus stabilumas aukštoje temperatūroje ir šilumos valdymo efektyvumas

Puslaidininkių ėsdinimo procesas sukuria didelę šilumą, todėl kameros komponentai patiria didelius temperatūros svyravimus. Mūsų fokusavimo žiedai turi itin mažą šiluminio plėtimosi koeficientą, galintys atlaikyti trumpalaikę temperatūrą iki 1600°C be įtrūkimų ar deformacijų. Be to, jiems būdingas aukštas šilumos laidumas padeda tolygiai ir greitai paskirstyti šilumą, efektyviai pagerindamas temperatūros pasiskirstymą plokštelės krašte, taip pagerindamasng ėsdinimo vienodumas ir kritinių matmenų nuoseklumas visoje plokštelėje.

Nepaprastas medžiagos grynumas ir struktūrinis tankis

Griežtai kontroliuojame silicio karbido žaliavų grynumą (≥99,999%) ir pašaliname metalo užteršimą sukepinimo proceso metu, kad atitiktume griežtus pažangių gamybos procesų reikalavimus dėl priemaišų pėdsakų kontrolės. Tanki struktūra, susidariusi sukepinant aukštoje temperatūroje, pasižymi itin mažu poringumu, beveik visiškai blokuoja proceso dujų ir šalutinių produktų prasiskverbimą. Tai apsaugo nuo veikimo pablogėjimo ir dalelių augimo, atsirandančio dėl vidinio medžiagos irimo, užtikrinant gryną proceso kameros aplinką.

Ilgaamžis mechaninis tarnavimo laikas ir visapusiškas ekonomiškumas

Palyginti su įprastomis eksploatacinėmis medžiagomis, kurias reikia dažnai keisti, Veteksemi kieto SiC fokusavimo žiedai pasižymi išskirtiniu patvarumu. Jie išlaiko stabilų veikimą per visą tarnavimo laiką, kelis kartus pailgindami keitimo ciklus. Tai ne tik tiesiogiai sumažina atsarginių dalių įsigijimo sąnaudas, bet ir žymiai pagerina mašinos panaudojimą, nes sutrumpėja įrangos prastovas atliekant techninę priežiūrą, todėl klientai turi didelių bendrų išlaidų pranašumų.

Tikslus dydžio valdymas ir lanksčios pritaikymo paslaugos

Mes suprantame tikslius skirtingų mašinų ir procesų reikalavimus eksploatacinėms medžiagoms. Kiekvienas fokusavimo žiedas yra tiksliai apdirbamas ir griežtai išbandomas, kad būtų užtikrintas kritinis matmenų nuokrypis ±0,05 mm. Taip pat siūlome pritaikytas paslaugas, įskaitant pasirinktinius dydžius, paviršiaus apdailą (poliravimą iki Ra ≤ 0,2 μm) ir laidumo reguliavimą, kad puikiai atitiktų jūsų specifinius proceso reikalavimus ir taikymo scenarijus.

Norėdami gauti išsamių techninių specifikacijų, dokumentų ar bandymų pavyzdžių, susisiekite su mūsų techninės pagalbos komanda ir išsiaiškinkite, kaip Veteksemi gali pagerinti jūsų proceso efektyvumą.