Kas yra tantalo karbido (TaC) danga? Savybės, CVD ir programos

Kas yra tantalo karbidas (TaC)?

Tantalo karbido (TaC) danga yra aukštos temperatūros keraminis apsauginis sluoksnis, padengtas grafitu ir pasirinktais anglies pagrindo komponentais. Puslaidininkių gamyboje CVD TaC dangos naudojamos svarbioms krosnies ir reaktoriaus dalims apsaugoti sudėtingose ​​srityse, įskaitant SiC vieno kristalo augimą ir epitaksinį apdorojimą. Dangos efektyvumas priklauso nuo jos mikrostruktūros, grynumo, storio, sukibimo ir suderinamumo su eksploatavimo aplinka.

Tantalo karbido dangagali veiksmingai apsaugoti grafito komponentus nuo karšto amoniako, vandenilio, silicio garų ir išlydyto metalo poveikio atšiauriomis sąlygomis, žymiai pailgindamas grafito komponentų tarnavimo laiką ir slopindamas priemaišų migraciją grafite, užtikrindamas kokybęepitaksinisirkristalų augimas.

1 pav. Įprasti tantalo karbidu dengti komponentai

TaC dangos paruošimas CVD būdu

Cheminis nusodinimas garais (CVD) yra pats brandžiausias ir optimaliausias TaC dangų ant grafito paviršių gamybos būdas.

Naudojant TaCl5 ir propileną atitinkamai kaip anglies ir tantalo šaltinius, o argoną kaip nešančias dujas, aukštos temperatūros išgarinti TaCl5 garai patenka į reakcijos kamerą. Esant tikslinei temperatūrai ir slėgiui, pirmtako medžiagos garai adsorbuojasi ant grafito paviršiaus, vykstant sudėtingoms cheminėms reakcijoms, tokioms kaip anglies ir tantalo šaltinių skaidymas ir susijungimas, taip pat daugybė paviršiaus reakcijų, tokių kaip pirmtako šalutinių produktų difuzija ir desorbcija. Galiausiai ant grafito paviršiaus susidaro tankus apsauginis sluoksnis, kuris apsaugo grafitą nuo stabilaus egzistavimo esant ekstremalioms aplinkos sąlygoms ir ženkliai praplečia grafito medžiagų panaudojimo scenarijus.

2 pav.Cheminio nusodinimo garais (CVD) proceso principas

Daugiau informacijos apie CVD TaC dangos paruošimo principus ir procesą rasite straipsnyje:Kaip paruošti CVD TaC dangą?

Kodėl verta rinktis Veteksemicon?

Veteksemicondaugiausia tiekia tantalo karbido gaminius: TaC kreipiamąjį žiedą, TaC dengtą trijų žiedlapių žiedą,TaC dengimo tiglisTaC dangos akytas grafitas yra plačiai naudojamas SiC kristalų augimo procese; Porėtas grafitas su TaC danga, TaC padengtas kreipiamasis žiedas,TaC padengtas grafito plokštelių laikiklis, TaC dangos susceptoriai,planetinis susceptorius, Ir šie tantalo karbido dangos gaminiai yra plačiai naudojamiSiC epitaksijos procesasirSiC vieno kristalo augimo procesas.

3 pav.VeTek Puslaidininkių populiariausi tantalo karbido dangos produktai

DUK apie TaC dangą

1. Kam naudojama TaC danga?

TaC danga naudojama grafito ir pasirinktų anglies pagrindu pagamintų komponentų apsaugai sudėtingoje šiluminėje ir cheminėje aplinkoje. Svarbios programos apima SiC kristalų auginimo įrangą ir tam tikrus puslaidininkių epitaksinio apdorojimo komponentus.

2. Kuo skiriasi TaC ir SiC danga?

TaC ir SiC yra skirtingos karbido medžiagos, turinčios skirtingas šilumines, chemines ir mechanines savybes. TaC gali būti naudingas tam tikrose ekstremalių temperatūrų kristalų augimo aplinkose, o CVD SiC yra plačiai paplitęs puslaidininkinių reaktorių komponentuose. Pasirinkimas priklauso nuo programos.

3. Kodėl TaC danga naudojama SiC kristalų auginimui?

TaC dangos gali padėti apsaugoti grafito komponentus nuo sudėtingos SiC PVT proceso aplinkos. Tinkamai parinktos dangos konstrukcijos gali sumažinti pagrindo degradaciją ir su tuo susijusią užteršimo riziką.

4. Kas sukelia TaC dangos įtrūkimus arba delaminaciją?

Galimos priežastys yra liekamasis įtempis, temperatūros gradientai, pagrindo defektai, nesuderinamas terminis ciklas ir dangos sąsajos degradacija. Norint nustatyti tikrąją gedimo priežastį, reikalinga išsami gedimo analizė.

5. Ar TaC danga yra tokia pati kaip tantalo metalo danga arba ta-C danga?

TaC yra tantalo karbidas, keraminis tantalo ir anglies junginys. Tantalo metalo danga yra kitokia medžiaga, o ta-C paprastai reiškia tetraedrinę amorfinę anglį, į deimantą panašios anglies dangos formą.

6. Ar galima pritaikyti TaC dengtus grafito komponentus?

Inžinerinei peržiūrai galima nurodyti komponentų geometriją, grafito klasę, dangos reikalavimus ir tikrinimo kriterijus. Gamybos pagrįstumas ir pasiekiami leistini nuokrypiai turi būti patvirtinti pagal paraišką ir patvirtintus brėžinius.