TaC dangos šildytuvas

TaC Coating Heater yra didelio našumo kaitinimo elementas, plačiai naudojamas puslaidininkių gamybos procesuose. Jo paviršius padengtas tantalo karbido (TaC) medžiaga, kuri suteikia šildytuvui puikų atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą cheminei korozijai ir puikų šilumos laidumą.

Pagrindinės „TaC Coating Heater“ taikymo sritys puslaidininkių gamyboje yra šios:

 ✔ Galio nitrido (GaN) epitaksinio augimo proceso metu TaC Coating Heater užtikrina tiksliai kontroliuojamą aukštos temperatūros aplinką, užtikrinančią, kad epitaksinis sluoksnis ant pagrindo būtų nusodintas vienodu greičiu ir kokybiškai. Jo stabili šilumos išeiga padeda tiksliai valdyti plonos plėvelės medžiagas ir taip pagerinti įrenginio veikimą.

 ✔ Be to, metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) procese, kartu su TaC dangos atsparumu aukštai temperatūrai ir šilumos laidumu, TaC dangos šildytuvas dažniausiai naudojamas reakcijos dujoms šildyti, o užtikrinant vienodą šilumos paskirstymą. skatina jo cheminę reakciją ant pagrindo paviršiaus, taip pagerindamas epitaksinio sluoksnio vienodumą ir sudarydamas aukštos kokybės plėvelę.

 ✔ Kaip „TaC Coating Heater“ produktų pramonės lyderė, „VeTek Semiconducto“ visada palaiko gaminio pritaikymo paslaugas ir patenkinamas produktų kainas. Nesvarbu, kokie yra jūsų specifiniai reikalavimai, mes parinksime geriausią sprendimą jūsų TaC Coating Heater poreikiams ir lauksime jūsų konsultacijos bet kuriuo metu.